传感器的制作方法

本发明涉及检测按压力的传感器。

背景技术：

1、作为与现有的传感器有关的发明，例如，已知有专利文献1所记载的按压传感器。该按压传感器具备压电膜、第二电极以及第三电极。第二电极经由粘合层固定于压电膜的上主面。第三电极经由粘合层固定于压电膜的下主面。压电膜若被向下方向按压，则在左右方向上延伸。压电膜若在左右方向上拉伸，则产生电荷。由此，从第二电极输出与按压力相对应的检测信号。以上那样的按压传感器安装于电子设备的显示面板。

2、专利文献1：国际公开第2020/129346号

3、然而，在专利文献1所记载的按压传感器中，期望电极的密封性的提高。

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于提供能够提高电极的密封性的传感器。

2、本发明的一个方式的传感器具备：

3、压电膜，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面；

4、第一电极，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面，并且设置在比上述压电膜靠上方，并且在沿上下方向观察时与上述压电膜的至少一部分重叠；

5、第二电极，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面，并且设置在比上述压电膜靠下方，并且在沿上下方向观察时与上述压电膜的至少一部分重叠；以及

6、绝缘体层，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面，并且设置在比上述第一电极靠上方，并且在沿上下方向观察时与上述第一电极的至少一部分重叠，

7、沿上下方向观察到的上述绝缘体层的上主面的外缘的至少一部分在沿上下方向观察时不与上述第一电极重叠，并且位于比上述第一电极的上主面靠下方。

8、根据本发明的传感器，能够提高电极的密封性。

技术特征：

1.一种传感器，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的传感器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的传感器，其中，

4.根据权利要求1或2所述的传感器，其中，

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的传感器，其中，

技术总结
本发明的传感器具备：压电膜，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面；第一电极，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面，并且设置在比压电膜靠上方，并且在沿上下方向观察时与压电膜的至少一部分重叠；第二电极，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面，并且设置在比压电膜靠下方，并且在沿上下方向观察时与压电膜的至少一部分重叠；以及绝缘体层，具有沿上下方向排列的上主面以及下主面，并且设置在比第一电极靠上方，并且在沿上下方向观察时与第一电极的至少一部分重叠，沿上下方向观察到的绝缘体层的上主面的外缘的至少一部分在沿上下方向观察时不与第一电极重叠，并且位于比第一电极的上主面靠下方。

技术研发人员：原田真吾
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/9/29