一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统的制作方法

本技术属于多晶硅生产中检测设备，具体涉及一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统。

背景技术：

1、在多晶硅生产过程中，一部分装置的外部会使用到夹套，向夹套中通换热介质对装置中的物料进行换热（降温或加热），如还原炉尾气环管、尾气冷却器都常采用夹套通冷却介质对流体进行降温，即设备内部通过工艺气体（或尾气）、壳层通过冷却水介质。而在设备制造过程中或设备生产运行过程中，因某些因素会导致部分夹套管漏水，而水极易与尾气中的氯硅烷反应产生盐酸，盐酸的生成加速冷却器、连接管道等设备的损坏，另外，一旦水份流入尾气，还会导致下级回收系统的硅粉过滤器压力升高，腐蚀过滤器的滤芯。

2、目前，判断这类装置的夹套是否出现漏水主要是通过下级回收系统的硅粉过滤器的压差是否突然发生剧烈变化，来反推前段装置系统中某一尾气设备是否出现故障漏水，这样的判断方式存在以下缺陷：

3、1、如果是设备内部出现泄漏，且为微量泄漏时，不容易准确找到泄漏点；

4、2、采用此排查方法需要大面积排查尾气夹套管的导淋系统是否有水份溢出，花费时间长、也需要大量人力去排查，影响生产效率。

5、因此，亟需设计一种新的装置或方法，能方便快捷找出尾气设备的故障。

技术实现思路

1、本实用新型旨在解决现有技术中无法快速判断夹套管是否存在水份泄漏，加大故障排查难度的问题，现提出一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，结构简单，可以便捷的判断是否是夹套管处存在水份泄漏，有助于快速排查出设备故障点。

2、为了实现上述发明目的，本实用新型的技术方案如下：

3、一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，包括安装在还原炉尾气排放管道中的丝网过滤器、冷却器和显像器，冷却器通过采样管线与尾气排放管道连通，采样管在尾气排放管道中的端头置于丝网过滤器内，采样管线上设有压力传感器，冷却器的出口ⅰ端通过管线连接显像器，显像器中置有只与水发生色变现象且不与氯硅烷、氢气、硅粉发生色变现象的显影剂。

4、进一步的，所述丝网过滤器的丝网上的滤孔的孔径尺寸为0.15~0.178mm。

5、进一步的，所述显像器上设有排气口，排气口通过管线连接置有碱液的尾气吸收槽。

6、进一步的，还包括声光报警器，所述声光报警器与压力传感器控制连接。

7、进一步的，所述丝网过滤器为与尾气排放管道内壁尺寸匹配的筒状结构，筒状结构的外周上均布有滤孔，筒状结构的丝网过滤器设置于还原炉尾气排放管道的转角处，筒状结构的开口端朝向还原炉尾气排放管道的进口ⅱ，还原炉尾气经筒状结构的大开口后从滤孔排出，再经尾气排放管道的出口ⅱ排出至下一工段。

8、进一步的，所述丝网过滤器为与尾气排放管道内壁尺寸匹配的内部中空的柱状结构，柱状结构包括筒状结构及筒状结构两侧的底板，筒状结构和底板上均布有滤孔，柱状结构的丝网过滤器设置于还原炉尾气排放管道的转角处，还原炉尾气经尾气排放管道的进口ⅱ后再经过柱状结构的丝网过滤器，再从尾气排放管道的出口ⅱ排出至下一工段。

9、进一步的，所述筒状结构上的开孔率不低于70%。

10、本实用新型的有益效果：

11、一、本实用新型中，在多晶硅生产工艺中，还原工段产生的尾气主要由氯硅烷、氢气、少量硅粉组成，尾气经带夹套的尾气排放管道后进入下一工段（如回收装置或精馏设备等），尾气排放管道上设有通换热介质的夹套一方面可对物料进行降温（工艺要求），另一方面可以尽可能的回收利用工艺气体的余热，降低能源损耗。而原有的尾气排放管道上，就预留有管道盲板，通过盲板法兰固定。预留的可拆卸的盲板主要是为了便于管道检修、管道维护、清除管道污垢等作用。而尾气漏水检测系统通过开启尾气排放管道上的盲板，将丝网过滤器安装在原有的尾气排放管道中，再通过预留的阀门接入采样管线，再分别连接冷却器、显像器，通过本尾气漏水检测系统可以检测到丝网过滤器所处位置是否有较大压力变化，同时通过启动本系统可快速判断此处是否存在水份泄漏，有助于快速准确排查出水份泄漏点，缩短故障排查时间，快速恢复正常生产。

12、二、本实用新型中，丝网过滤器的丝网上的滤孔的孔径尺寸设计为0.15 ~0.178mm为宜，可自由通过还原尾气（包括尾气中的硅粉），同时又能达到含有少量水份时，水份将硅粉凝聚成大颗粒或块状时能附着在滤孔上（或者是能拦截到这部分大颗粒），使管道中的压力有相对较大浮动。

13、三、本实用新型中，显像器上设有排气口，排气口通过管线连接置有碱液的尾气吸收槽，尾气吸收槽可以反应掉从显像器排出的废气，避免尾气污染环境。

14、四、本实用新型中，还包括声光报警器，所述声光报警器与压力传感器控制连接，当压力传感器监测到管道中的压力出现升高后，与压力传感器控制连接的声光报警器会发出声光报警，提示工作人员该处有故障，便于工作人员及时处理故障。

15、五、本实用新型中，提出了两种结构的丝网过滤器，可根据现成设备情况选择合适的丝网过滤器。

16、六、本实用新型中，筒状结构上的开孔率优选不低于70% ，有利于保障尾气流通量。

技术特征：

1.一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，其特征在于：包括安装在还原炉尾气排放管道（1）中的丝网过滤器（2）、冷却器（3）和显像器（4），冷却器（3）通过采样管线（5）与尾气排放管道（1）连通，采样管在尾气排放管道（1）中的端头置于丝网过滤器（2）内，采样管线（5）上设有压力传感器（6），冷却器（3）的出口ⅰ（3.2）端通过管线连接显像器（4），显像器（4）中置有只与水发生色变现象且不与氯硅烷、氢气、硅粉发生色变现象的显影剂。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，其特征在于：所述丝网过滤器（2）的丝网上的滤孔（2.1）的孔径尺寸为0.15~0.178mm。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，其特征在于：所述显像器（4）上设有排气口（4.1），排气口（4.1）通过管线连接置有碱液的尾气吸收槽（7）。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，其特征在于：还包括声光报警器（8），所述声光报警器（8）与压力传感器（6）控制连接。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，其特征在于：所述丝网过滤器（2）为与尾气排放管道（1）内壁尺寸匹配的筒状结构（2.2），筒状结构（2.2）的外周上均布有滤孔（2.1），筒状结构（2.2）的丝网过滤器（2）设置于还原炉尾气排放管道（1）的转角处，筒状结构（2.2）的开口端朝向还原炉尾气排放管道（1）的进口ⅱ（1.1），还原炉尾气经筒状结构（2.2）的大开口后从滤孔（2.1）排出，再经尾气排放管道（1）的出口ⅱ（1.2）排出至下一工段。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，其特征在于：所述丝网过滤器（2）为与尾气排放管道（1）内壁尺寸匹配的内部中空的柱状结构，柱状结构包括筒状结构（2.2）及筒状结构（2.2）两侧的底板（2.3），筒状结构（2.2）和底板（2.3）上均布有滤孔（2.1），柱状结构的丝网过滤器（2）设置于还原炉尾气排放管道（1）的转角处，还原炉尾气经尾气排放管道（1）的进口ⅱ（1.1）后再经过柱状结构的丝网过滤器（2），再从尾气排放管道（1）的出口ⅱ（1.2）排出至下一工段。

7.根据权利要求5或6所述的一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，其特征在于：所述筒状结构（2.2）上的开孔率不低于70%。

技术总结
本技术公开了一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统，属于多晶硅生产中检测设备技术领域，包括安装在还原炉尾气排放管道中的丝网过滤器、冷却器和显像器，冷却器通过采样管线与尾气排放管道连通，采样管在尾气排放管道中的端头置于丝网过滤器内，采样管线上设有压力传感器，冷却器的出口Ⅰ端通过管线连接显像器，显像器中置有只与水发生色变现象且不与氯硅烷、氢气、硅粉发生色变现象的显影剂，解决了现有技术中无法快速找出尾气设备中的水份泄漏位点，故障排查难度较大，排障耗时长的问题。

技术研发人员：李春洋,刘慕陶,周万江,王旭东,王仕伍,晏涛,袁志林,张俊
受保护的技术使用者：四川永祥新能源有限公司
技术研发日：20230915
技术公布日：2024/5/16