一种半导体支撑基座稳定性检测装置的制作方法

本发明涉及半导体支撑基座检测，具体涉及一种半导体支撑基座稳定性检测装置。

背景技术：

1、半导体是一种导电性能介于导体和绝缘体之间的物质，其电阻率随温度、光照、电压等外部因素变化，半导体材料在现代电子技术中扮演着核心角色，它们是制造集成电路、晶体管、太阳能电池等电子元件的基础。

2、现有技术中，半导体常使用支撑基座进行安装固定，支撑基座常使用检测装置进行稳定性检测，将支撑基座放置在实验台上进行夹持，检测装置上的导杆对支撑基座进行锤击，通过对支撑基座进行评估，从而实现稳定性检测的效果。

3、但是，当导杆对支撑基座进行锤击时，支撑基座受到冲击会产生碎屑在实验台上，往往需要工作人员使用工具进行及时清理，且检测装置无法对支撑基座的表面缺陷进行检测，从而影响检测装置的使用效果。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体支撑基座稳定性检测装置，以解决现有技术中当锤子对支撑基座进行锤击时，支撑基座受到冲击会产生碎屑在实验台上，往往需要工作人员使用工具进行及时清理，且检测装置无法对支撑基座的表面缺陷进行检测，从而影响检测装置的使用效果的技术问题。

2、本发明所要解决的技术问题可以通过以下技术方案实现：

3、一种半导体支撑基座稳定性检测装置，包括：

4、工作台，所述工作台顶端配合连接有承载机，工作台两端分别固定连接有检测处理器，所述检测处理器侧端固定连接有检测传感器，所述检测传感器与承载机配合，所述承载机配合连接有机器臂；

5、高度调节器，所述高度调节器固定连接在工作台顶端，高度调节器侧端配合连接有锤击设备，所述锤击设备底端配合连接有移动座；

6、导杆，所述导杆与移动座固定连接，导杆两侧分别设有探头传感器和喷水器，所述探头传感器和喷水器分别与移动座底端固定连接。

7、作为本发明进一步的方案：所述承载机内壁旋转连接有转盘，承载机底部两侧分别固定连接有滑座，承载机侧端设有机器臂，所述工作台顶部两侧分别开设有滑槽，所述滑座卡设连接在滑槽内且与滑槽内壁滑动连接。

8、作为本发明进一步的方案：所述滑座配合连接有驱动机，所述驱动机与工作台远离高度调节器的一端固定连接。

9、作为本发明进一步的方案：所述机器臂底端与工作台旋转连接，机器臂侧端配合连接有连接座，所述连接座靠近承载机的一端固定连接有连接板，所述连接板底端固定连接有吸盘，所述吸盘与承载机配合。

10、作为本发明进一步的方案：所述工作台底端四周分别固定连接有支撑柱，工作台围绕锤击设备轴心线开设有贯穿工作台的导流孔。

11、作为本发明进一步的方案：所述导流孔顶部内边缘开设有扩口圆角。

12、作为本发明进一步的方案：所述锤击设备底部设有锤击台，锤击设备底端固定连接有阻挡壳，所述锤击台与工作台固定连接，锤击台位于阻挡壳内部，所述工作台顶部围绕锤击台轴心线开设有阻挡槽，所述阻挡壳与阻挡槽内壁抵持连接。

13、作为本发明进一步的方案：所述锤击台四周分别固定连接有夹持组件，锤击台顶部边缘开设有导流圆角，所述夹持组件包括：夹持器、夹持板和夹持杆，所述夹持器与锤击台固定连接，所述夹持杆两端分别与夹持器和夹持板固定连接。

14、本发明的有益效果：

15、1、工作人员将支撑基座放置在承载机上，承载机承载着支撑基座在工作台上进行移动，当承载机移动到两组检测处理器之间时，检测处理器上的检测传感器对支撑基座的表面进行缺陷检测，检测传感器将检测的信息传递到检测处理器上进行分析，然后检测处理器将支撑基座检测的结果展示出来，从而便于工作人员针对支撑基座的稳定性检测数据进行记录。

16、2、机器臂可以将支撑基座放置在锤击设备底部进行锤击检测，当支撑基座位于锤击设备底部时，锤击设备沿着高度调节器竖直向下进行移动，当锤击设备移动到支撑基座顶部适合进行锤击的位置时，锤击设备停止进行移动，移动座可以在锤击设备底端进行移动，移动座带着导杆进行移动，其中，探头传感器可以对支撑基座需要进行检测的位置进行定位，然后移动座驱动导杆竖直向下进行移动，导杆对支撑基座进行锤击，当支撑基座受损发生碎屑脱落时，探头传感器将检测的信号传递到移动座上，移动座停止运行导杆对支撑基座进行锤击，然后移动座将信号传递到锤击设备上进行数据分析，从而实现对支撑基座的稳定性检测的效果，当支撑基座锤击实验结束时，工作人员将支撑基座取出，喷水器运行，喷水器将干净的水流进行喷射，水流将工作台表面的碎屑进行清理，从而实现了对工作台表面的碎屑进行清理的效果。

技术特征：

1.一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，所述承载机(11)内壁旋转连接有转盘(10)，承载机(11)底部两侧分别固定连接有滑座(16)，承载机(11)侧端设有机器臂(7)，所述工作台(1)顶部两侧分别开设有滑槽(2)，所述滑座(16)卡设连接在滑槽(2)内且与滑槽(2)内壁滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，所述滑座(16)配合连接有驱动机(12)，所述驱动机(12)与工作台(1)远离高度调节器(6)的一端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，所述机器臂(7)底端与工作台(1)旋转连接，机器臂(7)侧端配合连接有连接座(13)，所述连接座(13)靠近承载机(11)的一端固定连接有连接板(14)，所述连接板(14)底端固定连接有吸盘(15)，所述吸盘(15)与承载机(11)配合。

5.根据权利要求1所述的一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，所述工作台(1)底端四周分别固定连接有支撑柱(5)，工作台(1)围绕锤击设备(4)轴心线开设有贯穿工作台(1)的导流孔(25)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，所述导流孔(25)顶部内边缘开设有扩口圆角(24)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，所述锤击设备(4)底部设有锤击台(20)，锤击设备(4)底端固定连接有阻挡壳(3)，所述锤击台(20)与工作台(1)固定连接，锤击台(20)位于阻挡壳(3)内部，所述工作台(1)顶部围绕锤击台(20)轴心线开设有阻挡槽(18)，所述阻挡壳(3)与阻挡槽(18)内壁抵持连接。

8.根据权利要求7所述的一种半导体支撑基座稳定性检测装置，其特征在于，所述锤击台(20)四周分别固定连接有夹持组件，锤击台(20)顶部边缘开设有导流圆角(23)，所述夹持组件包括：夹持器(19)、夹持板(21)和夹持杆(22)，所述夹持器(19)与锤击台(20)固定连接，所述夹持杆(22)两端分别与夹持器(19)和夹持板(21)固定连接。

技术总结
本发明公开了一种半导体支撑基座稳定性检测装置，涉及半导体支撑基座检测技术领域，包括：工作台顶端配合连接有承载机，工作台两端分别固定连接有检测处理器，所述检测处理器侧端固定连接有检测传感器，所述检测传感器与承载机配合，所述承载机配合连接有机器臂，高度调节器固定连接在工作台顶端，高度调节器侧端配合连接有锤击设备，所述锤击设备底端配合连接有移动座，导杆与移动座固定连接，导杆两侧分别设有探头传感器和喷水器，所述探头传感器和喷水器分别与移动座底端固定连接；检测处理器上的检测传感器对支撑基座的表面进行缺陷检测，喷水器将干净的水流进行喷射，水流将工作台表面的碎屑进行清理。

技术研发人员：赵江民,袁和
受保护的技术使用者：合肥玖福半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/2