压力传感器以及压力检测系统的制作方法

本发明涉及压力传感器以及压力检测系统。

背景技术：

1、压力检测系统具备：压力传感器，供压力输入；以及控制装置，根据从压力传感器输出的输出值来计算压力值。另外，下述专利文献的压力传感器具备：阵列基板，设有多个检测电极；公共电极，与检测电极对置；以及传感器层，夹在检测电极与公共电极之间。若向压力传感器输入压力，则公共电极以及传感器层朝向阵列基板变形。然后，若传感器层与检测电极接触，则电流经由传感器层从公共电极向检测电极流动。另外，传感器层在绝缘性的树脂的内部分散有导电性粒子。若树脂变形，则导电性粒子彼此接触，传感器层的电阻值变低。若树脂的变形量变大，则相互接触的导电性粒子的数量增加，传感器层的电阻值的降低量也变大。由此，若输入到压力传感器的压力变大，则流向检测电极的电流值也变大。由此，压力传感器能够针对每个检测电极检测压力。换言之，压力传感器的检测区域被划分为多个单独检测区域。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2018-146489号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、然而，例如tft(thin film transistor：薄膜晶体管)等每个开关元件的特性有时在每个单独检测区域中不同。另外，将由检测电极检测出的检测信号(电流)送至控制装置的路径、即模拟前端(以下，称为afe)的每个路径有时存在有特性的偏差。根据这样的理由，即使输入到多个单独检测区域的压力为相同的大小，控制装置所接收的输出值有时也不同。因此，在控制装置中，每个单独检测区域的输出值被校正。

3、另一方面，为了获取单独检测区域的校正数据，需要对单独检测区域施加统一的压力并获取单独检测区域的输出值。在此，作为对各单独检测区域施加统一的压力的方法，可举出准备能够与检测区域的整个区域抵接的夹具并将该夹具按压于检测区域的方法。然而，在构成检测区域的检测面存在有微小的凹凸、变形的情况下，即使按压夹具也不会对各单独检测区域作用统一的压力。由此，期望是对检测面施加统一的压力以外的方法，且能够通过简单的方法获取校正数据。

4、本发明的目的在于提供一种能够通过简单的方法获取校正数据的压力传感器以及压力检测系统。

5、用于解决技术问题的方案

6、本公开的第一方式所涉及的压力传感器具备：多个检测电极，配置于每个单独检测区域；传感器层，与多个所述检测电极对置；公共电极，在输入压力时，使电流经由所述传感器层流向所述检测电极；多条信号线，与所述检测电极连接，用于将在所述检测电极中流动的电流向外部输出；多个开关元件，对所述信号线与所述检测电极的连接进行开闭；多条栅极线，控制所述开关元件的开闭；多个校正用电路，配置于每个所述单独检测区域；以及校正用栅极线，驱动所述校正用电路。从所述信号线输出的电流值与向所述单独检测区域输入的压力的大小成比例。所述校正用电路具有第一布线以及第二布线，所述第一布线以及所述第二布线一端连接于所述公共电极，另一端连接于所述信号线，并且与所述检测电极以及所述开关元件并联连接。所述第一布线具有：第一电阻值的第一电阻元件；以及第一布线用开关元件，对所述第一布线进行开闭。所述第二布线具有：比所述第一电阻值大的第二电阻值的第二电阻元件；以及第二布线用开关元件，对所述第二布线进行开闭。所述校正用栅极线具有：第一校正用栅极线，控制所述第一布线用开关元件；以及第二校正用栅极线，控制所述第二布线用开关元件。

7、本公开的第二方式所涉及的压力传感器具备：多个检测电极，配置于每个单独检测区域；传感器层，与多个所述检测电极对置；公共电极，在输入压力时，使电流经由所述传感器层流向所述检测电极；多条信号线，与所述检测电极连接，用于接收在所述检测电极中流动的电流；多个开关元件，对所述信号线与所述检测电极的连接进行开闭；多条栅极线，控制所述开关元件的开闭；多个校正用电路，配置于所述单独检测区域的外部即被检测区域；校正用栅极线，驱动所述校正用电路；以及校正用信号线，输出来自所述校正用电路的信号。从所述信号线输出的电流值与向所述单独检测区域输入的压力的大小成比例。多个所述检测电极在所述信号线延伸的第一方向上、以及与所述第一方向交叉的第二方向上排列。所述校正用电路针对在所述第二方向上排列的多个所述检测电极各设置有一个。所述校正用电路具有第一布线以及第二布线，所述第一布线以及所述第二布线一端连接于与在所述第二方向上排列的多个所述检测电极共用的所述公共电极，另一端连接于所述校正用信号线。所述第一布线具有：第一电阻值的第一电阻元件；以及第一布线用开关元件，对所述第一布线进行开闭。所述第二布线具有：比所述第一电阻值大的第二电阻值的第二电阻元件；以及第二布线用开关元件，对所述第二布线进行开闭。所述校正用栅极线具有：第一校正用栅极线，控制所述第一布线用开关元件；以及第二校正用栅极线，控制所述第二布线用开关元件。

8、本公开的第三方式所涉及的压力传感器具备：多个检测电极，配置于每个单独检测区域；传感器层，与多个所述检测电极对置；公共电极，在输入压力时，使电流经由所述传感器层流向所述检测电极；多条信号线，与所述检测电极连接，用于接收在所述检测电极中流动的电流；多个开关元件，对所述信号线与所述检测电极的连接进行开闭；多条栅极线，控制所述开关元件的开闭；多个校正用电路，配置于所述单独检测区域的外部即被检测区域；以及校正用栅极线，驱动所述校正用电路。从所述信号线输出的电流值与向所述单独检测区域输入的压力的大小成比例。多个所述检测电极在所述信号线延伸的第一方向、以及与所述第一方向交叉的第二方向上排列。所述校正用电路针对在所述第一方向上排列的多个所述检测电极各设置有一个。所述校正用电路具有第一布线以及第二布线，所述第一布线以及所述第二布线一端连接于所述公共电极，另一端连接于与在所述第一方向上排列的多个所述检测电极共用的所述信号线。所述校正用电路具有另一端与所述信号线连接的第一布线以及第二布线。所述第一布线具有：第一电阻值的第一电阻元件；以及第一布线用开关元件，对所述第一布线进行开闭。所述第二布线具有：比所述第一电阻值大的第二电阻值的第二电阻元件；以及第二布线用开关元件，对所述第二布线进行开闭。所述校正用栅极线具有：第一校正用栅极线，控制所述第一布线用开关元件；以及第二校正用栅极线，控制所述第二布线用开关元件。

9、本公开的一个方式所涉及的压力检测系统具有：所述压力传感器；以及控制装置，根据所述压力传感器的信号线的输出结果来计算压力值。所述控制装置根据所述第一布线用开关元件关闭的情况下的第一输出值、以及所述第二布线用开关元件关闭的情况下的第二输出值，计算单独检测区域中的输出值特性直线。所述控制装置计算用于使所述输出值特性直线与示出期望的输出值的校正目标直线一致的校正系数。所述控制装置使用所述校正系数来校正输出值。

技术特征：

1.一种压力传感器，具备：

2.一种压力检测系统，具有：

3.一种压力传感器，具备：

4.一种压力检测系统，具有：

5.一种压力传感器，具备：

6.一种压力检测系统，具有：

技术总结
一种压力传感器以及压力检测系统，压力传感器具备多个检测电极、传感器层、公共电极、多条信号线、多个开关元件、多条栅极线、配置于每个单独检测区域的多个校正用电路、以及驱动校正用电路的校正用栅极线。从信号线输出的电流值与所输入的压力的大小成比例。校正用电路具有一端连接于公共电极、另一端连接于信号线、且与检测电极以及开关元件并联连接的第一布线以及第二布线。第一布线具有第一电阻值的第一电阻元件和第一布线用开关元件。第二布线具有比第一电阻值大的第二电阻值的第二电阻元件和第二布线用开关元件。校正用栅极线具有控制第一布线用开关元件的第一校正用栅极线、以及控制第二布线用开关元件的第二校正用栅极线。

技术研发人员：芳贺祐太
受保护的技术使用者：株式会社日本显示器
技术研发日：
技术公布日：2024/8/15