一种同时测量反射式体光栅双面性能的装置及方法与流程

本发明涉及体光栅性能检测，尤其涉及一种同时测量反射式体光栅双面性能的装置及方法。

背景技术：

1、目前测量反射式体光栅性能参数的手段多为将激光从反射式体光栅的一面入射，在激光出射端使用功率计接收透过的光功率，通过旋转反射式体光栅改变光的入射角度或更改激光器的波长得到反射式体光栅在不同角度/波长下的透射功率谱线，进而计算反射式体光栅的衍射效率等各项性能参数。

2、在实际制造过程中，由于工艺的原因反射式体光栅往往存在不均匀性，这导致测试光从不同方向和位置入射的情况下，测得的反射式体光栅性能参数存在差异。如果考虑到反射式体光栅均匀性问题，反射式体光栅两面测得的性能可能有所不同，需手动将反射式体光栅翻面并重新检测，此过程中会导致两次测试位存在偏离，测得结果不稳定且可靠性不佳，且由于增加了更多的摆放步骤，也增加了反射式体光栅检测中的损耗率。

3、因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

1、鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种同时测量反射式体光栅双面性能的装置及方法，旨在解决现有检测反射式体光栅两面的性能需手动将反射式体光栅翻面并重新检测，导致两次测试位存在偏离，测得结果不稳定且可靠性不佳，且由于增加了更多的摆放步骤，也增加了反射式体光栅检测中的损耗率的问题。

2、本发明的技术方案如下：

3、本发明的第一方面，提供一种同时测量反射式体光栅双面性能的装置，其中，所述装置包括在同一水平线上依次放置的可调谐激光器、λ/2波片、偏振分束装置、λ/4波片、测试台、衰减片和全反射镜，所述测试台具有夹持反射式体光栅并旋转角度的功能，所述测试台上放置有待测反射式体光栅，所述装置还包括功率计1和与所述功率计1连接的计算机；

4、所述可调谐激光器出射光依次通过λ/2波片和偏振分束装置后变为水平偏振光，水平偏振光通过λ/4波片后变为圆偏振态并入射至待测反射式体光栅，透过待测反射式体光栅的光被全反射镜返回，全反射镜的角度调整至光路正回返状态，并再次经过λ/4波片，此时光变为垂直偏振光，被偏振分束装置反射后，进入功率计1，计算机根据功率计1读数计算出待测反射式体光栅的性能。

5、可选地，所述装置还包括与所述计算机连接的功率计2。

6、本发明的第二方面，提供一种同时测量反射式体光栅双面性能的方法，其中，采用本发明所述的同时测量反射式体光栅双面性能的装置进行测量，所述测量的方法包括步骤：

7、将可调谐激光器设置为预定测量的波长范围，对待测反射式体光栅进行测试，得到待测反射式体光栅的波长-功率谱线，根据所述波长-功率谱线计算得到待测反射式体光栅的性能。

8、可选地，所述衰减片的衰减系数范围为40％-60％。

9、可选地，所述可调谐激光器的波长扫描范围设置为1nm，步长设置为0.01nm。

10、可选地，所述对待测反射式体光栅进行测试的步骤之前，还包括步骤：调节测试台角度，使待测反射式体光栅表面反射光自准直与入射光重合。

11、可选地，所述待测反射式体光栅的性能包括待测反射式体光栅的效率或波长。

12、有益效果：本发明采用上述装置，可同时检测反射式体光栅同一点上前后表面的性能参数，使得测试结果更准确更稳定，且简化测试光路的调试过程。此外，由于减少了摆放次数，产品脏污率也有明显改善。

技术特征：

1.一种同时测量反射式体光栅双面性能的装置，其特征在于，所述装置包括在同一水平线上依次放置的可调谐激光器、λ/2波片、偏振分束装置、λ/4波片、测试台、衰减片和全反射镜，所述测试台具有夹持反射式体光栅并旋转角度的功能，所述测试台上放置有待测反射式体光栅，所述装置还包括功率计1和与所述功率计1连接的计算机；

2.根据权利要求1所述的同时测量反射式体光栅双面性能的装置，其特征在于，所述装置还包括与所述计算机连接的功率计2。

3.一种同时测量反射式体光栅双面性能的方法，其特征在于，采用权利要求1-2任一项所述的同时测量反射式体光栅双面性能的装置进行测量，所述测量的方法包括步骤：

4.根据权利要求3所述的同时测量反射式体光栅双面性能的方法，其特征在于，所述衰减片的衰减系数范围为40％-60％。

5.根据权利要求3所述的同时测量反射式体光栅双面性能的方法，其特征在于，所述可调谐激光器的波长扫描范围设置为1nm，步长设置为0.01nm。

6.根据权利要求3所述的同时测量反射式体光栅双面性能的方法，其特征在于，所述对待测反射式体光栅进行测试的步骤之前，还包括步骤：调节测试台角度，使待测反射式体光栅表面反射光自准直与入射光重合。

7.根据权利要求3所述的同时测量反射式体光栅双面性能的方法，其特征在于，所述待测反射式体光栅的性能包括待测反射式体光栅的效率或波长。

技术总结
本发明涉及体光栅性能检测技术领域，尤其涉及一种同时测量反射式体光栅双面性能的装置及方法。本发明可调谐激光器出射光依次通过λ/2波片和偏振分束装置后变为水平偏振光，水平偏振光通过λ/4波片后变为圆偏振态并入射至待测反射式体光栅，透过待测反射式体光栅的光经衰减片衰减后被全反射镜返回，全反射镜的角度调整至光路正回返状态，并再次经过λ/4波片，此时光变为垂直偏振光，被偏振分束装置反射后，进入功率计1，计算机根据功率计1读数计算出待测反射式体光栅的性能。本发明可同时检测反射式体光栅同一点上前后表面的性能参数，使得测试结果更准确，且简化测试光路的调试过程。此外，由于减少了摆放次数，产品脏污率也有明显改善。

技术研发人员：沈文浩,关珮雯,邱诚浩,晋帅,方燕,李伟
受保护的技术使用者：杭州拓致光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/3