一种MEMS催化燃烧式传感器封装结构的制作方法

本发明属于气体传感器封装，具体涉及一种mems催化燃烧式传感器封装结构。

背景技术：

1、现阶段mems催化燃烧式可燃气体传感器的封装结构的检测元件和补偿元件距离较近，且没有之间没有遮挡物，导致检测元件和补偿元件的信号相互干扰，从而降低灵敏度和稳定性，无法确保检测的准确性。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种mems催化燃烧式传感器封装结构，通过中间挡板将检测元件和补偿元件隔开，信号之间不干扰，提高传感器的灵敏度和稳定性。

2、本发明是通过下述技术方案实现的：

3、一种mems催化燃烧式传感器封装结构，包括：传感元件组件、传感器帽及透气层；

4、所述传感元件组件包括pcb板、mems微加热片、检测元件和补偿元件；mems微加热片安装在pcb板上，检测元件和补偿元件均通过悬臂梁结构并列安装在mems微加热片上的加热区；

5、所述传感器帽为一端开口、一端加工有轴向通孔的圆筒结构；所述传感器帽内安装有中间挡板，中间挡板沿传感器帽的径向设置；所述传感器帽的开口端安装在传感元件组件的pcb板上，使得mems微加热片位于传感器帽的腔体内，且传感器帽的中间挡板的底面抵触在mems微加热片的上表面，中间挡板位于检测元件和补偿元件中间，将检测元件和补偿元件隔开；

6、所述透气层为可通过气体的圆板结构，透气层的一端面设有同轴的圆形凸台；透气层的圆形凸台所在端端面安装在传感器帽的轴向通孔所在端外端面，且透气层的圆形凸台安装在传感器帽的轴向通孔内，并将传感器帽的轴向通孔封闭。

7、进一步的，还包括防尘透气膜；所述防尘透气膜安装在透气层的另一端面。

8、进一步的，防尘透气膜选用聚四氟乙烯高分子膜。

9、进一步的，传感器帽的材质选择不含硅和硫的abs阻燃材料。

10、进一步的，透气层的材质选用不锈钢粉末冶金片。

11、有益效果：

12、(1)本发明通过透气层、传感器帽和传感元件组件的配合，通过中间挡板将检测元件和补偿元件隔开，信号之间不干扰，可大大提高mems可燃气体传感器的灵敏度和测量精度，确保检测的准确性。

13、(2)本发明还包括防尘透气膜，使mems催化燃烧式传感器具有防水和防尘效果，配合透气层，使传感器具有良好的过滤作用。

14、(3)本发明的透气层的材质选用不锈钢粉末冶金片，当涉及危险气体时，采用该材料的透气层还具有防爆能力。

技术特征：

1.一种mems催化燃烧式传感器封装结构，其特征在于，包括：传感元件组件、传感器帽及透气层；

2.如权利要求1所述的一种mems催化燃烧式传感器封装结构，其特征在于，还包括防尘透气膜；所述防尘透气膜安装在透气层的另一端面。

3.如权利要求2所述的一种mems催化燃烧式传感器封装结构，其特征在于，防尘透气膜选用聚四氟乙烯高分子膜。

4.如权利要求1所述的一种mems催化燃烧式传感器封装结构，其特征在于，传感器帽的材质选择不含硅和硫的abs阻燃材料。

5.如权利要求1-4任一项所述的一种mems催化燃烧式传感器封装结构，其特征在于，透气层的材质选用不锈钢粉末冶金片。

技术总结
本发明公开了一种MEMS催化燃烧式传感器封装结构，包括：传感元件组件、传感器帽及透气层；传感器帽内安装有中间挡板，中间挡板沿传感器帽的径向设置；所述传感器帽的开口端安装在传感元件组件的PCB板上，使得MEMS微加热片位于传感器帽的腔体内，且传感器帽的中间挡板的底面抵触在MEMS微加热片的上表面，中间挡板位于检测元件和补偿元件中间，将检测元件和补偿元件隔开；透气层的一端面设有同轴的圆形凸台；透气层的圆形凸台所在端端面安装在传感器帽的轴向通孔所在端外端面，且透气层的圆形凸台安装在传感器帽的轴向通孔内，并将传感器帽的轴向通孔封闭。本发明通过中间挡板将检测元件和补偿元件隔开，信号之间不干扰，提高传感器的灵敏度和稳定性。

技术研发人员：曹振芳,赵丽娟,王涛,张明,汤卫华
受保护的技术使用者：中国船舶集团有限公司第七一八研究所
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17