在扫描测试期间使用扫描链从集成传感器读出数据的制作方法

本申请案主张2022年6月7日提出申请的以“在扫描测试期间使用扫描链从集成传感器读出数据(using scan chains to read out data from integrated sensorsduring scan tests)”为标题的美国申请案第17/834,433号的优先权的权益，所述申请案以引用方式并入本文中。本公开大体上涉及测试电子电路。特定来说，本公开涉及在集成电路测试期间从集成传感器读出数据。

背景技术：

1、随着技术节点缩小且装置的复杂性及门计数增加，对已制造的集成电路的测试变得越来越重要并且越来越复杂。然而，如果在测试期间仅可接入经直接连接到集成电路的输入/输出(i/o)接脚的逻辑电路，那么可使测试受限。由于对芯片内部的接入受限，可难以设定内部信号来测试各种情境且难以读取内部信号来确定电路是否有故障。

2、一种改进此情况的方法是通过使用扫描链。扫描链是可通过芯片的i/o接脚接入的内部电路的链。以此方式，内部电路的逻辑状态可借由通过扫描链将特定值传输到内部电路而被设定为那些值。这可用以设定用于测试的可变状态。一旦测试运行，那么可通过捕获内部电路处的值且接着通过扫描链读出所述值来观察内部电路处的所得值。这些测试可被称为扫描测试。

技术实现思路

1、在一个方面中，也通过扫描链读出传感器数据。对含有实施逻辑功能的逻辑电路的集成电路运行扫描测试。所述逻辑电路互连以形成在运行所述扫描测试时使用的扫描链。通过这些扫描链从所述逻辑电路读出由所述扫描测试产生的扫描测试数据。在所述扫描测试期间，传感器块捕获针对所述逻辑电路的所述操作条件的测量。举例来说，所述操作条件可包含处理条件、电压条件及/或温度条件。所述传感器块也互连以形成一或多个扫描链，且与所述读出所述扫描测试数据并发地，通过这些扫描链读出从所述经捕获测量产生的传感器数据。

2、在另一方面中，所述扫描测试的所述传感器数据可与所述扫描测试数据相关且用以改进所述集成电路的所述测试。

3、其它方面包含组件、装置、系统、改进方案、方法、过程、应用、计算机可读介质及与上述内容中的任一者相关的其它技术。

技术特征：

1.一种方法，其包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中根据定义移位周期及捕获周期的扫描启用信号来控制所述扫描测试，所述方法进一步包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其中通过所述传感器扫描链捕获的所述传感器数据包含基于在所述捕获周期及所述移位周期两者期间由所述传感器块捕获的测量的传感器数据。

4.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其中处理所述经捕获测量的所述样本包括计算表征所述经捕获测量的所述样本的分布的传感器数据。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述传感器块根据第一时钟域来产生所述传感器数据且所述传感器数据根据不同的第二时钟域通过所述传感器扫描链来移出，所述方法进一步包括将所述根据所述第一时钟域来产生传感器数据与所述通过所述传感器扫描链根据所述第二时钟域来捕获传感器数据同步。

7.一种装置，其包括：

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述经测量操作条件包括处理条件、电压条件及温度条件中的至少一者。

9.根据权利要求7所述的装置，其中所述传感器块进一步包括流式传输寄存器，其中所述传感器数据存储在所述流式传输寄存器中且所述流式传输寄存器互连以形成所述一或多个传感器扫描链。

10.根据权利要求9所述的装置，其中所述传感器块中的至少一些传感器块进一步包括处理所述操作条件的所述测量以生成所述传感器数据的处理电路。

11.根据权利要求7所述的装置，其中所述传感器块中的至少一些传感器块进一步包括对操作条件的所述测量进行时控的传感器时钟、对所述传感器扫描链进行时控的不同扫描时钟及所述传感器时钟与所述扫描时钟之间的时钟域交叉。

12.根据权利要求7所述的装置，其进一步包括：

13.根据权利要求7所述的装置，其中所述逻辑电路也互连以形成用于从所述逻辑电路移出扫描测试数据的一或多个逻辑扫描链，且并发地从所述逻辑电路移出所述扫描测试数据及从所述传感器块移出所述传感器数据。

14.根据权利要求13所述的装置，其进一步包括：

15.一种非暂时性计算机可读介质，其包括经存储指令，所述经存储指令在由自动化测试系统执行时致使所述自动化测试系统：

16.根据权利要求15所述的非暂时性计算机可读介质，其进一步包括：

17.根据权利要求15所述的非暂时性计算机可读介质，其中改进所述dut的所述测试包括：

18.根据权利要求15所述的非暂时性计算机可读介质，其中改进所述dut的所述测试包括：

19.根据权利要求15所述的非暂时性计算机可读介质，其中所述指令进一步致使处理器：

20.根据权利要求19所述的非暂时性计算机可读介质，其中所述经显示操作条件包含处理条件、电压条件及温度条件中的至少一者。

技术总结
通过扫描链读出与集成电路的操作条件相关的传感器数据。对含有实施逻辑功能的逻辑电路的集成电路运行扫描测试。所述逻辑电路互连以形成在运行所述扫描测试时使用的扫描链。通过这些扫描链从所述逻辑电路读出由所述扫描测试产生的扫描测试数据。在所述扫描测试期间，传感器块捕获针对所述逻辑电路的所述操作条件的测量。举例来说，所述操作条件可包含处理条件、电压条件及/或温度条件。所述传感器块也互连以形成一或多个扫描链，且与所述读出所述扫描测试数据并发地，通过这些扫描链读出从所述经捕获测量产生的传感器数据。

技术研发人员：B·G·盖达,A·辛哈
受保护的技术使用者：新思科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/2