MEMS传感器的诊断方法及诊断系统与流程

本公开总体涉及mems传感器的诊断方法和mems传感器的诊断系统。本公开具体涉及一种用于诊断mems传感器的mems传感器的诊断方法和用于诊断mems传感器的mems传感器的诊断系统。

背景技术：

1、专利文献1描述了一种加速度传感器(mems传感器)，包括：至少一个微机械传感器元件(mems元件)；电子评估单元；以及监测器。至少一个微机械传感器元件拾取加速度。评估单元具有冗余信号路径，包括用于至少一个传感器元件中的每一个的单独a/d转换器。监测器监测与至少一个a/d转换器的功能相关的参数。

2、专利文献

3、专利文献1：jp 2015-515616 a

技术实现思路

1、本公开的一个目的是提供一种mems传感器的诊断方法和mems传感器的诊断系统，其被配置为验证mems传感器所使用的响应函数中的响应系数的重写和更新是否已成功。

2、根据本公开的一方面的mems传感器的诊断方法是诊断mems传感器的方法，该mems传感器包括mems元件、模拟电路单元、a/d转换器、数字电路单元和存储装置。mems元件被配置为根据外部施加的应力的大小而输出第一模拟信号。模拟电路单元被配置为对从mems元件输出的第一模拟信号执行信号处理以输出信号处理后的第二模拟信号。a/d转换器被配置为将从模拟电路单元输出的第二模拟信号转换为数字信号。数字电路单元被配置为基于从a/d转换器输出的数字信号根据应力的大小而生成输出信号，以将输出信号输出到外部系统。存储装置被配置为存储模拟电路单元或数字电路单元中的至少一个电路单元所使用的响应函数中的响应系数。mems传感器的诊断方法包括重写控制步骤、更新控制步骤、生成控制步骤和确定步骤。重写控制步骤包括响应于来自外部系统的响应系数的重写指令，使存储装置执行将响应系数从第一响应系数重写为第二响应系数的重写过程。更新控制步骤包括使至少一个电路单元执行将响应系数从第一响应系数更新为第二响应系数的更新过程。生成控制步骤包括在更新控制步骤之后，使数字电路单元执行根据输入到mems元件或模拟电路单元的测试输入信号而生成测试输出信号的生成过程，测试输出信号是数字的，测试输入信号是模拟的。确定步骤包括执行确定测试输出信号是否被包括在测试输入信号所指定的允许范围内的确定过程。

3、根据本公开的一方面的mems传感器的诊断系统是用于诊断mems传感器的系统，mems传感器包括mems元件、模拟电路单元、a/d转换器、数字电路单元和存储装置。mems元件被配置为根据外部施加的应力的大小而输出第一模拟信号。模拟电路单元被配置为对从mems元件输出的第一模拟信号执行信号处理，以输出信号处理后的第二模拟信号。a/d转换器被配置为将从模拟电路单元输出的第二模拟信号转换为数字信号。数字电路单元被配置为基于从a/d转换器输出的数字信号，根据应力的大小而生成输出信号，以将输出信号输出到外部系统。存储装置被配置为存储模拟电路单元或数字电路单元中的至少一个电路单元所使用的响应函数中的响应系数。mems传感器的诊断系统包括重写控制器、更新控制单元、生成控制器和确定单元。重写控制器被配置为响应于来自外部系统的响应系数的重写指令，使存储装置执行将响应系数从第一响应系数重写为第二响应系数的重写过程。更新控制单元被配置为使至少一个电路单元执行将响应系数从第一响应系数更新为第二响应系数的更新过程。生成控制器被配置为在更新控制单元使至少一个电路单元执行更新过程之后，使数字电路单元执行根据输入到mems元件或模拟电路单元的测试输入信号而生成测试输出信号的生成过程，测试输出信号为数字的，测试输入信号为模拟的。确定单元被配置为执行确定测试输出信号是否被包括在测试输入信号所指定的允许范围内的确定过程。

技术特征：

1.一种mems传感器的诊断方法，所述mems传感器包括：

2.根据权利要求1所述的诊断方法，还包括通知控制步骤，在所述通知控制步骤中，当在所述确定步骤中确定所述测试输出信号不被包括在所述允许范围内时，使所述外部系统执行通知所述重写控制步骤或所述更新控制步骤中发生错误的通知过程。

3.根据权利要求1或2所述的诊断方法，其中

4.根据权利要求1或2所述的诊断方法，其中

5.根据权利要求1或2所述的诊断方法，其中

6.根据权利要求1或2所述的诊断方法，其中

7.一种mems传感器的诊断系统，所述mems传感器包括：

8.根据权利要求7所述的诊断系统，其中

技术总结
本公开的目的在于验证MEMS传感器所使用的响应函数中的响应系数的重写和更新是否已成功。重写控制步骤(ST1)包括响应于来自外部系统的响应系数的重写指令，使存储装置执行将响应系数从第一响应系数重写为第二响应系数的重写过程。更新控制步骤(ST2)包括使电路单元执行将电路单元从第一响应系数更新为第二响应系数的更新过程。生成控制步骤(ST3)包括在更新控制步骤(ST2)之后，使数字电路单元执行根据输入到MEMS元件或模拟电路单元的测试输入信号而生成测试输出信号的生成过程。确定步骤(ST4)包括执行确定测试输出信号是否在测试输入信号所指定的允许范围内的确定过程。

技术研发人员：森岳志
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/9/9