一种单点和多点真空自校准方法及系统与流程

本发明涉及真空校准，特别是一种单点和多点真空自校准方法及系统。

背景技术：

1、真空技术在航空航天、芯片制造、电子器件制造以及冶金领域的广泛应用使得真空校准成为检查和修正真空仪器精度的重要手段，真空校准包含了真空获得、真空测量和真空漏率计算，其中真空类仪表的校准工作目前主要在计量实验室完成；然而当前的真空校准装置存在一些技术背景和缺点，需要进一步改进，例如在航空航天领域，真空技术广泛用于太空探测器和卫星的制造与测试，由于外太空环境的特殊性，航天器必须能够在真空中正常运行，因此对航天器内部仪器的精准度要求极高，真空校准成为确保这些仪器准确性的基石；在芯片制造和电子器件制造领域，真空技术则是确保微电子元器件制造质量的关键因素；真空校准在冶金领域的应用主要集中在对真空炉和真空感应炉设备的校准上，以确保这些设备在高温和高真空环境下的准确性和稳定性。

2、但目前常见的解决方案存在诸多缺点，包括：当前真空校准装置在真空度的建立上需要很精确的控制，由于真空技术的特殊性，确保仪器准确度的校准过程对真空度的控制要求极高，这在一定程度上增加了仪器校准的复杂性和难度，同时也增加了实验室操作人员的技术要求，为了达到所需的真空度，通常需要进行多次手动调整，这不仅浪费时间，还容易引入人为误差；其次，当前真空校准装置的操作过程相对繁琐，需要操作人员手动完成不同真空度的调整，这使得在实验室环境下进行真空校准需要经验丰富的技术人员，增加了人力成本，同时人工操作容易导致校准结果的不稳定性和不一致性，影响了校准的精度和可靠性，为了提高真空校准的效率和准确性，需要引入更智能化和自动化的技术手段。

技术实现思路

1、鉴于对真空类仪表精度进行检查和修正时，现有技术中需要进行多次手动调整，增加了人力成本并且引入人为误差，影响校准的精度和可靠性等问题，提出了本发明。

2、因此，本发明所要解决的问题在于如何提供一种能解决和适应不同应用场景，配合工作人员完成被校表的校准工作，减轻工作人员工作量和降低因人的操作水平差异造成的示值误差的方法。

3、为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：

4、第一方面，本发明实施例提供了一种单点和多点真空自校准方法，其包括利用传感器采集真空校准装置的相关参数，安装被校真空计并进行校准满度；检查设备状态并进行调整；基于真空校准模式进行校准流程并记录校准数据；对校准腔室进行抽真空操作，保持所述校准腔室的真空环境。

5、作为本发明所述单点和多点真空自校准方法的一种优选方案，其中：所述真空校准装置的相关参数包括标准传感器输出的电信号、被检传感器输出的电信号和电磁截止阀状态；所述真空校准装置包括抽气系统、充气系统、校准腔室(301)、控制系统、电源系统、机箱以及控制机柜；所述抽气系统包括机械泵(201)、分子泵(202)、前级阀(401)、主抽阀(402)、电磁隔断阀(404)以及旁路阀(405-a)；所述充气系统包括充气罐(302)、减压阀(405-b)、质量流量控制器(801)、电磁截止阀(403)以及连接管路；所述控制系统包括控制模块、触摸屏、继电器、io模块、真空计、plc(701)以及喇叭；所述电源系统包括空开、电源模块、保险以及滤波器；所述真空计包括标准真空计(501)、标准真空计(502)、标准真空计(503)以及被校真空计(601)。

6、作为本发明所述单点和多点真空自校准方法的一种优选方案，其中：所述安装被校真空计并进行校准满度通过将被校真空计(601)安装在被校工位上，等待t分钟后校准满度；所述设备状态包括前级阀(401)、主抽阀(402)、电磁隔断阀(404)、旁路阀(405-a)、减压阀(405-b)、机械泵(201)以及分子泵(202)；所述调整通过将设备状态调整至关闭状态或停止状态，再将u盘插入接口。

7、作为本发明所述单点和多点真空自校准方法的一种优选方案，其中：所述真空校准模式包括自动模式和手动模式；所述自动模式包括四点全自动和任意点自动。

8、作为本发明所述单点和多点真空自校准方法的一种优选方案，其中：所述四点全自动包括以下步骤：利用抽气系统进行抽极限真空操作并维持真空环境；控制压力到第一阈值并稳定压力，记录对应数据；控制压力到第二阈值并稳定压力，记录对应数据；控制压力到第三阈值并稳定压力，记录对应数据；控制压力到第四阈值并稳定压力，记录对应数据。

9、作为本发明所述单点和多点真空自校准方法的一种优选方案，其中：所述任意点自动包括以下步骤：利用抽气系统进行抽极限真空操作并维持真空环境；设置控制压力并稳定压力；记录m次数据并导出报表；重复上述设置控制压力并稳定压力和记录m次数据并导出报表步骤。

10、作为本发明所述单点和多点真空自校准方法的一种优选方案，其中：所述手动模式通过进行抽真空操作，保持校准腔室的真空环境；所述手动模式包括以下步骤：启动机械泵(201)，打开旁路阀(405-a)，进行校准室粗抽；若标准真空计(503)示数小于第二阈值，则粗抽完成，关闭旁路阀(405-a)；打开前级阀(401)，若标准真空计(503)示数小于第二阈值，则启动分子泵(202)并打开主抽阀(402)进行抽真空操作；若标准真空计(501)示数和标准真空计(502)示数小于第五阈值，则关闭主抽阀(402)；关闭分子泵(202)、前级阀(401)和机械泵(201)。

11、第二方面，本发明为进一步解决真空校准中存在的安全问题，实施例提供了一种单点和多点真空自校准系统，其包括：校准处理模块，用于采集移动式自供电真空校准装置的相关参数，对被校真空计(601)进行校准满度，并检查装置的运行状态；自动校准模块，用于利用四点全自动和任意点自动两种自动模式对真空校准装置进行自动校准；维持真空模块，用于通过手动模式控制真空校准装置中各项设备的运行，对真空校准装置进行抽真空操作，保持校准腔室的真空环境。

12、第三方面，本发明实施例提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其中：所述计算机程序被处理器执行时实现如本发明第一方面所述的一种单点和多点真空自校准方法的任一步骤。

13、第四方面，本发明实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其中：所述计算机程序被处理器执行时实现如本发明第一方面所述的一种单点和多点真空自校准方法的任一步骤。

14、本发明有益效果为：本发明通过各部件的配合实现了单点和多点的自动校准，解决了真空校准装置无法自动校准的问题，减轻了工作人员的工作量，降低了因为人的操作水平差异造成的示值误差。

技术特征：

1.一种单点和多点真空自校准方法，其特征在于：包括：

2.如权利要求1所述的单点和多点真空自校准方法，其特征在于：所述真空校准装置的相关参数包括标准传感器输出的电信号、被检传感器输出的电信号和电磁截止阀状态；

3.如权利要求2所述的单点和多点真空自校准方法，其特征在于：所述安装被校真空计并进行校准满度通过将被校真空计(601)安装在被校工位上，等待t分钟后校准满度；

4.如权利要求3所述的单点和多点真空自校准方法，其特征在于：所述真空校准模式包括自动模式和手动模式；

5.如权利要求4所述的单点和多点真空自校准方法，其特征在于：所述四点全自动包括以下步骤：

6.如权利要求5所述的单点和多点真空自校准方法，其特征在于：所述任意点自动包括以下步骤：

7.如权利要求6所述的单点和多点真空自校准方法，其特征在于：所述手动模式通过进行抽真空操作，保持校准腔室的真空环境；

8.一种单点和多点真空自校准系统，基于权利要求1～7任一所述的一种单点和多点真空自校准方法，其特征在于：包括，

9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于：所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1～7任一所述的一种单点和多点真空自校准方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于：所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1～7任一所述的一种单点和多点真空自校准方法的步骤。

技术总结
本发明公开了一种单点和多点真空自校准方法及系统，涉及真空校准技术领域，包括利用传感器采集真空校准装置的相关参数，安装被校真空计并进行校准满度；检查设备状态并进行调整；基于真空校准模式进行校准流程并记录校准数据；对校准腔室进行抽真空操作，保持所述校准腔室的真空环境。本发明通过各部件的配合实现了单点和多点的自动校准，解决了真空校准装置无法自动校准的问题，减轻了工作人员的工作量，降低了因为人的操作水平差异造成的示值误差。

技术研发人员：孙惠敏,席京彬,吴志军,王锋,鲍学斌,何婷婷,李冰,王琛,邢校萄,潘晓亮,陈曦
受保护的技术使用者：华能核能技术研究院有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/7/18