一种陶瓷电容式压力传感器的制作方法

本技术涉及传感器，具体为一种陶瓷电容式压力传感器。

背景技术：

1、陶瓷电容式压力传感器是一种基于陶瓷材料的压力传感器，其工作原理是利用陶瓷的压阻效应和电容效应来实现压力的测量。

2、陶瓷电容式压力传感器的结构主要包含陶瓷基体和陶瓷膜片两大部分。陶瓷膜片和陶瓷基体分别制作成电容的两极，当外界压力作用于陶瓷膜片时，陶瓷膜片发生变形，两极之间的距离发生改变，从而导致电容量改变；陶瓷膜片作为电容式压力传感器的主要元件，在受到压力作用时，其电阻值会发生改变，导致膜片两端的电容量也发生变化，这个电容量变化被检测并转换成相应的压力信号输出，从而实现压力的测量。

3、然而在一些工业环境中，陶瓷电容式压力传感器可能暴露在高温或温度变化较大的环境中，陶瓷材料具有较高的热膨胀系数，因此传感器对温度的稳定性较差，可能会影响其测量结果。为此，我们提出一种陶瓷电容式压力传感器。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种陶瓷电容式压力传感器，以解决上述背景技术中提出的传感器对温度的稳定性较差，可能会影响其测量结果问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种陶瓷电容式压力传感器，包括：陶瓷基体，陶瓷基体的表面活动连接有陶瓷膜片；

3、还包括：

4、补偿组件，补偿组件设置在陶瓷基体的表面，补偿组件在温度变化时，补偿组件的膨胀可以抵消陶瓷部分的膨胀，从而减小温度对传感器性能的影响。

5、其中，补偿组件包括按压板，按压板的表面滑动连接于陶瓷基体的表面，按压板的表面固定连接有固定环，固定环的表面开设有滑槽，滑槽的表面滑动连接有滑板。

6、其中，固定环的表面固定连接有三组相同的支撑板，三组支撑板的表面固定连接有定轴，定轴的表面滑动连接有锁扣。

7、其中，滑板的表面固定连接有伸缩柱，伸缩柱的表面滑动连接有伸缩套，伸缩柱的表面设置有弹簧。

8、其中，伸缩套的表面固定连接有底板，底板的表面固定连接有金属壳一，所说金属壳一的表面开设有孔洞。

9、其中，陶瓷膜片的表面活动连接有金属壳二，金属壳二的表面开设有锁孔，金属壳二的表面固定连接有通风扇，金属壳二的表面开设有通风孔。

10、其中，陶瓷膜片的表面开设有定位槽，定位槽的表面固定连接有外设连接元件。

11、本实用新型至少具备以下有益效果：

12、补偿组件在温度变化时，补偿组件的膨胀可以抵消陶瓷部分的膨胀，从而减小温度对传感器性能的影响；陶瓷传感器在高温或温度变化较大的环境中工作时，由于温度的变化会导致传感器内部结构发生变化，从而影响传感器的稳定性，补偿组件的设计，可以减小这种影响，使传感器在各种温度条件下保持稳定的性能；补偿组件的设计，可以抵消因陶瓷材料具有较高的热膨胀系数，传感器在温度变化时会产生较大的形变，从而减小误差，提高测量精度。

技术特征：

1.一种陶瓷电容式压力传感器，包括：陶瓷基体(1)，所述陶瓷基体(1)的表面活动连接有陶瓷膜片(2)；

2.根据权利要求1所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述补偿组件(3)包括按压板(4)，所述按压板(4)的表面滑动连接于所述陶瓷基体(1)的表面，所述按压板(4)的表面固定连接有固定环(5)，所述固定环(5)的表面开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的表面滑动连接有滑板(7)。

3.根据权利要求2所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述固定环(5)的表面固定连接有三组相同的支撑板(8)，三组所述支撑板(8)的表面固定连接有定轴(9)，所述定轴(9)的表面滑动连接有锁扣(10)。

4.根据权利要求2所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述滑板(7)的表面固定连接有伸缩柱(11)，所述伸缩柱(11)的表面滑动连接有伸缩套(12)，所述伸缩柱(11)的表面设置有弹簧(13)。

5.根据权利要求4所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述伸缩套(12)的表面固定连接有底板(14)，所述底板(14)的表面固定连接有金属壳一(15)，所说金属壳一(15)的表面开设有孔洞(16)。

6.根据权利要求1所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述陶瓷膜片(2)的表面活动连接有金属壳二(17)，所述金属壳二(17)的表面开设有锁孔(18)，所述金属壳二(17)的表面固定连接有通风扇(19)，所述金属壳二(17)的表面开设有通风孔(20)。

7.根据权利要求6所述的陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述陶瓷膜片(2)的表面开设有定位槽(21)，所述定位槽(21)的表面固定连接有外设连接元件(22)。

技术总结
本技术涉及传感器技术领域，具体公开了一种陶瓷电容式压力传感器，包括：陶瓷基体，陶瓷基体的表面活动连接有陶瓷膜片；还包括：补偿组件，补偿组件设置在陶瓷基体的表面，补偿组件在温度变化时，补偿组件的膨胀可以抵消陶瓷部分的膨胀，从而减小温度对传感器性能的影响；补偿组件包括按压板，按压板的表面滑动连接于陶瓷基体的表面，按压板的表面固定连接有固定环，固定环的表面开设有滑槽，滑槽的表面滑动连接有滑板。补偿组件的设计，可以抵消因陶瓷材料具有较高的热膨胀系数，传感器在温度变化时会产生较大的形变，从而减小误差，提高测量精度。

技术研发人员：徐雷,徐天浩
受保护的技术使用者：无锡浩迈智能科技有限公司
技术研发日：20231229
技术公布日：2024/10/17