一种逆投影方式超透镜检测装置、检测方法与流程

本发明属于检测装置领域，特别涉及一种逆投影方式超透镜检测装置、检测方法。

背景技术：

1、超透镜的诞生对光学镜头领域意义非凡。极小的体积和对光场的灵活调制能力，有望为传统的光学设计提供新的解决方案。从事超透镜领域研发和量产的企业如雨后春笋般诞生，在众多的企业努力下，超透镜的量产已箭在弦上。适合超透镜的后道测试方案成为厄待解决的问题。

2、当前主流解决方案以hr机台、晶圆级测试为主，与传统镜头测试方案无异。市面上暂时没有这一类行之有效的检测方案，另外采用上述hr机台及晶圆测试系统，测试需要花费的时间较长，而且只能完成部分性能指标的测试。

技术实现思路

1、本申请提供了一种逆投影方式超透镜检测装置、检测方法，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。

2、本申请实施例一方面提供一种逆投影方式超透镜检测装置，所述在一可实施方式中，包括光源、标准靶、固定装置、被测超透镜、位移调节装置和相机；经过所述光源出射的光直接照射在所述标准靶上，所述标准靶上布置有若干大小宽度不一的线对或图案；所述光源和所述标准靶之间设有准直件，所述光源经过所述准直件后以平行光出射；所述标准靶固定于所述固定装置上，所述固定装置实现标准靶的切换和移动；所述被测超透镜固定于所述位移调节装置，所述位移调节装置能够实现六轴调节；所述相机对投影图像进行拍摄得到图像。

3、在一可实施方式中，准直光出射位置设有窄带滤光片，所述窄带滤光片的中心波长和带宽由所述被测超透镜的设计波长和带宽决定

4、在一可实施方式中，还包括和束装置，所述和束装置置于所述标准靶背离所述被测超透镜的一侧。

5、在一可实施方式中，所述光源选用多波长led或者激光器。

6、在一可实施方式中，光源光谱的范围为805nm-1050nm。

7、在一可实施方式中，光源光谱为805nm、905nm、940nm或1050nm。

8、在一可实施方式中，所述固定装置由电机、夹具和控制端构成。

9、在一可实施方式中，所述固定装置通过安装电机装置，利用程序控制实现自动化测试。

10、本申请实施例另一方面提供一种逆投影方式超透镜检测方法，包括如下步骤：

11、s1、首先对系统做初始校准调节，光源部分保证平行光入射到标准靶上，光强调整依据所需光强选择和束光路的光源数量；

12、s2、系统中相机和靶面之间进行预先标定，得到世界坐标系与图像坐标系之间的关系；相机拍摄到投影图后可以直接读取图像对应的实际物理空间尺寸及像素数；

13、s3、根据所测试的超透镜设计波长，选择合适的滤光片；

14、s4、测试超透镜的畸变和fov参数，将标准靶安装在固定装置上调节保证与光轴垂直，标准靶中心与光轴重合；

15、s5、依次完成多个标准靶的安装；

16、s6、将被测超透镜安装在位移调节装置上，调节被测超透镜与测试光路同轴，且垂直光轴；

17、s7、启动相机，整体调节相机与接收屏的位置直到观察到清晰的投影图像；

18、s8、相机对投影图像进行拍摄得到图像；

19、s9、完成超透镜的光学性能测试。

20、在一可实施方式中，所述位移调节装置上设有测距仪。

21、与现有技术相比，本申请具有如下优点：

22、1、本申请采用逆投影方式实现了超透镜的测试方案，能够在实现超透镜的灵活检测同时兼顾低廉和快速测试；

23、2、本申请可以完成超透镜的光学性能测试，包括但不限于fov，焦距，mtf，相对照度，畸变，衍射效率，透过率等；

24、3、本申请设备模块化分布，拆装简易，体积较小；

25、4、本申请的检测装置测试效率高，操作简易，人力资源投入少，成本低。

技术特征：

1.一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于，包括光源(11)、标准靶(15)、固定装置(16)、被测超透镜(17)、位移调节装置(18)和相机(19)；

2.根据权利要求1所述的一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于：准直光出射位置设有窄带滤光片(13)，所述窄带滤光片(13)的中心波长和带宽由所述被测超透镜(17)的设计波长和带宽决定。

3.根据权利要求1所述的一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于：还包括和束装置(14)，所述和束装置(14)置于所述标准靶(15)背离所述被测超透镜(17)的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于：所述光源(11)选用多波长led或者激光器。

5.根据权利要求4所述的一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于：光源光谱的范围为805nm-1050nm。

6.根据权利要求5所述的一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于：光源光谱为805nm、905nm、940nm或1050nm。

7.根据权利要求1所述的一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于：所述固定装置(16)由电机、夹具和控制端构成。

8.根据权利要求1所述的一种逆投影方式超透镜检测装置，其特征在于：所述固定装置(16)通过安装电机装置，利用程序控制实现自动化测试。

9.一种逆投影方式超透镜检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

10.根据权利要求9所述的一种逆投影方式超透镜检测方法，其特征在于：所述位移调节装置上设有测距仪。

技术总结
本申请涉及一种逆投影方式超透镜检测装置、检测方法，属于检测装置技术领域，检测装置包括光源、标准靶、固定装置、被测超透镜、位移调节装置和相机；经过所述光源出射的光直接照射在所述标准靶上，所述标准靶上布置有若干大小宽度不一的线对或图案；所述光源和所述标准靶之间设有准直件，所述光源经过所述准直件后以平行光出射；所述标准靶固定于所述固定装置上，所述固定装置实现标准靶的切换和移动；所述被测超透镜固定于所述位移调节装置，所述位移调节装置能够实现六轴调节；所述相机对投影图像进行拍摄得到图像。本申请采用逆投影方式实现了超透镜的测试方案，能够在实现超透镜的灵活检测同时兼顾低廉和快速测试。

技术研发人员：龚永兴,姚建云,邢圆圆
受保护的技术使用者：杭州纳境科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/7/4