一种光学检测系统的制作方法

本发明涉及光学检测，尤其是涉及一种光学检测系统。

背景技术：

1、光学检测系统能够通过检测物质被激发后的光，来判断物质的形态。有些光学检测系统利用2d振镜改变光线的传播方向，来实现不同程度的光线弯曲，从而满足光线在一定范围内角度的扫描。

2、利用振镜进行光线扫描的缺点在于光线投射角度能达到的调整范围有限，且扫描速度较低，导致系统具有检测范围小及检测效率低的缺陷。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种光学检测系统，以解决现有的光学检测系统存在的检测范围小及检测效果低的技术问题。

2、为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

3、一种光学检测系统，包括光源、第一旋转棱镜装置、载物平台和识别装置；

4、所述第一旋转棱镜装置包括可旋转的第一棱镜；所述载物平台用于承载待检测样本；所述光源发出的光经过所述第一棱镜照射到所述待检测样本上；所述识别装置用于对所述待检测样本被激发后的光进行识别分析。

5、进一步地，还包括光斑整形装置，所述光斑整形装置设置于所述光源和所述第一旋转棱镜装置之间，包括依次设置于所述光源的光线路径上的第一透镜、第一狭缝过滤片和第二透镜。

6、进一步地，还包括f-θ透镜，所述f-θ透镜设置于所述光源的光线路径上且位于所述第一棱镜的下游。

7、进一步地，还包括第一分光片和/或聚焦物镜，所述第一分光片和/或所述聚焦物镜设置于所述光源的光线路径上且位于所述第一棱镜和所述载物平台之间。

8、进一步地，所述识别装置包括第二分光片，所述第二分光片将所述待检测样本被激发后的光分为第一光束和第二光束；

9、所述识别装置包括第一识别通道和第二识别通道，其中：所述第一识别通道用于接收并识别所述第一光束；所述第二识别通道用于接收并识别所述第二光束。

10、进一步地，所述第一识别通道包括光谱仪。

11、进一步地，所述第一识别通道还包括第二狭缝过滤片，所述第二狭缝过滤片设置于第一光束的路径上且位于所述第二分光片和所述光谱仪之间。

12、进一步地，所述第二识别通道包括扫描相机。

13、进一步地，所述第二识别通道还包括过滤片，所述过滤片设置于所述第二光束的路径上且位于所述第二分光片和所述扫描相机之间。

14、进一步地，所述第二识别通道还包括旋转器，所述旋转器用于驱动所述过滤片旋转。

15、进一步地，所述载物平台可在平面内沿任意方向移动；

16、或，所述第一棱镜具有两个相互垂直的旋转轴线；

17、或，所述光学检测系统还包括第二旋转棱镜装置，所述第二旋转棱镜装置设置在所述第一旋转棱镜装置的下游，其包括可旋转的第二棱镜；所述第一棱镜具有一个旋转轴线，且所述第一棱镜的旋转轴线和所述第二棱镜的旋转轴线相垂直。

18、本发明的有益效果：

19、本发明提供的光学检测系统，包括光源、第一旋转棱镜装置、载物平台和识别装置；第一旋转棱镜装置包括可旋转的第一棱镜；载物平台用于承载待检测样本；光源发出的光经过第一棱镜照射到待检测样本的表面上；识别装置用于对待检测样本被激发后的光进行识别分析。上述结构中，可旋转的第一棱镜能够对光源发出的光进行角度的变化，使光线可进行单一轴向高速扫描，从而以线扫描的模式对待检测样本进行扫描。相比使用振镜转换光线的扫描方式，采用可旋转的第一棱镜的扫描方式能够维持光源的特性,不会去分化光源强度以及后续激发光的品质；并且，扫描的角度范围更大且扫描速度更高，能够提高系统的检测范围及检测效率。

技术特征：

1.一种光学检测系统，其特征在于，包括光源(1)、第一旋转棱镜装置(3)、载物平台(7)和识别装置(8)；

2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，还包括光斑整形装置(2)，所述光斑整形装置(2)设置于所述光源(1)和所述第一旋转棱镜装置(3)之间，包括依次设置于所述光源(1)的光线路径上的第一透镜(21)、第一狭缝过滤片(22)和第二透镜(23)。

3.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，还包括f-θ透镜(4)，所述f-θ透镜(4)设置于所述光源(1)的光线路径上且位于所述第一棱镜(31)的下游。

4.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，还包括第一分光片(5)和/或聚焦物镜(6)，所述第一分光片(5)和/或所述聚焦物镜(6)设置于所述光源(1)的光线路径上且位于所述第一棱镜(31)和所述载物平台(7)之间。

5.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述识别装置(8)包括第二分光片(81)，所述第二分光片(81)将所述待检测样本被激发后的光分为第一光束和第二光束；

6.根据权利要求5所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一识别通道包括光谱仪(83)。

7.根据权利要求6所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一识别通道还包括第二狭缝过滤片(82)，所述第二狭缝过滤片(82)设置于第一光束的路径上且位于所述第二分光片(81)和所述光谱仪(83)之间。

8.根据权利要求5所述的光学检测系统，其特征在于，所述第二识别通道包括扫描相机(86)和过滤片(85)，所述过滤片(85)设置于所述第二光束的路径上且位于所述第二分光片(81)和所述扫描相机(86)之间。

9.根据权利要求8所述的光学检测系统，其特征在于，所述第二识别通道还包括旋转器(84)，所述旋转器(84)用于驱动所述过滤片(85)旋转。

10.根据权利要求1至9任一项所述的光学检测系统，其特征在于，所述载物平台(7)可在平面内沿任意方向移动；

技术总结
本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种光学检测系统。该系统包括光源、第一旋转棱镜装置、载物平台和识别装置；第一旋转棱镜装置包括可旋转的第一棱镜；载物平台用于承载待检测样本；光源发出的光经过第一棱镜照射到待检测样本上；识别装置用于对待检测样本被激发后的光进行识别分析。上述结构中，可旋转的第一棱镜能够对光源发出的光进行角度的变化，使光线可进行单一轴向高速扫描，从而以线扫描的模式对待检测样本进行扫描。采用可旋转的第一棱镜的扫描方式能够维持光源的特性,不会去分化光源强度以及后续激发光的品质；并且，扫描的角度范围更大且扫描速度更高，能够提高系统的检测范围及检测效率。

技术研发人员：陈守恒
受保护的技术使用者：苏州纬旭智能装备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/6/18