MEMS传感器的检测工装及MEMS传感器的检测设备的制作方法

本发明属于力的测试领域，更具体地说，是涉及一种mems传感器的检测工装，本发明还涉及一种mems传感器的检测设备。

背景技术：

1、mems是英文micro electro mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(mems)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的 21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。

2、微机械陀螺仪均采用振动物体传感角速度的概念。利用振动来诱导和探测科里奥利力而设计的微机械陀螺仪没有旋转部件、不需要轴承，微机械陀螺仪用于测量汽车的旋转速度（转弯或者打滚），它与低加速度计一起构成主动控制系统。所谓主动控制系统就是一旦发现汽车的状态异常，系统在车祸尚未发生时及时纠正这个异常状态或者正确应对个异常状态以阻止车祸的发生。比如在转弯时，系统通过陀螺仪测量角速度就知道方向盘打得过多还是不够，主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的刹车以防止汽车脱离车道。

3、微机械陀螺仪在使用过程中，由于良品率等问题，容易在较为恶劣的工况环境下出现使用问题，然而，现有的检测工装只能对微机械陀螺仪mems传感器的转动工况或者线性振动工况进行模拟，对有缺陷的mems传感器的检出效率不佳，无法满足mems传感器在严苛工况下的使用需求。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种mems传感器的检测工装，以解决现有的检测设备对mems传感器的使用工况的模拟效果不佳的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：提供一种mems传感器的检测工装，包括：

3、旋转组件，包括能绕自身轴线转动的旋转轴，mems传感器设于所述旋转轴，并位于所述旋转轴直径方向上的一侧；

4、振动组件，包括第二振动台和设于第二振动台的固定框，所述固定框能随所述旋转轴的转动而沿所述旋转轴的轴线往复振动，所述旋转轴的端部可转动安装于所述固定框，且所述固定框能带动所述旋转轴沿自身轴线往复振动。

5、在一种可能的实现方式中，所述旋转组件还包括安装板，所述安装板设于所述旋转轴，所述安装板用于安装待检测的mems传感器。

6、在一种可能的实现方式中，所述振动组件还包括定位环，所述定位环与所述旋转轴同轴，且所述定位环顶部与所述固定框固定连接，底部套设于所述旋转轴的外周，且所述旋转轴与所述定位环转动适配。

7、在一种可能的实现方式中，所述振动组件还包括设于第二振动台顶部的第一振动台，所述固定框沿上下方向可移动地设于所述第一振动台顶部，所述旋转轴可转动地设于所述第一振动台。

8、在一种可能的实现方式中，所述旋转组件还包括驱动电机，所述驱动电机沿上下方向滑动设置于第二振动台，所述驱动电机用于驱动所述旋转轴转动，并能带动所述第一振动台沿旋转轴的轴向振动。

9、在一种可能的实现方式中，所述第一振动台开设有安装槽，所述驱动电机设于所述安装槽中。

10、在一种可能的实现方式中，所述定位环包括定环和动环，所述定环和所述动环均与所述旋转轴同轴，且所述定环套设于所述动环外周，所述定环连接于所述固定框，所述动环与所述旋转轴的顶部固定连接。

11、在一种可能的实现方式中，所述固定框底部设有连接板，所述连接板沿旋转轴的轴向可锁止地与所述第一振动台滑动适配。

12、在一种可能的实现方式中，所述固定框顶部设有限位支架，所述限位支架包括连接条和两个插接条，两所述插接条通过所述连接条固定连接，所以固定框顶部开设有两个插接孔，两所述插接条能上下方向分别穿过两所述插接孔，两所述插接条的底部分别对称分布于所述定环轴线的两侧，并与所述定环固定连接。

13、相较于现有技术，本发明提供的mems传感器的检测工装的有益效果在于：旋转组件中的旋转轴在转动过程中，能够对mems传感器在转动过程中的工况环境进行模拟，与此同时，振动组件能够带动旋转轴的轴线往复振动，进而在对mems传感器进行圆周离心测试的过程中，对其直线振动工况进行模拟，以使mems传感器的模拟过程更贴近mems传感器的真实使用工况，从而有利于更为高效地对mems传感器的不合格品进行筛选，以解决现有的测试工装无法对不合格品进行有效筛除的技术问题，从而有利于保证mems传感器在使用过程中的可靠性。

14、本发明的另一目的在于提出一种mems传感器的检测设备，包括上文中的mems传感器的检测工装。

15、相较于现有技术，本发明中的mems传感器的检测设备具有上述mems传感器的检测工装的全部有益之处，于此不做累述。

技术特征：

1.一种mems传感器的检测工装，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述旋转组件（1）还包括安装板（12），所述安装板（12）设于所述旋转轴（11），所述安装板（12）用于安装待检测的mems传感器（3）。

3.如权利要求1所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述振动组件（2）还包括定位环（22），所述定位环（22）与所述旋转轴（11）同轴，且所述定位环（22）顶部与所述固定框（21）固定连接，底部套设于所述旋转轴（11）的外周，且所述旋转轴（11）与所述定位环（22）转动适配。

4.如权利要求3所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述振动组件（2）还包括设于所述第二振动台（29）顶部的第一振动台（23），所述固定框（21）沿上下方向可移动地设于所述第一振动台（23）顶部，所述旋转轴（11）可转动地设于所述第一振动台（23）。

5.如权利要求4所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述旋转组件（1）还包括驱动电机（13），所述驱动电机（13）沿上下方向滑动设置于第二振动台（29），所述驱动电机（13）用于驱动所述旋转轴（11）转动，并能带动所述第一振动台（23）沿旋转轴（11）的轴向振动。

6.如权利要求5所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述第一振动台（23）开设有安装槽（231），所述驱动电机（13）设于所述安装槽（231）中。

7.如权利要求5所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述定位环（22）包括定环（221）和动环（222），所述定环（221）和所述动环（222）均与所述旋转轴（11）同轴，且所述定环（221）套设于所述动环（222）外周，所述定环（221）连接于所述固定框（21），所述动环（222）与所述旋转轴（11）的顶部固定连接。

8.如权利要求4所述的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述固定框（21）底部设有连接板（211），所述连接板（211）沿旋转轴（11）的轴向可锁止地与所述第一振动台（23）滑动适配。

9.如权利要求7所述 的mems传感器的检测工装，其特征在于，所述固定框（21）顶部设有限位支架（212），所述限位支架（212）包括连接条和两个插接条，两所述插接条通过所述连接条固定连接，所以固定框（21）顶部开设有两个插接孔，两所述插接条能上下方向分别穿过两所述插接孔，两所述插接条的底部分别对称分布于所述定环（221）轴线的两侧，并与所述定环（221）固定连接。

10.一种mems传感器的检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的mems传感器的检测工装。

技术总结
本发明提供了一种MEMS传感器的检测工装及MEMS传感器的检测设备，属于测试领域，其中包括旋转组件和振动组件，旋转组件包括能绕自身轴线转动的旋转轴，MEMS传感器设于所述旋转轴，并位于所述旋转轴直径方向上的一侧；振动组件，包括第二振动台和设于第二振动台的固定框，所述固定框能随所述旋转轴的转动而沿所述旋转轴的轴线往复振动，所述旋转轴的端部可转动安装于所述固定框，且所述固定框能带动所述旋转轴沿自身轴线往复振动。与现有技术相比，本发明中的通过振动组件和旋转组件的相互配合，能够在使传感器沿着轴线振动的同时，也能够绕着轴线转动，从而更为有效地对不合格的传感器进行剔除，解决现有的检测设备无法对不合格的产品进行有效筛除的技术问题。

技术研发人员：南耀仕,李正伟,乜恺,杨凤霞,姚世婷,卢倩
受保护的技术使用者：河北美泰电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/1/6