一种非接触式垂直炉测量仪的探测头的制作方法

本技术涉及测量器具，尤其涉及一种非接触式垂直炉测量仪的探测头。

背景技术：

1、扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，而扩散炉设备内通常设有若干测量仪，如进行温度测量的接触式或非接触式温度传感器，而目前的温度传感器在使用时通常通过螺帽等夹持在设备的体壁上，此方式虽然可一定程度的降低了传感器的成本，但在实际使用过程中，扩散炉内众多的传感器在损坏后进行更换时，无法快速更换，从而无法尽快的使扩散炉进行运转，由此产生的经济损坏远大于传感器所降低的成本；因此，为了解决上述传感器无法扩散更换而导致扩散炉停机较长，从而导致经济损失较大的缺陷，我们提出了一种非接触式垂直炉测量仪的探测头。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，包括用在扩散炉内非接触式温度传感器的探测头主体，所述探测头主体外环面的尾端固定有连接环，探测头主体外环面且连接环的前侧滑动套设有连接片，连接环前端插设在连接片内部，连接环后端的外环面设有若干承接爪，连接片外环面套设有联动环，联动环侧面对应承接爪固定有若干相配合的卡接爪，卡接爪内部均连接有拉簧，拉簧下端均固定在连接片的体壁上，连接片的一侧固定有安装片，安装片的另一端与相邻的卡接爪之间共同设有加力组件。

4、优选的，所述加力组件包括销杆、主动环、从动条以及截面呈正六边形的连接块，销杆转动安装有安装片靠近卡接爪的一端，主动环安装在销杆中部，连接块固定在销杆的一端，从动条固定在相邻主动环一侧的卡接爪外环面并与主动环紧密贴合。

5、优选的，所述主动环外环面的两侧对应从动条均设有环形的限位凸起，主动环外环面中部固定有加力杆。

6、优选的，所述卡接爪远离联动环一端的下表面设有导向凸起，承接爪远离联动环一侧的表面对应导向凸起设有相配合的容纳槽。

7、优选的，所述卡接爪内部对应拉簧设有容纳槽并在容纳槽内滑动套设有限位环，限位环远离卡接爪的一端延伸至联动环的外部并固定在连接片的体壁上。

8、优选的，所述连接环位于连接片内部的一端设有第一密封圈，连接环的端部对应第一密封圈倒有相配合的倾斜面。

9、优选的，所述连接片的尾端设有安装槽并在安装槽内安装有第二密封圈，第二密封圈远离连接片的一侧与连接环尾端相接触。

10、本实用新型提出的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，有益效果在于：

11、1：本实用新型中当探测头主体损坏需要对其进行更换时，把卡接爪向远离连接片的一端拉动，使得卡接爪与承接爪之间脱离接触后，便可对转动连接环，使得承接爪从卡接爪下方移出，并随后把探测头主体从连接片内部取出；综上，使得人员在更换探测头主体时，仅需对卡接爪进行拉动便可完成对探测头主体的固定与拆分，即与传统的通过螺帽进行固定的方案相比，本方案使用时可快速的对探测头主体进行更换与安装，从而有效的缩短了人员的操作时长，即解决了传统方案中传感器探头无法快速拆装而导致扩散炉停机时长无法进一步缩短，进而导致生产效率受到不良影响的缺陷，由此有利于降低扩散炉停机而导致的经济损失。

12、2：本实用新型中加力组件的设置，使得人员可通过外界的扳手便捷省力的对销杆进行转动，即带动主动环转动，从而使卡接爪与承接爪分离；加力杆的设置，使得人员未携带扳手或扳手型号不合适时，可通过其余的硬质管体或筒体或钳子等工具对加力杆进行施力，从而同样实现带动卡接爪移动的效果；导向凸起的设置，使得卡接爪端部在对承接爪进行压制时，其可促使承接爪向卡接爪处转动，从而使得卡接爪可对承接爪更牢固的进行限位固定；限位环的设置，可对联动环以及卡接爪进行限位导向，即避免人员在更换探测头主体时卡接爪转动，从而提升了人员操作时的便捷性。

技术特征：

1.一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，包括用在扩散炉内非接触式温度传感器的探测头主体(1)，其特征在于，所述探测头主体(1)外环面的尾端固定有连接环(2)，探测头主体(1)外环面且连接环(2)的前侧滑动套设有连接片(3)，连接环(2)前端插设在连接片(3)内部，连接环(2)后端的外环面设有若干承接爪(4)，连接片(3)外环面套设有联动环(5)，联动环(5)侧面对应承接爪(4)固定有若干相配合的卡接爪(6)，卡接爪(6)内部均连接有拉簧(7)，拉簧(7)下端均固定在连接片(3)的体壁上，连接片(3)的一侧固定有安装片(8)，安装片(8)的另一端与相邻的卡接爪(6)之间共同设有加力组件。

2.根据权利要求1所述的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，其特征在于，所述加力组件包括销杆(9)、主动环(10)、从动条(11)以及截面呈正六边形的连接块(12)，销杆(9)转动安装有安装片(8)靠近卡接爪(6)的一端，主动环(10)安装在销杆(9)中部，连接块(12)固定在销杆(9)的一端，从动条(11)固定在相邻主动环(10)一侧的卡接爪(6)外环面并与主动环(10)紧密贴合。

3.根据权利要求2所述的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，其特征在于，所述主动环(10)外环面的两侧对应从动条(11)均设有环形的限位凸起，主动环(10)外环面中部固定有加力杆(15)。

4.根据权利要求1所述的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，其特征在于，所述卡接爪(6)远离联动环(5)一端的下表面设有导向凸起(13)，承接爪(4)远离联动环(5)一侧的表面对应导向凸起(13)设有相配合的容纳槽。

5.根据权利要求1所述的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，其特征在于，所述卡接爪(6)内部对应拉簧(7)设有容纳槽并在容纳槽内滑动套设有限位环(14)，限位环(14)远离卡接爪(6)的一端延伸至联动环(5)的外部并固定在连接片(3)的体壁上。

6.根据权利要求1所述的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，其特征在于，所述连接环(2)位于连接片(3)内部的一端设有第一密封圈，连接环(2)的端部对应第一密封圈倒有相配合的倾斜面。

7.根据权利要求1所述的一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，其特征在于，所述连接片(3)的尾端设有安装槽并在安装槽内安装有第二密封圈，第二密封圈远离连接片(3)的一侧与连接环(2)尾端相接触。

技术总结
本技术涉及测量器具技术领域，具体的公开了一种非接触式垂直炉测量仪的探测头，包括用在扩散炉内非接触式温度传感器的探测头主体，探测头主体外环面的尾端固定有连接环，探测头主体外环面且连接环的前侧滑动套设有连接片，连接环前端插设在连接片内部；本技术中人员在更换探测头主体时，仅需对卡接爪进行拉动便可完成对探测头主体的固定与拆分，即本方案可快速的对探测头主体进行更换与安装，从而有效的缩短了人员的操作时长，即解决了传统方案中传感器探头无法快速拆装而导致扩散炉停机时长无法进一步缩短，进而导致生产效率受到不良影响的缺陷，由此有利于降低扩散炉停机而导致的经济损失。

技术研发人员：文明岩
受保护的技术使用者：无锡微慢哪技术有限公司
技术研发日：20231222
技术公布日：2024/11/4