一种应用于探针台的多通道测试装置的制作方法

本发明涉及集成电路测试，尤其涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。

背景技术：

1、随着科学技术的进步，在半导体集成电路的性能方面，相关的一些行业就提出了很高的要求。这在很大程度上促进了半导体集成电路的发展，整体而言，目前的半导体集成电路的发展的主要目标就是达到高度的准确性，但是随着生产的要求逐渐提高，制造的技术和过程比之前也复杂了很多。所以为了有效监测集成电路是否达到预定的可靠性和稳定性要求并降低生产成本，有必要采用一些方法对于集成电路的可靠性进行一定程度的检测。可靠性在实际的应用过程中产生着非常重要的作用。很多时候，可靠性被用来评估产品能否在规定条件下和规定的时间内完成特定的功能。

2、现有的测试装置在进行测试时，首先需要对芯片放置在操作台上，然后进行测试，在测试过程中，常会因为芯片出现偏移从而导致检测数据不精确，且芯片在处理过程中容易吸附灰尘，不及时清理的情况下也容易导致数据不精确，且现有的检测装置大多都是裸漏在外的，在裸漏的环境下对芯片进行检测，容易出现外界数据干扰，从而导致数据不精确。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种应用于探针台的多通道测试装置，解决了背景技术中提出的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种应用于探针台的多通道测试装置，包括工作台、检测箱、放置装置、测试装置，所述放置装置包括主板，所述主板的顶部外壁固定设置有第一挡板、隔板、第二挡板、若干个底板，若干个所述底板的顶部外壁均固定设置有放置板，每一个所述放置板的顶部外壁均开设有放置槽，每一个所述放置板的顶部外壁均固定设置有两个固定块，每一个所述固定块的一侧外壁均开设有块槽，每一个所述固定块的另一侧外壁均开设有调节槽，所述调节槽与块槽连通，每一个所述块槽的内壁均固定设置有连接杆，每一个所述连接杆的外壁均滑动设置有两个滑动块，每一个所述连接杆的其中一侧外壁均固定设置有调节块，每一个所述连接杆的另一侧外壁均固定设置有夹板，每一个所述调节块分别在对应调节槽的内部滑动，且延伸至固定块的外侧，两个对应的所述滑动块之间均固定设置有压缩簧，所述连接杆位于压缩簧的内部。

3、优选的，所述工作台的内壁固定设置有固定支架，所述固定支架的一侧外壁固定设置有第一连接板，所述第一连接板的顶部外壁转动设置有控制链，所述第二挡板远离隔板的一侧外壁固定设置有第二连接板，所述控制链的另一端与第二连接板转动连接，所述工作台的一侧外壁固定设置有控制按钮，所述控制按钮与控制链电性连接。

4、优选的，所述测试装置包括第一滑轨、第二滑轨、气缸，所述第一滑轨的外壁固定设置有第一电机，所述第一滑轨的外壁滑动设置有第一滑块，所述第一滑块与第二滑轨固定连接，所述第二滑轨的外壁固定设置有第二电机，所述第二滑轨的外壁滑动设置有第二滑块，所述第二滑块的外壁固定设置有气缸，所述气缸的输出端固定设置有连接支架，所述连接支架的外壁固定设置有若干个探针测试头。

5、优选的，所述检测箱的两侧外壁均开设有框槽，每一个所述框槽的内壁均固定设置有挡板，两个所述挡板相对的一侧外壁均固定设置有吹风机，所述检测箱的一侧外壁设置有观察窗。

6、优选的，所述第一滑轨的两端外壁分别与检测箱的内壁两侧固定连接。

7、优选的，所述第一挡板和第二挡板相背的一侧外壁均固定设置有控制把手。

8、优选的，所述主板的底部外壁固定设置有若干个连接块，每一个所述连接块的外壁均开设有滑槽，所述工作台的顶部外壁固定设置有两条滑动轨道，若干个所述连接块分别与两条滑动轨道对应，所述连接块通过滑槽在滑动轨道上滑动。

9、优选的，所述工作台的一侧外壁固定设置有第一控制器、第二控制器和警报器，所述第一控制器位于工作台左后侧，所述第二控制器位于工作台的右后侧。

10、优选的，所述第二挡板位于主板左侧外壁，所述第一挡板位于主板右侧外壁，所述隔板位于主板中部，所述隔板将主板分隔成两个工作区域，若干个所述底板均匀分布在两个工作区域内。

11、优选的，所述检测箱位于放置装置上方，两条所述滑动轨道位于框槽内部。

12、与相关技术相比较，本发明提供的一种应用于探针台的多通道测试装置具有如下有益效果：

13、1、本发明提供一种应用于探针台的多通道测试装置，通过在主板上设置有第一挡板、第二挡板和隔板，设置的隔板将主板分隔成两个工作区域，需要对芯片进行测试时，首先对其中一个区域的夹持装置进行调节，向两边拨动两对调节块，随着调节块向两侧移动，每对调节块之间的压缩簧均成绷紧状态，两对夹板之间的距离增大，将芯片放置在放置槽内部，松开两对调节块，两对夹板在压缩簧的弹性作用下复位对测试芯片进行夹持固定，保证芯片在检测过程中的稳定，有效避免了芯片固定效果较差，从而导致芯片检测数据不精准的问题，芯片放置完成后，再次启动控制按钮操控控制链运行，将安装好芯片部分的工作区域移动到检测箱内部，此时未安装芯片的工作区域则裸漏在外，同样方法操作，在检测等待过程中可对未安装芯片区域安装芯片，芯片安装完成后等待检测箱内部检测中的芯片检测结束即可。

14、2、本发明提供一种应用于探针台的多通道测试装置，通过在检测箱的一侧外壁设置有观察窗，方便工作人员详细观察芯片的检测状况，同时在两个挡板相对的一侧外壁均固定设置有吹风机，当待检测区域进入检测箱的框槽处时，挡板处的吹风机会对芯片表面吹风，防止芯片放置时间较久，容易吸附灰尘，从而对检测数据造成影响的问题，同时设置的框槽的高度低于第一挡板、第二挡板、隔板的高度，设置的隔板出于检测箱内部活动，通过启动第一电机驱动第一滑块在第一滑轨外壁滑动，用于控制探针测试头纵向运动，通过启动第二电机驱动第二滑块在第二滑轨外壁滑动，用于控制探针测试头横向运动，通过启动气缸驱动探针测试头上下运动，通过设置的可三向调节式测试装置，保证芯片测试的精准性，同时在工作台的左后方和右后方分别设置了第一控制器和第二控制器，当主板的第一区域开始检测时，第一控制器会实时显示该区域检测数据，方便观测，当主板的第二区域开始检测时，第二控制器会实时显示该区域检测数据。

技术特征：

1.一种应用于探针台的多通道测试装置，包括工作台（1）、检测箱（2）、放置装置（3）、测试装置（4），其特征在于：所述放置装置（3）包括主板（301），所述主板（301）的顶部外壁固定设置有第一挡板（302）、隔板（303）、第二挡板（304）、若干个底板（5），若干个所述底板（5）的顶部外壁均固定设置有放置板（501），每一个所述放置板（501）的顶部外壁均开设有放置槽（502），每一个所述放置板（501）的顶部外壁均固定设置有两个固定块（6），每一个所述固定块（6）的一侧外壁均开设有块槽（607），每一个所述固定块（6）的另一侧外壁均开设有调节槽（601），所述调节槽（601）与块槽（607）连通，每一个所述块槽（607）的内壁均固定设置有连接杆（602），每一个所述连接杆（602）的外壁均滑动设置有两个滑动块（603），每一个所述连接杆（602）的其中一侧外壁均固定设置有调节块（604），每一个所述连接杆（602）的另一侧外壁均固定设置有夹板（606），每一个所述调节块（604）分别在对应调节槽（601）的内部滑动，且延伸至固定块（6）的外侧，两个对应的所述滑动块（603）之间均固定设置有压缩簧（605），所述连接杆（602）位于压缩簧（605）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述工作台（1）的内壁固定设置有固定支架（102），所述固定支架（102）的一侧外壁固定设置有第一连接板（308），所述第一连接板（308）的顶部外壁转动设置有控制链（309），所述第二挡板（304）远离隔板（303）的一侧外壁固定设置有第二连接板（310），所述控制链（309）的另一端与第二连接板（310）转动连接，所述工作台（1）的一侧外壁固定设置有控制按钮（103），所述控制按钮（103）与控制链（309）电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述测试装置（4）包括第一滑轨（401）、第二滑轨（404）、气缸（407），所述第一滑轨（401）的外壁固定设置有第一电机（402），所述第一滑轨（401）的外壁滑动设置有第一滑块（403），所述第一滑块（403）与第二滑轨（404）固定连接，所述第二滑轨（404）的外壁固定设置有第二电机（405），所述第二滑轨（404）的外壁滑动设置有第二滑块（406），所述第二滑块（406）的外壁固定设置有气缸（407），所述气缸（407）的输出端固定设置有连接支架（408），所述连接支架（408）的外壁固定设置有若干个探针测试头（409）。

4.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述检测箱（2）的两侧外壁均开设有框槽（201），每一个所述框槽（201）的内壁均固定设置有挡板（202），两个所述挡板（202）相对的一侧外壁均固定设置有吹风机（203），所述检测箱（2）的一侧外壁设置有观察窗（204）。

5.根据权利要求3所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述第一滑轨（401）的两端外壁分别与检测箱（2）的内壁两侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述第一挡板（302）和第二挡板（304）相背的一侧外壁均固定设置有控制把手（307）。

7.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述主板（301）的底部外壁固定设置有若干个连接块（305），每一个所述连接块（305）的外壁均开设有滑槽（306），所述工作台（1）的顶部外壁固定设置有两条滑动轨道（101），若干个所述连接块（305）分别与两条滑动轨道（101）对应，所述连接块（305）通过滑槽（306）在滑动轨道（101）上滑动。

8.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述工作台（1）的一侧外壁固定设置有第一控制器（7）、第二控制器（8）和警报器（9），所述第一控制器（7）位于工作台（1）左后侧，所述第二控制器（8）位于工作台（1）的右后侧。

9.根据权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述第二挡板（304）位于主板（301）左侧外壁，所述第一挡板（302）位于主板（301）右侧外壁，所述隔板（303）位于主板（301）中部，所述隔板（303）将主板（301）分隔成两个工作区域，若干个所述底板（5）均匀分布在两个工作区域内。

10.根据权利要求7所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述检测箱（2）位于放置装置（3）上方，两条所述滑动轨道（101）位于框槽（201）内部。

技术总结
本发明公开了一种应用于探针台的多通道测试装置，涉及集成电路测试技术领域。包括工作台、检测箱、放置装置、测试装置，所述放置装置包括主板，所述主板的顶部外壁固定设置有第一挡板、隔板、第二挡板、若干个底板，若干个所述底板的顶部外壁均固定设置有放置板。通过设置的隔板将主板分隔成两个工作区域，对芯片进行测试时，首先对其中一个区域的夹持装置进行调节，向两边拨动两对调节块，每对调节块之间的压缩簧均成绷紧状态，两对夹板之间的距离增大，将芯片放置在放置槽内部，松开两对调节块，两对夹板在压缩簧的弹性作用下复位对芯片进行夹持固定，保证芯片的稳定性，有效避免了芯片固定效果较差，从而导致芯片检测数据不精准的问题。

技术研发人员：杨凯翔,陈朝杰,张文清
受保护的技术使用者：广东万维半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/10/10