一种捡晶机顶针机构同心度检测治具的制作方法

本技术属于捡晶机顶针领域，特别涉及一种捡晶机顶针机构同心度检测治具。

背景技术：

1、现有技术中，捡晶机的作用是通过机械手臂将蓝膜上的ic晶粒吸附起来。晶圆经过切割后，即进行黏晶的程序。此时每个ic晶粒 (或称芯片)相互之间未完全分离，且分别独立黏着于具有黏性的蓝膜上。捡晶机在吸取晶粒时，其于晶粒上方以一真空吸嘴吸取晶粒，同时胶膜下方将受到捡晶机的顶针机构的推顶作用，而将蓝膜上的晶粒顶出胶膜，以利真空吸嘴吸取晶粒，再经由捡晶机的机械手将晶粒置放于晶粒座上。

2、捡晶机的顶针机构由顶针座、顶针杆和顶针夹组成，顶针杆安装在顶针座上，目前没有专用治具用来检测捡晶机上安装的顶针杆和顶针座的同心度，人员只能靠目视检测和校正，其弊端在于：1.无法保障顶针杆和顶针座同心；2.如顶针杆发生偏移，即使顶针夹和顶针安装符合要求，也会导致顶针整体呈现不水平现象，即无法有效保证顶针水平度，无法保证顶针顶出蓝膜后晶粒的水平精度。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，能够用于检测捡晶机的顶针杆和顶针座插入孔的同心度，确保顶针杆同轴安装在顶针座插入孔中，实现确保顶针夹上的顶针顶出蓝膜后晶粒的水平精度。

2、本实用新型的目的是这样实现的：一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，包括顶针座，顶针座的上部竖直开设有可容顶针杆插入的插入孔，插入孔的深度小于顶针座的高度，顶针杆下端支撑在插入孔底壁上，顶针杆的上端向上伸出插入孔，所述插入孔包括上方的大径孔和下方的小径孔，大径孔和小径孔同轴设置，所述顶针杆下端支撑在小径孔底壁上，顶针杆的外径小于小径孔的内径，与顶针杆相配套设有检测筒，检测筒下端同轴设有伸入大径孔内壁和顶针杆外周之间的检测套管，检测套管下端支撑在大径孔底壁上，检测套管的内径对应顶针杆外周设置，检测套管的外径对应大径孔内壁设置。

3、本实用新型使用时，先将顶针杆插入顶针座插入孔中，然后通过检测筒进行检测顶针杆与顶针座插入孔的同心度，将检测套管下端伸入大径孔内壁和顶针杆外周之间，只有顶针杆与顶针座插入孔同心时，才可以将检测套管插进插入孔，观察外台阶一和外台阶二的水平度，确保顶针杆与顶针座插入孔同心，然后通过内六角扳手转动左右两侧的顶丝，两顶丝夹紧固定顶针杆的左右两侧，最后将顶针夹安装在顶针杆上，可以确保各顶针的水平度。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：确保顶针杆和顶针座同心度精度，保证顶针顶出蓝膜后水平精度符合要求，提高捡晶机运行稳定性，提升设备生产效率。

4、作为本实用新型的进一步改进，所述检测筒的外周分别设置有位于上端的外台阶一和位于下端的外台阶二。通过观察外台阶一和外台阶二的水平度，可确保检测套管同心插进插入孔，使得顶针杆和顶针座插入孔同心。

5、作为本实用新型的进一步改进，所述检测筒的内部贯穿开设有竖直的中心孔，中心孔与检测套管的套孔上下相连通并且孔径相等，顶针杆的上端伸入中心孔内。本技术方案可以防止顶针杆与检测筒相干涉。

6、为了将顶针杆夹紧固定在插入孔中，顶丝端部对应顶针杆侧面设置，所述顶针座的左右两侧均开设有顶丝孔，两个顶丝孔左右对称地分布在小径孔两侧，顶丝孔与小径孔相连通，顶丝孔内螺纹连接有顶丝，两顶丝的朝内一端分别顶紧顶针杆的左右两侧，两顶丝的朝外一端均伸出顶针座。

7、为了安装固定顶针夹，所述顶针杆上安装有顶针夹，顶针夹下端的螺杆伸入顶针杆上端的螺纹孔内并与顶针杆螺纹连接，顶针夹上安装有多根顶针。

技术特征：

1.一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，包括顶针座，顶针座的上部竖直开设有可容顶针杆插入的插入孔，插入孔的深度小于顶针座的高度，顶针杆下端支撑在插入孔底壁上，顶针杆的上端向上伸出插入孔，其特征在于，所述插入孔包括上方的大径孔和下方的小径孔，大径孔和小径孔同轴设置，所述顶针杆下端支撑在小径孔底壁上，顶针杆的外径小于小径孔的内径，与顶针杆相配套设有检测筒，检测筒下端同轴设有伸入大径孔内壁和顶针杆外周之间的检测套管，检测套管下端支撑在大径孔底壁上，检测套管的内径对应顶针杆外周设置，检测套管的外径对应大径孔内壁设置。

2.根据权利要求1所述的一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，其特征在于，所述检测筒的外周分别设置有位于上端的外台阶一和位于下端的外台阶二。

3.根据权利要求1或2所述的一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，其特征在于，所述检测筒的内部贯穿开设有竖直的中心孔，中心孔与检测套管的套孔上下相连通并且孔径相等，顶针杆的上端伸入中心孔内。

4.根据权利要求1或2所述的一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，其特征在于，所述顶针座的左右两侧均开设有顶丝孔，两个顶丝孔左右对称地分布在小径孔两侧，顶丝孔与小径孔相连通，顶丝孔内螺纹连接有顶丝，两顶丝的朝内一端分别顶紧顶针杆的左右两侧，两顶丝的朝外一端均伸出顶针座。

5.根据权利要求1或2所述的一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，其特征在于，所述顶针杆上安装有顶针夹，顶针夹下端的螺杆伸入顶针杆上端的螺纹孔内并与顶针杆螺纹连接，顶针夹上安装有多根顶针。

技术总结
本技术公开了捡晶机顶针领域内的一种捡晶机顶针机构同心度检测治具，包括顶针座，顶针座的上部竖直开设有可容顶针杆插入的插入孔，插入孔的深度小于顶针座的高度，顶针杆下端支撑在插入孔底壁上，顶针杆的上端向上伸出插入孔，顶针杆下端支撑在小径孔底壁上，顶针杆的外径小于小径孔的内径，与顶针杆相配套设有检测筒，检测筒下端同轴设有伸入大径孔内壁和顶针杆外周之间的检测套管，检测套管下端支撑在大径孔底壁上，检测套管的内径对应顶针杆外周设置，检测套管的外径对应大径孔内壁设置。本技术能够用于检测捡晶机的顶针杆和顶针座插入孔的同心度，确保顶针夹上的顶针顶出蓝膜后晶粒的水平精度。

技术研发人员：陈广顺,孟强,姜红涛
受保护的技术使用者：江苏汇成光电有限公司
技术研发日：20231016
技术公布日：2024/6/13