一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置的制作方法

本技术涉及膜厚测试，具体为一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置。

背景技术：

1、topcon 是一种高级太阳能电池的制造工艺，它的主旨是提高太阳能电池的效率并降低制造成本。随着全球对可再生能源的需求不断增加，topcon 已成为太阳能行业的一个重要概念。topcon 电池利用一种称为选择性发射极（se）的工艺，该工艺在太阳能电池表面添加一层薄薄的磷硅玻璃层，这层磷硅玻璃层可以减少表面复合并增加开路电压。此外，topcon 电池还采用一种称为钝化接触（pc）的工艺，通过在电池表面添加一层薄薄的磷硅玻璃层和一层金属层，减少载流子复合并提高短路电流

2、topcon氧化工序中，下料后会有在线方阻测试，但是现有的在线方阻测试装置没有膜厚测试，不能实时监控产品膜厚情况，出现外观异常时难以及时发现，追溯异常时，难以确定问题出现的炉管和具体温区。

技术实现思路

1、本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

2、鉴于上述和/或现有一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置中存在的问题，提出了本实用新型。

3、因此，本实用新型的目的是提供一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，通过在壳体顶部设置顶板，顶板底部设置有检测板，检测板底部分别设置有方阻检测探头和膜厚检测探头，在壳体侧壁设置有显示屏，通过启动壳体顶部电机带动螺纹杆旋转，利用丝杆结构推动检测板同时带动方阻检测探头和膜厚检测探头移动，在方阻检测探头测试不同点位时，利用膜厚检测探头使膜厚测试同步进行，并利用显示屏同时显示方阻即膜厚数值，不会降低机台的产能，同时加装探头也不会占用机台空间。

4、为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：

5、一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，其包括：

6、壳体，所述壳体顶部安装有支撑板，所述支撑板顶部安装有顶板，所述顶板顶部开设有导向槽，所述顶板顶部对称安装有两个第一固定板，其中一个所述第一固定板侧壁安装有电机，所述电机输出端伸入两个所述第一固定板之间并安装有螺纹杆，所述壳体侧壁安装有显示屏；

7、检测组件，包括滑动连接在所述顶板底部的检测板和安装在所述检测板顶部并从所述导向槽伸出的滑块，所述检测板底部安装有方阻检测探头和膜厚检测探头，所述滑块侧壁开设有螺纹孔，所述螺纹杆旋转贯穿所述螺纹孔。

8、作为本实用新型所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置的一种优选方案，其中，所述顶板侧壁安装有单向齿条；

9、所述检测板底部对称安装有两个第二固定板，两个所述第二固定板之间可转动的连接有往复螺纹杆，所述往复螺纹杆一端部伸出所述第二固定板侧壁并安装有第二皮带轮，所述第二固定板侧壁可转动的连接有第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述第二皮带轮之间通过皮带连接，所述第一皮带轮侧壁安装有第一斜齿轮，所述检测板侧壁可转动的连接有单向齿轮，所述单向齿轮与所述单向齿条啮合，所述单向齿轮底部安装有第三皮带轮，所述检测板侧壁还可转动的连接有第四皮带轮，所述第四皮带轮与所述第三皮带轮之间通过皮带连接，所述第四皮带轮底部安装有第二斜齿轮，所述第二斜齿轮与所述第一斜齿轮啮合。

10、作为本实用新型所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置的一种优选方案，其中，所述检测板底部设置有滑板，所述滑板位于两个所述第二固定板之间，所述滑板顶部安装有擦布，所述滑板侧壁开设有往复螺纹孔，所述往复螺纹杆旋转贯穿所述往复螺纹孔。

11、作为本实用新型所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置的一种优选方案，其中，还包括收放线组件，所述收放线组件包括可转动的连接在所述壳体侧壁的旋钮、安装在所述旋钮侧壁的收卷辊和缠绕在所述收卷辊辊身的导线，所述导线一端部与所述壳体连接，所述导线另一端部安装有插头。

12、作为本实用新型所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置的一种优选方案，其中，所述旋钮侧壁安装有扭簧，所述扭簧一端部与所述旋钮抵接，所述扭簧另一端部与所述壳体抵接，所述旋钮外壁设置有一圈密集卡齿。

13、作为本实用新型所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置的一种优选方案，其中，还包括限位组件，所述限位组件包括安装在所述壳体侧壁的固定框和滑动连接在所述固定框内部的限位块，所述固定框面向所述旋钮一侧开口，所述限位块侧壁安装有弹簧，所述弹簧另一端连接至所述固定框内壁，所述限位块另一侧壁开设有与所述旋钮配合的限位槽，所述限位槽内壁开设有密集齿槽。

14、与现有技术相比：通过在壳体顶部设置顶板，顶板底部设置有检测板，检测板底部分别设置有方阻检测探头和膜厚检测探头，在壳体侧壁设置有显示屏，通过启动壳体顶部电机带动螺纹杆旋转，利用丝杆结构推动检测板同时带动方阻检测探头和膜厚检测探头移动，在方阻检测探头测试不同点位时，利用膜厚检测探头使膜厚测试同步进行，并利用显示屏同时显示方阻即膜厚数值，不会降低机台的产能，同时加装探头也不会占用机台空间。

技术特征：

1.一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，其特征在于，所述顶板（120）侧壁安装有单向齿条（120b）；

3.根据权利要求2所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，其特征在于，所述检测板（210）底部设置有滑板（250），所述滑板（250）位于两个所述第二固定板（230）之间，所述滑板（250）顶部安装有擦布（250a），所述滑板（250）侧壁开设有往复螺纹孔（250b），所述往复螺纹杆（230a）旋转贯穿所述往复螺纹孔（250b）。

4.根据权利要求1所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，其特征在于，还包括收放线组件（300），所述收放线组件（300）包括可转动的连接在所述壳体（100）侧壁的旋钮（310）、安装在所述旋钮（310）侧壁的收卷辊（320）和缠绕在所述收卷辊（320）辊身的导线（330），所述导线（330）一端部与所述壳体（100）连接，所述导线（330）另一端部安装有插头（330a）。

5.根据权利要求4所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，其特征在于，所述旋钮（310）侧壁安装有扭簧（310a），所述扭簧（310a）一端部与所述旋钮（310）抵接，所述扭簧（310a）另一端部与所述壳体（100）抵接，所述旋钮（310）外壁设置有一圈密集卡齿。

6.根据权利要求5所述的一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，其特征在于，还包括限位组件（400），所述限位组件（400）包括安装在所述壳体（100）侧壁的固定框（410）和滑动连接在所述固定框（410）内部的限位块（420），所述固定框（410）面向所述旋钮（310）一侧开口，所述限位块（420）侧壁安装有弹簧（420a），所述弹簧（420a）另一端连接至所述固定框（410）内壁，所述限位块（420）另一侧壁开设有与所述旋钮（310）配合的限位槽（420b），所述限位槽（420b）内壁开设有密集齿槽。

技术总结
本技术公开一种兼具膜厚测试功能的方阻测试装置，包括壳体和检测组件，本技术通过在壳体顶部设置顶板，顶板底部设置有检测板，检测板底部分别设置有方阻检测探头和膜厚检测探头，在壳体侧壁设置有显示屏，通过启动壳体顶部电机带动螺纹杆旋转，利用丝杆结构推动检测板同时带动方阻检测探头和膜厚检测探头移动，在方阻检测探头测试不同点位时，利用膜厚检测探头使膜厚测试同步进行，并利用显示屏同时显示方阻即膜厚数值，不会降低机台的产能，同时加装探头也不会占用机台空间。

技术研发人员：魏非州,吴宇,徐明靖
受保护的技术使用者：滁州亿晶光电科技有限公司
技术研发日：20240411
技术公布日：2025/1/20