一种热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置

本技术涉及高度测量标定，具体为一种热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置。

背景技术：

1、热丝化学气相沉积炉是一种常用的新材料生产、科研设备，它依靠钨丝或钽丝等耐高温金属丝在高电流作用下发热产生的高温，将炉腔内的原料气体分解成为所需要的分子片段，并在特定条件下沉积于基片表面，形成所需要的新材料。如图1所示，为沉积炉内部结构，包括生长基片10和灯丝20，在该生长过程中，灯丝20与生长基片10的距离决定了基片表面的温度，而温度是影响产品生长过程的关键因素，对产品表面的均匀性和整体质量有非常大的影响。灯丝网形成的平面与生长基片所在的平面是平行的两个平面，其距离的调节往往靠眼力判断。现有技术中已经可以灯丝平面整体升降式结构，以便调整二者之间的距离，但是灯丝形成的平面是否平整并不能通过升降结构的调整进行调平，当前主要采用游标卡尺进行测量，由于狭小的炉腔尺寸问题，无法很好的测量和标定。对于单丝而言，需要多次测量，整体测量完毕要花费更长时间，标定效率低，使用不便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，以解决现有灯丝高度标定效率低、使用不便的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，包括相连的底横板和竖板，所述竖板上滑动设置有伸出板，所述伸出板上设置有标定板，所述标定板上设置有若干标定点，所述标定点内活动设置有标定片，所述标定片和标定点之间设置有支撑弹簧，标定点内设置有开关点，所述开关点连接有标定灯，标定片挤压开关点时，使得标定灯导通。

3、作为上述技术方案的进一步改进：

4、所述底横板和竖板垂直固定连接或者铰接，铰接时通过螺栓结构进行固定。

5、所述伸出板上设置有刻度线，所述刻度线最上端为0刻度，且自上而下依次增加。

6、所述标定灯的一端引脚连接在第一导线上，所述标定灯的另一端引脚通过开关点连接在第二导线上，通过在第一导线和第二导线间接入电源，形成检测电路。此处为电路结构的一种方式，还可以采用其他电路结构，如开关闭合从红灯到绿灯的转换，开关不闭合显示红灯等情况。

7、所述底横板上设置有气泡水平尺。

8、所述标定板和伸出板转动连接。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、本实用新型提供了一种热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，通过标定灯的显示情况，以解决现有灯丝高度标定效率低、使用不便的问题，在使用时，仅需调整伸出板的高度，即可对平面高度进行测量，同时可以对单个灯丝进行高度标定，操作简单，使用方便。

技术特征：

1.一种热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，其特征在于：包括相连的底横板(1)和竖板(2)，所述竖板(2)上滑动设置有伸出板(3)，所述伸出板(3)上设置有标定板(4)，所述标定板(4)上设置有若干标定点，所述标定点内活动设置有标定片(5)，所述标定片(5)和标定点之间设置有支撑弹簧(6)，标定点内设置有开关点(7)，所述开关点(7)连接有标定灯(8)，标定片(5)挤压开关点(7)时，使得标定灯(8)导通。

2.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，其特征在于：所述底横板(1)和竖板(2)垂直固定连接或者铰接，铰接时通过螺栓结构进行固定。

3.根据权利要求1或2所述的热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，其特征在于：所述伸出板(3)上设置有刻度线，所述刻度线最上端为0刻度，且自上而下依次增加。

4.根据权利要求3所述的热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，其特征在于：所述标定灯(8)的一端引脚连接在第一导线上，所述标定灯(8)的另一端引脚通过开关点(7)连接在第二导线上，通过在第一导线和第二导线间接入电源，形成检测电路。

5.根据权利要求4所述的热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，其特征在于：所述底横板(1)上设置有气泡水平尺(9)。

6.根据权利要求5所述的热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，其特征在于：所述标定板(4)和伸出板(3)转动连接。

技术总结
本技术公开了一种热丝化学气相沉积炉灯丝高度标定用装置，包括相连的底横板和竖板，竖板上滑动设置有伸出板，伸出板上设置有标定板，标定板上设置有若干标定点，标定点内活动设置有标定片，标定片和标定点之间设置有支撑弹簧，标定点内设置有开关点，开关点连接有标定灯，标定片挤压开关点时，使得标定灯导通。底横板和竖板垂直固定连接或者铰接，铰接时通过螺栓结构进行固定。伸出板上设置有刻度线，刻度线最上端为0刻度，且自上而下依次增加。标定灯的一端引脚连接在第一导线上，标定灯的另一端引脚通过开关点连接在第二导线上，通过在第一导线和第二导线间接入电源，形成检测电路。解决了现有灯丝高度标定效率低、使用不便的问题。

技术研发人员：李晨,贺圳平,李岩,周冰,陶武强,骆俏微,李公义
受保护的技术使用者：湖南三一工业职业技术学院
技术研发日：20240123
技术公布日：2024/10/17