一种适用于不同材料进行EBSD测试的样品台的制作方法

本技术涉及样品台相关领域，尤其涉及一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台。

背景技术：

1、ebsd系统通常安装在扫描电镜中使用，扫描电镜入射电子束一般都与样品台垂直，样品台采用了水平的放置方式，即入射电子束与水平面垂直，对于ebsd测试，则需要使试样测试面与样品台之间有一个70°的夹角。

2、但是，目前市场上大多数的适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，在测试多个试样时，会浪费大量时间用于更换样品，且在进行固定试样时，难以避免重力作用下样品下滑造成图像失真，进而影响实验的结果准确性。

技术实现思路

1、因此，为了解决上述不足，本实用新型提供一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台。

2、为了实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，包括连接柱、圆柱和固定结构，所述连接柱的上侧与圆柱固定连接，所述圆柱的上侧固定有固定结构；其特征在于：固定结构包括外壳、夹持结构和限位结构，所述外壳的左侧固定有夹持结构，所述夹持结构的右侧与限位结构相连接，所述外壳的下端面与圆柱固定连接。

3、可选的，所述夹持结构包括支撑板、上挡板、下挡板、压紧结构、夹持杆、第一直杆和凹槽，所述支撑板的上端面和下端面分别固定有上挡板和下挡板，所述上挡板的上端面固定有压紧结构，所述下挡板的上端面固定有夹持杆，所述支撑板的右端面中部固定有第一直杆，所述第一直杆的右侧贯穿外壳上端开设有凹槽。

4、可选的，所述限位结构包括支撑座、连接座、弹簧、第二直杆和握柄，所述支撑座固定于外壳的内壁上端，所述支撑座的下侧固定有连接座，所述连接座的下端面固定有弹簧，所述弹簧的另一端与第二直杆固定连接，所述第二直杆的一端贯穿连接座、支撑座和外壳与握柄固定连接，且第二直杆的另一端与凹槽插接。

5、可选的，所述压紧结构包括螺纹套、螺杆和旋柄，所述螺纹套的中部与螺杆螺纹连接，所述螺杆的一端固定有旋柄，且螺杆的另一端贯穿上挡板的中部。

6、可选的，夹持结构共设置有四组，且均匀分布于外壳的前后左右方向，有利于能够进行至少四次不同样品的测试。

7、可选的，所述限位结构共设置有四组，且分别与夹持结构进行插接，便于对夹持结构分别进行单独的限位。

8、可选的，所述夹持杆共设置有两个，分别固定于下挡板的上端面前后两侧，有利于对样品的夹持更加稳定，减轻破坏样品的可能。

9、本实用新型的有益效果：

10、本实用新型是一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，通过设置了夹持结构，利用夹持杆来支撑样品，通过旋柄旋转带动螺杆向下进行移动，使得螺杆能够与夹持杆进行配合将样品进行固定，避免了测试过程中，样品下滑而导致图像失真，影响实验结果的准确性，通过设置了限位结构，利用握柄将第二直杆向上提起，使得第二直杆对夹持结构解除限位，进而使得夹持结构方便从外壳上取下来，达到了便于对样品进行更换的效果，利用四组夹持结构和限位结构，可以对分别对至少四种不同样品进行ebsd测试。

技术特征：

1.一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，包括连接柱(1)、圆柱(2)和固定结构(3)，所述连接柱(1)的上侧与圆柱(2)固定连接，所述圆柱(2)的上侧固定有固定结构(3)；

2.根据权利要求1所述一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，其特征在于：所述压紧结构(324)包括螺纹套(3241)、螺杆(3242)和旋柄(3243)，所述螺纹套(3241)的中部与螺杆(3242)螺纹连接，所述螺杆(3242)的一端固定有旋柄(3243)，且螺杆(3242)的另一端贯穿上挡板(322)的中部。

3.根据权利要求1所述一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，其特征在于：夹持结构(32)共设置有四组，且均匀分布于外壳(31)的前后左右方向。

4.根据权利要求1所述一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，其特征在于：所述限位结构(33)共设置有四组，且分别与夹持结构(32)进行插接。

5.根据权利要求1所述一种适用于不同材料进行ebsd测试的样品台，其特征在于：所述夹持杆(325)共设置有两个，分别固定于下挡板(323)的上端面前后两侧。

技术总结
本技术公开了一种适用于不同材料进行EBSD测试的样品台，包括连接柱、圆柱和固定结构，本技术通过设置了夹持结构，利用夹持杆来支撑样品，通过旋柄旋转带动螺杆向下进行移动，使得螺杆能够与夹持杆进行配合将样品进行固定，避免了测试过程中，样品下滑而导致图像失真，影响实验结果的准确性，通过设置了限位结构，利用握柄将第二直杆向上提起，使得第二直杆对夹持结构解除限位，进而使得夹持结构方便从外壳上取下来，达到了便于对样品进行更换的效果，利用四组夹持结构和限位结构，可以对分别对至少四种不同样品进行EBSD测试。

技术研发人员：李慧莉,崔岩
受保护的技术使用者：东工研科技服务（沈阳）有限公司
技术研发日：20231020
技术公布日：2024/10/17