一种晶圆CP多颗并行的测试装置的制作方法

本技术涉及晶元测试，更具体地涉及一种晶圆cp多颗并行的测试装置。

背景技术：

1、cp指的是晶圆测试，cp测试在整个芯片制作流程中处于晶圆制造和封装之间，晶圆制作完成之后，成千上万的裸die即未封装的芯片规则的分布满整个晶圆，晶圆需要通过ate测试机测试，在测试时首先需要对晶圆进行固定，现有技术将晶圆放置在支撑板的圆形放置槽内，然后通过检测探头对其测试，测试完毕后往往是人工取下晶圆，人工取料非常麻烦，工作效率较低，并且由于支撑板是固定不动在检测探头下方的，放晶圆时也非常麻烦，因此亟需设计一种晶圆cp多颗并行的测试装置。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供了一种晶圆cp多颗并行的测试装置，以解决上述背景技术中存在的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆cp多颗并行的测试装置，包括装置本体，所述装置本体包括工作台、安装架和安装架内表面顶端的检测探头，所述安装架的内壁底端设有放置机构，所述放置机构包括安装座，所述安装座固定安装于安装架的内壁底端，所述安装座的前侧固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端固定安装有放置架，所述放置架的顶端等距开设有多个放置槽，所述放置架的前侧等距开设有与放置槽相连通的连通槽，所述放置槽的内壁底端皆放置有放置台，所述放置台的底端皆固定安装有第一三角板，所述第一三角板位于连通槽内部，所述安装架的内壁顶端固定安装有与第一三角板适配的第二三角板，当晶元检测完成后，通过电动伸缩杆带动放置架做向外的运动，当放置架运动至一定位置以后，通过第二三角板对第一三角板的顶升，可带动放置台在放置槽内部向上运动至凸起状，此时可简单方便的对晶元进行拿取，采用这种设计，简化了拿取放置晶元的流程，提高取料效率。

3、进一步的，所述放置槽的内壁底端开设有第二滑槽，所述放置架的底端固定安装有与第二滑槽滑动连接的第二滑块，保证了放置架在安装架内壁底端运动的稳定性。

4、进一步的，所述放置槽的内壁开设有第一滑槽，所述放置台的两侧皆固定安装有与第一滑槽滑动连接的第一滑块，放置台上下运动时，第一滑块在第一滑槽内壁上下滑动，为放置台的运动提供稳定的导向以及限位。

5、进一步的，所述放置台的顶端皆固定安装有缓冲垫，所述缓冲垫的材质皆为橡胶，可在拿取放置晶元时，通过缓冲垫提供缓冲防护效果。

6、进一步的，所述缓冲垫的颜色和放置架不同，便于分辨缓冲垫和放置架。

7、进一步的，所述第一滑槽的数量为两个，两个所述第一滑槽呈对称状开设于放置槽的内壁，保证了放置台运动稳定。

8、本实用新型的技术效果和优点：

9、1.本实用新型通过设有放置机构，采用这种设计带来了当晶元检测完成后，通过电动伸缩杆带动放置架做向外的运动，当放置架运动至一定位置以后，通过第二三角板对第一三角板的顶升，可带动放置台在放置槽内部向上运动至凸起状，此时可简单方便的对晶元进行拿取，采用这种设计，简化了拿取放置晶元的流程，提高取料效率。

10、2.本实用新型采用这种设计带来了在放置台上下运动的过程中，第一滑块在第一滑槽内壁上下运动，通过第一滑槽可对放置台的运动提供稳定的导向以及限位，缓冲垫可以在放置晶元时，起到良好的缓冲防护效果。

技术特征：

1.一种晶圆cp多颗并行的测试装置，包括装置本体(100)，所述装置本体(100)包括工作台(110)、安装架(113)和安装架(113)内表面顶端的检测探头，其特征在于：所述安装架(113)的内壁底端设有放置机构(200)，所述放置机构(200)包括安装座(210)，所述安装座(210)固定安装于安装架(113)的内壁底端，所述安装座(210)的前侧固定安装有电动伸缩杆(211)，所述电动伸缩杆(211)的伸缩端固定安装有放置架(212)，所述放置架(212)的顶端等距开设有多个放置槽(213)，所述放置架(212)的前侧等距开设有与放置槽(213)相连通的连通槽(221)，所述放置槽(213)的内壁底端皆放置有放置台(214)，所述放置台(214)的底端皆固定安装有第一三角板(215)，所述第一三角板(215)位于连通槽(221)内部，所述安装架(113)的内壁顶端固定安装有与第一三角板(215)适配的第二三角板(216)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆cp多颗并行的测试装置，其特征在于：所述放置槽(213)的内壁底端开设有第二滑槽(220)，所述放置架(212)的底端固定安装有与第二滑槽(220)滑动连接的第二滑块。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆cp多颗并行的测试装置，其特征在于：所述放置槽(213)的内壁开设有第一滑槽(219)，所述放置台(214)的两侧皆固定安装有与第一滑槽(219)滑动连接的第一滑块(218)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆cp多颗并行的测试装置，其特征在于：所述放置台(214)的顶端皆固定安装有缓冲垫(217)，所述缓冲垫(217)的材质皆为橡胶。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆cp多颗并行的测试装置，其特征在于：所述缓冲垫(217)的颜色和放置架(212)不同。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆cp多颗并行的测试装置，其特征在于：所述第一滑槽(219)的数量为两个，两个所述第一滑槽(219)呈对称状开设于放置槽(213)的内壁。

技术总结
本技术涉及晶元测试技术领域，且公开了一种晶圆CP多颗并行的测试装置，包括装置本体，所述装置本体包括工作台、安装架和安装架内表面顶端的检测探头，所述安装架的内壁底端设有放置机构，所述放置机构包括安装座，所述安装座固定安装于安装架的内壁底端，所述安装座的前侧固定安装有电动伸缩杆。本技术通过设有放置机构，采用这种设计带来了当晶元检测完成后，通过电动伸缩杆带动放置架做向外的运动，当放置架运动至一定位置以后，通过第二三角板对第一三角板的顶升，可带动放置台在放置槽内部向上运动至凸起状，此时可简单方便的对晶元进行拿取，采用这种设计，简化了拿取放置晶元的流程，提高取料效率。

技术研发人员：徐凯,刘华忠,周志华
受保护的技术使用者：东莞市立芯泰半导体有限公司
技术研发日：20231219
技术公布日：2024/9/5