一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具的制作方法

本技术涉及半导体芯片制造，尤其涉及一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具。

背景技术：

1、现有的芯片上老化的装置分别是，带有石墨垫片材料的上老化的装置，和带有锡箔垫片材料的上老化的装置，这两种不同的上老化装置在实际使用时，存在以下缺陷：

2、上老化时，区分石墨材料垫片或者锡箔材料垫片装置费时较长，效率低；

3、两种装置容易拿错，拿混装置将导致老化过程中因温度高芯片受损，散热性能差；

4、两种不同装置囤积起来放置车间，占据空间，且装置多反而更容易受污染，空间利用率低，污染概率大；

5、两种装置在更换不同材质的散热材料所使用的时间和工序太费人力，且易引入脏污。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本申请提供一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具。

2、本申请提供一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具，包括盖板、垫板、底座、第一垫片和第二垫片，盖板、垫板和底座依次层叠设置且固定连接，第一垫片和第二垫片均由散热材料制成，且第一垫片和第二垫片的材质互不相同，垫板包括主板，第一垫片和第二垫片分别叠装在主板的相对两侧外，盖板包括压块；在第一垫片位于主板和盖板之间的条件下，芯片放置在第一垫片与压块之间，压块用于抵紧芯片；在第二垫片位于主板和盖板之间的条件下，芯片放置在第二垫片与压块之间，压块用于抵紧芯片。

3、在一些实施方式中，第一垫片和第二垫片的散热材质相异，第一垫片和第二垫片采用石墨材料、锡箔材料、相变化材料和金刚石材料中的任一种。

4、在一些实施方式中，主板采用铜镍合金或者金刚石材料制成。

5、在一些实施方式中，底座设有散热凸台，散热凸台与主板相接触。

6、在一些实施方式中，盖板设有螺杆，垫板的主板设有第一螺纹孔，底座设有第二螺纹孔，螺杆与垫板螺纹连接于第一螺纹孔处，螺杆与底座螺纹连接于第二螺纹孔处，以实现盖板、垫板和底座的依次连接。

7、在一些实施方式中，盖板设有第一销钉，垫板的主板设有第一定位孔，第一销钉穿设于第一定位孔，以实现盖板与垫板的定位安装；垫板包括与主板连接的第二销钉，底座设有第二定位孔，第二销钉穿设于第二定位孔，以实现垫板与底座的定位安装，且盖板避让第二销钉。

8、在一些实施方式中，垫板包括与主板连接的第三销钉，第一垫片和第二垫片均设有第三定位孔，第三销钉穿设于第三定位孔。

9、在一些实施方式中，第一垫片和第二垫片均呈凹字形设置；第一垫片和垫板设有对应的螺纹孔位，以通过螺钉实现第一垫片和垫板的连接；第二垫片和垫板设有对应的螺纹孔位，以通过螺钉实现第二垫片和垫板的连接。

10、在一些实施方式中，垫板还包括与主板连接的冷却水进出管路，主板与冷却水进出管路连接，以实现水循环散热。

11、在一些实施方式中，主板内设冷却液仓，在主板的两侧安装铜制管体，铜制管体的外侧布置铝制散热片，冷却液仓与冷却水进出管路连通，冷却液仓导通至铜制管体处。

12、本申请有益效果如下：提供一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具，包括垫板、第一垫片、第二垫片、底座和盖板，垫板包括主板，在主板的相对两侧分别安装第一垫片和第二垫片，第一垫片和第二垫片均由散热材质制成，且第一垫片和第二垫片的材质互不相同，例如分别为石墨材料和金刚石材料；在实际使用时，可以使石墨材料的一侧朝上，或者使金刚石材料的一侧朝上，存在这两种安装方式，从而可根据实际需求选择不同的安装方式，进行具体的芯片上老化工艺；本夹具采用整合的优势，将不同材料的垫片整合在同一个封装夹具上，可极快的完成工作目标，降低受污染的概率，提高空间利用率；采用本工具，可快速区分不同材料的垫片，改善原先设置两种装置而存在的空间利用率低的缺陷，减少更换时的劳动强度，改善污染缺陷。

技术特征：

1.一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具，其特征在于，包括盖板、垫板、底座、第一垫片和第二垫片，所述盖板、所述垫板和所述底座依次层叠设置且固定连接，所述第一垫片和所述第二垫片均由散热材料制成，且所述第一垫片和所述第二垫片的材质互不相同，所述垫板包括主板，所述第一垫片和所述第二垫片分别叠装在所述主板的相对两侧外，所述盖板包括压块；

2.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述第一垫片和所述第二垫片的散热材质相异，所述第一垫片和所述第二垫片采用石墨材料、锡箔材料、相变化材料和金刚石材料中的任一种。

3.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述主板采用铜镍合金或者金刚石材料制成。

4.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述底座设有散热凸台，所述散热凸台与所述主板相接触。

5.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述盖板设有螺杆，所述垫板的主板设有第一螺纹孔，所述底座设有第二螺纹孔，所述螺杆与所述垫板螺纹连接于所述第一螺纹孔处，所述螺杆与所述底座螺纹连接于所述第二螺纹孔处，以实现所述盖板、所述垫板和所述底座的依次连接。

6.如权利要求1或5所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述盖板设有第一销钉，所述垫板的主板设有第一定位孔，所述第一销钉穿设于所述第一定位孔，以实现所述盖板与所述垫板的定位安装；

7.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述垫板包括与所述主板连接的第三销钉，所述第一垫片和所述第二垫片均设有第三定位孔，所述第三销钉穿设于所述第三定位孔。

8.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述第一垫片和所述第二垫片均呈凹字形设置；

9.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述垫板还包括与所述主板连接的冷却水进出管路，以实现水循环散热。

10.如权利要求9所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述主板内设冷却液仓，在主板的两侧安装铜制管体，所述铜制管体的外侧布置铝制散热片，所述冷却液仓与所述冷却水进出管路连通，所述冷却液仓导通至所述铜制管体处。

技术总结
本技术公开一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具，包括盖板、垫板、底座、第一垫片和第二垫片，盖板、垫板和底座依次层叠设置且固定连接，第一垫片和第二垫片均由散热材料制成，且第一垫片和第二垫片的材质互不相同，垫板包括主板，第一垫片和第二垫片分别叠装在主板的相对两侧外，盖板包括压块；在第一垫片位于主板和盖板之间的条件下，芯片放置在第一垫片与压块之间，压块用于抵紧芯片；在第二垫片位于主板和盖板之间的条件下，芯片放置在第二垫片与压块之间，压块用于抵紧芯片。采用整合的优势，将不同材料的垫片整合在同一个封装夹具上，可快速区分不同材料的垫片，可极快的完成工作目标，降低受污染的概率，提高空间利用率。

技术研发人员：刘维源,王威,张威,李超
受保护的技术使用者：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
技术研发日：20231018
技术公布日：2024/5/29