一种压力传感器的制作方法

本发明涉及传感器，尤其涉及一种压力传感器。

背景技术：

1、mems压力传感器是目前mems器件的重要应用领域，大致可以分为电容式、压电式、金属应变式、光纤式等种类，mems压力传感器的性能随着材料和制造工艺的进步提高了几个数量级，并通过使用类似于集成电路的设计技术和制造工艺，实现了高精度、低成本的批量生产，并在未来具有广泛的产业应用和良好的发展前景。

2、公开号为cn215178315u的专利公开了一种背压式的压力传感器，虽然在压力芯片的背压一侧设保护凝胶对其进行保护，然而，由于压力芯片本身很小，待测介质中的一些诸如异物、结晶等颗粒物有在介质通道中聚集后而导致介质通道堵塞的风险。

技术实现思路

1、基于上述现有技术中存在的问题，本发明旨在解决现有技术中压力传感器的压力芯片本身很小，待测介质中的一些诸如异物、结晶等颗粒物有在介质通道中聚集后而导致介质通道堵塞的风险的技术问题。

2、本发明提供一种压力传感器，用于测量外部管道中流动压力介质的压力，其包括：

3、带有内腔的壳体，其端部形成有用以向其内腔引入流动压力介质的压力引入通道；

4、压力敏感元件，固定设置在所述壳体的内腔，并密封地封堵于与所述压力引入通道侧向连通的压力过孔，用于响应于流动压力介质的压力而生成相应的电信号；

5、导流件，导流件伸入所述压力引入通道中以将所述压力引入通道横向地分隔为第一部分和第二部分，第一部分和第二部分在靠近所述压力敏感元件的一侧横向连通；第一部分具有迎向压力介质的流速方向一侧的一流体入口，第二部分具有在流体的流速方向上被遮挡的一流体出口。

6、根据本发明一实施例，流动压力介质在压力引入通道内的压力过孔外端处具有与压力过孔大体垂直的流速。

7、根据本发明一实施例，所述压力引入通道为倒“u”形，包括近端沿纵向朝压力敏感元件一侧延伸的第一部分及由第一部分的远端调转180度后背向压力敏感元件一侧延伸的第二部分。

8、根据本发明一实施例，所述壳体包括一纵向延伸并围成所述压力引入通道的压力接头，所述导流件两侧并于所述管状压力接头的侧壁上分别开设有流体入口和流体出口。

9、根据本发明一实施例，所述导流件包括固定连接的隔断板和固定座，所述隔断板伸入所述压力接头内部，并将所述压力接头横向地分隔为第一部分和第二部分；所述固定座固定连接在所述压力接头的远端。

10、根据本发明一实施例，所述导流件为倒t形导流件或l形导流件。

11、根据本发明一实施例，所述压力引入通道的内壁在隔断板和所述固定座的衔接处形成平滑的过渡。

12、根据本发明一实施例，所述压力引入通道靠近所述壳体内腔一端的内径大于另一端的内径。

13、根据本发明一实施例，所述压力传感器还包括电子模块组件，所述电子模块组件固定设置于所述壳体的内腔，并电连接至所述压力敏感元件。

14、根据本发明一实施例，所述压力传感器还包括端子，所述端子的一端电连接至所述电子模块组件，另一端穿过所述壳体，以连接至外部设备。

15、本发明的有益效果是：

16、本发明提供的一种压力传感器中，所述导流件伸入所述压力引入通道中以将所述压力引入通道横向地分隔为第一部分和第二部分，并且所述第一部分和第二部分在靠近所述压力敏感元件的一侧横向连通，流动压力介质可以经所述流体入口进入所述压力引入通道，并在所述第一部分和第二部分循环后，经所述流体出口流出，流动压力介质在循环过程中，能够对所述压力引入通道的内部进行冲刷，避免流动压力介质中的杂质在所述压力引入通道中积聚而堵塞所述压力引入通道。

17、附图说明

18、为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

19、图1是本发明实施例提供的一种压力传感器的结构示意图；

20、图2是本发明实施例提供的一种压力传感器的另一种结构示意图；

技术特征：

1.一种压力传感器，用于测量外部管道(1000)中流动压力介质的压力，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种压力传感器，其特征在于，流动压力介质在压力引入通道(10)内的压力过孔外端处具有与压力过孔大体垂直的流速。

3.根据权利要求2所述的一种压力传感器，其特征在于，所述压力引入通道(10)为倒“u”形，包括近端沿纵向朝压力敏感元件(2)一侧延伸的第一部分(101)及由第一部分(101)的远端调转180度后背向压力敏感元件(2)一侧延伸的第二部分(102)。

4.根据权利要求1所述的一种压力传感器，其特征在于，所述壳体包括一纵向延伸并围成所述压力引入通道(10)的压力接头(100)，所述导流件(3)两侧并于所述管状压力接头(100)的侧壁上分别开设有流体入口(301)和流体出口(302)。

5.根据权利要求4所述的一种压力传感器，其特征在于，所述导流件(3)包括固定连接的隔断板(31)和固定座(32)，所述隔断板(31)伸入所述压力接头(100)内部，并将所述压力接头(100)横向地分隔为第一部分(101)和第二部分(102)；所述固定座(32)固定连接在所述压力接头(100)的远端。

6.根据权利要求5所述的一种压力传感器，其特征在于，所述导流件(3)为倒t形导流件或l形导流件。

7.根据权利要求5所述的一种压力传感器，其特征在于，所述所述压力引入通道(10)的内壁在隔断板(31)和所述固定座(32)的衔接处形成平滑的过渡。

8.根据权利要求1所述的一种压力传感器，其特征在于，所述压力引入通道(10)靠近所述壳体(1)内腔一端的内径大于另一端的内径。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的一种压力传感器，其特征在于，还包括电子模块组件(4)，所述电子模块组件(4)固定设置于所述壳体(1)的内腔，并电连接至所述压力敏感元件(2)。

10.根据权利要求9所述的一种压力传感器，其特征在于，还包括端子(5)，所述端子(5)的一端电连接至所述电子模块组件(4)，另一端穿过所述壳体(1)，以连接至外部设备。

技术总结
本发明提供一种压力传感器，其包括带有内腔的壳体、压力敏感元件和导流件，所述壳体的端部形成有用以向其内腔引入流动压力介质的压力引入通道；所述压力敏感元件固定设置在所述壳体的内腔，并密封地封堵于与所述压力引入通道侧向连通的压力过孔，所述导流件伸入所述压力引入通道中以将所述压力引入通道横向地分隔为第一部分和第二部分，第一部分和第二部分在靠近所述压力敏感元件的一侧横向连通。流动压力介质可以经流体入口进入压力引入通道，并在所述第一部分和第二部分循环后，经流体出口流出，流动压力介质在循环过程中，能够对所述压力引入通道的内部进行冲刷，避免流动压力介质中的杂质在所述压力引入通道中积聚而堵塞所述压力引入通道。

技术研发人员：王小平,曹万,杨军,梁世豪,洪鹏
受保护的技术使用者：武汉飞恩微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/2