一种晶圆检测大理石检测平台的制作方法

本技术涉及晶圆检测装置，尤其涉及一种晶圆检测大理石检测平台。

背景技术：

1、现有的晶圆检测平台在运行时因为会设计多轴进行滑动，带动其核心部件进行滑动时，机台整体震动量大，不利于实现高精度检测，另外，传统的晶圆检测平台中，缺乏精确计算滑动尺寸的组件，即系统对核心部件的滑动位置无法精准定位，且原始的此类晶圆检测平台大多结构复杂，安装难度极高，不利于大规模工业推广。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测大理石检测平台，以解决背景技术提到的技术问题。

2、为解决技术问题，本实用新型采用如下技术方案实现：

3、一种晶圆检测大理石检测平台，包括大理石主平台，所述大理石主平台上下两面水平设置，且其上端形成x轴和y轴部件安装平面；还包括大理石靠板，所述大理石靠板垂直式安装在大理石主平台的内侧，其下端凹陷形成让位槽、上端形成z轴部件安装平面；还包括x轴部件，其包括多组平行设置的x轴滑轨和x轴滑块，位于中间的两组x轴滑轨之间设有x轴直线电机，还包括y轴部件，其包括y轴滑板、y轴滑轨、y轴滑块以及负压检测载台，其中y轴滑板固定连接在x轴滑块的上方，所述y轴滑轨设置在y轴滑板的上方，所述负压检测载台通过y轴滑块与y轴滑轨配合滑动；其中负压检测载台用于安装待检单元，负压检测载台与y轴滑板之间设置有y轴直线电机；还包括z轴部件，其包括z轴底座、z轴滑轨、z轴滑块、检测座板、z轴驱动单元，所述z轴底座安装在大理石靠板的上端，z轴滑轨设置在z轴底座上，所述检测座板通过z轴滑块与z轴滑轨滑动配合；其中检测座板用于安装检测单元，所述z轴驱动单元用于驱动检测座板相对于z轴底座滑动。

4、具体来说，所述待检单元包括负压环、晶圆承载面和负压机构，其中负压环安装在负压检测载台的上端，所述晶圆承载面设置在负压环的上端中间位置，所述负压机构设置在负压环的内侧，由若干气路与压缩机连接，以使负压环上端形成能够吸附住待检晶圆的负压环境，所述检测单元包括高精度显微镜拍照模组和常规高精度相机模组，高精度显微镜拍照模组和常规高精度相机模组，均安装在检测座板上，且呈平行排列。

5、具体来说，所述z轴驱动单元包括z轴电机、z轴丝杆、丝杆滑块，其中丝杆滑块安装在检测座板的内侧。

6、具体来说，还包括高精度距离探测组件，其包括x轴光栅尺、y轴光栅尺和z轴光栅尺，所述x轴光栅尺安装在x轴滑轨的一侧用于检测y轴滑板行进距离，所述y轴光栅尺安装在y轴滑轨的一侧，用于检测负压检测载台的行进距离，所述z轴光栅尺安装在z轴滑轨的一侧，用于检测检测座板的行进距离。

7、具体来说，还包括缓冲机构，所述缓冲机构包括若干个等距分布在大理石主平台下方的减震橡胶垫。

8、具体来说，所述负压环包括负压环腔、吸气孔、通气管路和抽气孔，所述负压环腔由负压环内侧凹陷形成，所述晶圆承载面设置在负压环腔的上端，所述抽气孔设置在负压环腔的上端面位置，所述抽气孔设置在负压环的侧壁位置并与负压环腔连通，所述抽气孔还与通气管路连通，通气管路与吸气孔连通。

9、具体来说，所述吸气孔沿负压环的环形壁上端竖直方向圆周阵列分布，所述通气管路为设置负压环环形壁下端、吸气孔下方并与所有吸气孔连通的一个环形通气管腔。

10、相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

11、(1)本实用新型的检测平台由高平面度的大理石作为基底，相比于传统采用框架式机架做基底的，可确保后续安装和多轴设备运行时的一个平整度以及提供大重量底座，可确保上端设备运作时不容易晃动，不会震动；

12、(2)本检测平台x、y轴由高精度直线电机、高精度导轨组成，使x、y运行平稳，且运动精度与重复精度高，定位精度达±1μm；

13、(3)检测平台x、y轴配备高精度光栅尺位移传感器，定位精度±1μm；

14、(4)检测平台底部安装橡胶减震垫，减少机台的整体抖动，使机台运动结构平稳运行。

技术特征：

1.一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，包括：

2.如权利要求1所述的一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，所述待检单元包括负压环、晶圆承载面和负压机构，其中负压环安装在负压检测载台的上端，所述晶圆承载面设置在负压环的上端中间位置，所述负压机构设置在负压环的内侧，由若干气路与压缩机连接，以使负压环上端形成能够吸附住待检晶圆的负压环境，所述检测单元包括高精度显微镜拍照模组和常规高精度相机模组，高精度显微镜拍照模组和常规高精度相机模组，均安装在检测座板上，且呈平行排列。

3.如权利要求1所述的一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，所述z轴驱动单元包括z轴电机、z轴丝杆、丝杆滑块，其中丝杆滑块安装在检测座板的没测。

4.如权利要求1-3任一所述的一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，还包括高精度距离探测组件，其包括x轴光栅尺、y轴光栅尺和z轴光栅尺，所述x轴光栅尺安装在x轴滑轨的一侧用于检测y轴滑板行进距离，所述y轴光栅尺安装在y轴滑轨的一侧，用于检测负压检测载台的行进距离，所述z轴光栅尺安装在z轴滑轨的一侧，用于检测检测座板的行进距离。

5.如权利要求4所述的一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，还包括缓冲机构，所述缓冲机构包括若干个等距分布在大理石主平台下方的减震橡胶垫。

6.如权利要求2所述的一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，所述负压环包括负压环腔、吸气孔、通气管路和抽气孔，所述负压环腔由负压环内侧凹陷形成，所述晶圆承载面设置在负压环腔的上端，所述抽气孔设置在负压环腔的上端面位置，所述抽气孔设置在负压环的侧壁位置并与负压环腔连通，所述抽气孔还与通气管路连通，通气管路与吸气孔连通。

7.如权利要求6所述的一种晶圆检测大理石检测平台，其特征是，所述吸气孔沿负压环的环形壁上端竖直方向圆周阵列分布，所述通气管路为设置负压环环形壁下端、吸气孔下方并与所有吸气孔连通的一个环形通气管腔。

技术总结
本技术公开了一种晶圆检测大理石检测平台，包括大理石主平台、包括大理石靠板、X轴部件、Y轴部件、Z轴部件，本技术的检测平台由高平面度的大理石作为基底，相比于传统采用框架式机架做基底的，可确保后续安装和多轴设备运行时的一个平整度以及提供大重量底座，可确保上端设备运作时不容易晃动，不会震动；本检测平台X、Y轴由高精度直线电机、高精度导轨组成，使X、Y运行平稳，且运动精度与重复精度高，定位精度达±1μm；检测平台X、Y轴配备高精度光栅尺位移传感器，定位精度±1μm；检测平台底部安装橡胶减震垫，减少机台的整体抖动，使机台运动结构平稳运行。

技术研发人员：古乐野
受保护的技术使用者：深圳市鹏乐智能系统有限公司
技术研发日：20240419
技术公布日：2025/1/6