一种探针卡测试用干燥吹气装置的制作方法

本技术涉及探针卡应用，具体为一种探针卡测试用干燥吹气装置。

背景技术：

1、探针卡是用于测试晶圆的一种精密治具，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试,是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。

2、探针卡在测试部分型号的产品时会出现leakage异常现象。现有技术通常是由技术人员将探针卡从机台上取出，然后放入烤箱使用75℃高温烘烤一小时左右，使探针卡整体湿度降低，然后再将探针卡重新安装至机台上面恢复产品测试。这个方式存在一些弊端：一方面是将探针卡烘烤完上机后，只能够维持正常测试1h～2h，若再出现leakage现象，则需要重复烘烤的动作，并且技术人员频繁的将probe card从机台上取出和安装会增加工作人员负担，并且容易造成mo(例如：撞针、撞卡)事件；另一方面是每次烘烤所需要的时间在一小时左右，且频繁烘烤会导致机台稼动率降低，从而导致产能降低，不利于生产。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种探针卡测试用干燥吹气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡，以及配合探针卡进行晶圆测试并设置于探针卡正上方的测试机，其特征在于：所述测试机上设有喷吹机构，所述喷吹机构包括进气单元，连接于进气单元输出端上的气管一，设置于气管一上远离进气单元一端的固定结构，通过所述固定结构与测试机形成连接并朝探针卡所在侧喷吹。

3、在本申请方案中作出如下改进，所述固定结构包括连接座，安装于连接座两侧的一对l型板，所述连接座侧边连接有延伸板，所述延伸板上远离连接座的一端设有出气头。通过设置延伸板来规范气管的布线路径，以提高喷吹机构的组装效率。

4、在本申请方案中作出如下改进，所述连接座侧边开设有通孔，所述延伸板上设有变向接头，所述气管一一端穿过通孔与变向接头一端连接，所述变向接头另一端上连接有气管二，所述延伸板与出气头的连接处开设有通孔，所述气管二穿过通孔与出气头连接。通过设置变向接头将气管一与出气头连接起来，确保管道内的气体流通顺畅。

5、在本申请方案中作出如下改进，所述l型板上开设有腰型孔，通过所述腰型孔与测试机连接固定。

6、在本申请方案中作出如下改进，所述出气头上开设有若干出气口，若干所述出气口朝外侧喷吹形成一个圆形区域，将探针卡包围在其中，保持探针卡周围环境的干燥，降低湿度，避免出现leakage异常现象。

7、在本申请方案中作出如下改进，所述进气单元包括气压调节阀，以及设置于气压调节阀上的进气口和排气口，所述排气口与气管一连接。

8、在本申请方案中作出如下改进，位于进气单元和固定结构之间的所述气管一上设有气压开关。

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种探针卡测试用干燥吹气装置，具备以下有益效果：

10、本实用新型通过在测试机上设置喷吹机构，在晶圆测试的同时对探针卡进行干燥，使探针卡周围环境始终保持干燥，以降低湿度，避免频繁地将探针卡取出、烘烤、再安装，从而提升机台稼动率和测试效率，同时避免人员频繁的将探针卡从机台上取出和安装而造成mo事件，进而减轻技术人员的负担。

技术特征：

1.一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡(1)，以及配合探针卡(1)进行晶圆测试并设置于探针卡(1)正上方的测试机(2)，其特征在于：所述测试机(2)上设有喷吹机构(3)，所述喷吹机构(3)包括进气单元(31)，连接于进气单元(31)输出端上的气管一(32)，设置于气管一(32)上远离进气单元(31)一端的固定结构(33)，通过所述固定结构(33)与测试机(2)形成连接并朝探针卡(1)所在侧喷吹。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述固定结构(33)包括连接座(331)，安装于连接座(331)两侧的一对l型板(332)，所述连接座(331)侧边连接有延伸板(333)，所述延伸板(333)上远离连接座(331)的一端设有出气头(334)。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述连接座(331)侧边开设有通孔，所述延伸板(333)上设有变向接头(335)，所述气管一(32)一端穿过通孔与变向接头(335)一端连接，所述变向接头(335)另一端上连接有气管二(336)，所述延伸板(333)与出气头(334)的连接处开设有通孔，所述气管二(336)穿过通孔与出气头(334)连接。

4.根据权利要求3所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述l型板(332)上开设有腰型孔(337)，通过所述腰型孔(337)与测试机(2)连接固定。

5.根据权利要求2所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述出气头(334)上开设有若干出气口(338)，若干所述出气口(338)朝外侧喷吹形成一个圆形区域。

6.根据权利要求1所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：所述进气单元(31)包括气压调节阀(311)，以及设置于气压调节阀(311)上的进气口(312)和排气口(313)，所述排气口(313)与气管一(32)连接。

7.根据权利要求1所述的一种探针卡测试用干燥吹气装置，其特征在于：位于进气单元(31)和固定结构(33)之间的所述气管一(32)上设有气压开关(34)。

技术总结
本技术涉及探针卡应用技术领域，且公开了一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡，以及配合探针卡进行晶圆测试并设置于探针卡正上方的测试机，其特征在于：所述测试机上设有喷吹机构，所述喷吹机构包括进气单元，连接于进气单元输出端上的气管一，设置于气管一上远离进气单元一端的固定结构，通过所述固定结构与测试机形成连接并朝探针卡所在侧喷吹。本技术通过在测试机上设置喷吹机构，在晶圆测试的同时对探针卡进行干燥，使探针卡周围环境始终保持干燥，以降低湿度，避免频繁地将探针卡取出、烘烤、再安装，从而提升机台稼动率和测试效率，同时避免人员频繁的将探针卡从机台上取出和安装而造成MO事件，进而减轻技术人员的负担。

技术研发人员：李江峰,高俊,丁江,张星,傅佳豪
受保护的技术使用者：江苏汇成光电有限公司
技术研发日：20240205
技术公布日：2024/11/21