一种用于硅转接板检测的测试夹具的制作方法

本发明涉及硅板检测，尤其涉及一种用于硅转接板检测的测试夹具。

背景技术：

1、硅转接板(interposer)，也称中间层或转接板，通常是指芯片与封装基板之间的互连和引脚再分布的功能层。目前硅转接板主要是硅基材质，利用硅作为转接板，tsv(硅通孔)为线路互连工具，使集成系统更小、更省电，具有更高带宽。为了提高生产效率，每个硅转接板在最终会加工成多个电路板，现有技术中在硅转接板上切割出v槽，然后通过折断的方式将线路板分割成多个小板。

2、硅转接板加工过程中通常会出现基板同层金属再布线层(rdl)虚断、虚短，或者层间通孔(via)与rdl之间虚断、虚短。这类硅转接板在组装前的检验中很难被甄别出来，极易流入模块组装生产工艺线，对模块产品的可靠性留下隐患。需要在硅转接板用于组装前增加一个通断测试环节，开路缺陷和短路缺陷都需要通过测试来检查。

3、由于带有v槽的硅板体在检测中难以进行定位，在夹具定位时，容易发生挤断碎裂的问题；另外，由于硅板体较薄，而夹具夹持位置与桌面间存在间隙，在夹持时硅板体边沿容易卡入间隙中；还有由于每个硅板体上需要检测的小板较多，在中途记录时，容易发生忘记已检测小板位置的问题，带来不便。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决背景技术中存在的缺点，而提出的一种用于硅转接板检测的测试夹具。

2、为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种用于硅转接板检测的测试夹具，包括底座，底座的上表面通过转动机构连接有操作板，操作板的上表面两侧处分别设置有移动板，两个移动板的后端处设置有调距机构，两个移动板相靠近的一面分别固定连接有若干个栅板，两侧的栅板交错分布，一侧移动板的上表面通过横纵滑动机构连接有衔接架，衔接架的一侧表面固定连接有上板，上板的下表面通过升降机构连接有下板，下板的前端固定连接有指示框。

3、优选的，所述转动机构包括固定安装在所述底座上表面的垫高座，垫高座的上表面固定嵌装有伺服电机，伺服电机的输出轴固定连接有花键轴，所述操作板的下表面固定连接有花键筒，花键筒滑动套设在花键轴的外表面。

4、优选的，所述调距机构包括固定连接在所述操作板后边的固定座，固定座的内侧转动贯穿有丝杆，丝杆的一端固定连接有多角块，移动板的后端固定连接有调距板，调距板滑动套在操作板的后边，丝杆螺纹贯穿操作板的内侧。

5、优选的，所述移动板的前端固定连接有导板，导板滑动套设在所述操作板前边。

6、优选的，所述横纵滑动机构包括固定连接在所述移动板上表面的凹型架，凹型架的内侧固定连接有两个纵向杆，两个纵向杆的外表面共同滑动套设有纵滑块，纵滑块的一侧固定连接有l型架，l型架的内侧固定连接有两个横向杆，两个横向杆的外表面共同滑动套设有横滑块，所述衔接架的后端固定连接在横滑块的前表面。

7、优选的，所述l型架的上表面固定连接有加固板。

8、优选的，所述升降机构包括固定连接在所述下板上表面前端处的导杆，导杆的上端滑动穿过所述上板的内侧，所述下板的上表面后端处转动连接有螺纹杆，螺纹杆的上端螺纹贯穿上板的内侧，螺纹杆的上端固定连接有旋头。

9、优选的，所述螺纹杆的下端固定连接有转动盘，所述下板的上表面固定连接有限位套，转动盘转动嵌入限位套的内侧，螺纹杆转动穿过限位套的上表面。

10、与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

11、1、本发明在将硅板体放置在栅板的上表面，之后，通过转动丝杆，使得两侧的调距板相互靠近移动，直至两侧的移动板分别贴在硅板体的两侧边，达到对硅板体的限位功能，由于两侧的栅板呈相交错分布，进而确保对硅板体的下表面进行平稳的托举，有效防止硅板体因表面开设的v口而发生断裂问题；

12、2、本发明由于栅板与移动板连接，因此不会出现硅板体边沿掉落到移动板与操作板间隙中的问题；

13、3、本发明中由于指示框的存在，可以有效记录检测位置，防止在某一小板处停顿记录后，再度检测时对应小板位置记错的问题发生，起到了较好的指示作用。

技术特征：

1.一种用于硅转接板检测的测试夹具，包括底座(1)，其特征在于：底座(1)的上表面通过转动机构连接有操作板(6)，操作板(6)的上表面两侧处分别设置有移动板(7)，两个移动板(7)的后端处设置有调距机构，两个移动板(7)相靠近的一面分别固定连接有若干个栅板(8)，两侧的栅板(8)交错分布，一侧移动板(7)的上表面通过横纵滑动机构连接有衔接架(21)，衔接架(21)的一侧表面固定连接有上板(22)，上板(22)的下表面通过升降机构连接有下板(23)，下板(23)的前端固定连接有指示框(24)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅转接板检测的测试夹具，其特征在于：所述转动机构包括固定安装在所述底座(1)上表面的垫高座(2)，垫高座(2)的上表面固定嵌装有伺服电机(3)，伺服电机(3)的输出轴固定连接有花键轴(4)，所述操作板(6)的下表面固定连接有花键筒(5)，花键筒(5)滑动套设在花键轴(4)的外表面。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅转接板检测的测试夹具，其特征在于：所述调距机构包括固定连接在所述操作板(6)后边的固定座(11)，固定座(11)的内侧转动贯穿有丝杆(12)，丝杆(12)的一端固定连接有多角块(13)，移动板(7)的后端固定连接有调距板(10)，调距板(10)滑动套在操作板(6)的后边，丝杆(12)螺纹贯穿操作板(6)的内侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅转接板检测的测试夹具，其特征在于：所述移动板(7)的前端固定连接有导板(9)，导板(9)滑动套设在所述操作板(6)前边。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅转接板检测的测试夹具，其特征在于：所述横纵滑动机构包括固定连接在所述移动板(7)上表面的凹型架(14)，凹型架(14)的内侧固定连接有两个纵向杆(15)，两个纵向杆(15)的外表面共同滑动套设有纵滑块(16)，纵滑块(16)的一侧固定连接有l型架(19)，l型架(19)的内侧固定连接有两个横向杆(17)，两个横向杆(17)的外表面共同滑动套设有横滑块(20)，所述衔接架(21)的后端固定连接在横滑块(20)的前表面。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅转接板检测的测试夹具，其特征在于：所述l型架(19)的上表面固定连接有加固板(18)。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅转接板检测的测试夹具，其特征在于：所述升降机构包括固定连接在所述下板(23)上表面前端处的导杆(25)，导杆(25)的上端滑动穿过所述上板(22)的内侧，所述下板(23)的上表面后端处转动连接有螺纹杆(26)，螺纹杆(26)的上端螺纹贯穿上板(22)的内侧，螺纹杆(26)的上端固定连接有旋头(27)。

8.根据权利要求7所述的一种用于硅转接板检测的测试夹具，其特征在于：所述螺纹杆(26)的下端固定连接有转动盘(29)，所述下板(23)的上表面固定连接有限位套(28)，转动盘(29)转动嵌入限位套(28)的内侧，螺纹杆(26)转动穿过限位套(28)的上表面。

技术总结
本发明涉及硅板检测技术领域，尤其涉及一种用于硅转接板检测的测试夹具，包括底座，底座的上表面通过转动机构连接有操作板，操作板的上表面两侧处分别设置有移动板，两个移动板的后端处设置有调距机构，两个移动板相靠近的一面分别固定连接有若干个栅板，两侧的栅板交错分布，一侧移动板的上表面通过横纵滑动机构连接有衔接架，衔接架的一侧表面固定连接有上板，上板的下表面通过升降机构连接有下板，下板的前端固定连接有指示框，本发明可以对硅板体的下表面进行平稳的托举，有效防止硅板体因表面开设的V口而发生断裂问题，可以有效记录检测位置，防止在某一小板处停顿记录后，再度检测时对应小板位置记错的问题发生。

技术研发人员：刘宇波,龙立镖,张宇伟,黄光雄
受保护的技术使用者：珠海屹芯半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/16