重复定位精度测量装置及光学检测设备的制作方法

本技术涉及晶圆的检测，尤其涉及一种重复定位精度测量装置及光学检测设备。

背景技术：

1、光学检测设备用于检测晶圆表面缺陷，以防止存在缺陷的晶圆流入封装工序。光学检测设备中的载台用于承载待测晶圆。在测量晶圆时，由于晶圆与光学检测设备的光学棱镜的间隙无法满足自动传片所需的空间，在传片时，需要驱动载台下降，以为机械手留出拿取和放置晶圆的传片空间，晶圆放置好后，需要驱动载台上升至检测位置，以满足检测时晶圆与光学棱镜之间的间隙。若每次载台上升的位置不准确，将直接影响到测量结果的准确性，因此，需要对载台升降的重复定位精度进行测量，以确定其是否满足使用需求，保证测量结果的准确性和可靠性。

2、目前，现有技术中能够进行重复定位精度检测的测量装置的测量精度可以满足光学检测设备的高精度需求，但是价格昂贵，增加了测量成本；而且无法实现在光学检测设备内进行测量。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种重复定位精度测量装置及光学检测设备，该重复定位精度测量装置不仅测量精度高，成本低；而且能在光学检测设备内进行测量。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、重复定位精度测量装置，用于检测待测件的重复定位精度，所述待测件的承载面上设置有至少三个测量点，至少三个所述测量点包括第一测量点、第二测量点和第三测量点，所述第一测量点、所述第二测量点和所述第三测量点形成一个测量平面；所述重复定位精度测量装置包括：

4、支撑架；

5、位置调节机构，通过所述支撑架架设于所述待测件的上方，所述位置调节机构包括y向调整基板和三个x向调整基板，三个所述x向调整基板分别与所述y向调整基板可移动连接，以使三个所述x向调整基板在所述y向调整基板上的位置均可调；

6、检测组件，包括三个检测件，三个所述检测件一一对应地可移动设置于三个所述x向调整基板上，以使三个所述检测件能分别位于所述第一测量点的上方、所述第二测量点的上方和所述第三测量点的上方，所述待测件上升能使三个所述检测件分别与所述第一测量点、所述第二测量点和所述第三测量点接触，以对所述测量平面的重复定位精度进行检测。

7、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，所述检测件包括测微仪、千分表和激光位置传感器中的至少一种。

8、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，所述位置调节机构还包括调节件，所述调节件的一端与所述x向调整基板可移动连接，另一端沿所述y向调整基板的延伸方向伸出所述x向调整基板，所述检测件设于所述调节件的伸出端。

9、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，所述调节件与所述x向调整基板连接的一端设有配合槽，所述配合槽的槽侧壁与所述x向调整基板沿宽度方向的两侧配合，所述配合槽的槽底与所述x向调整基板沿厚度方向的其中一侧配合，以使所述调节件能沿所述x向调整基板的长度方向移动。

10、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，所述位置调节机构还包括第一固定件，所述第一固定件用于固定所述调节件和x向调整基板。

11、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，所述配合槽远离所述调节件的伸出端的槽侧壁设置有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔贯通所述调节件远离所述伸出端的一端，所述第一固定件与所述第一螺纹孔螺接并与所述x向调整基板抵接，以固定所述调节件；

12、和/或，所述x向调整基板沿厚度方向的其中一侧间隔设置有多个第一螺纹孔组，多个所述第一螺纹孔组沿所述x向调整基板的长度方向延伸，所述配合槽的槽底设置有第一连接孔组，所述第一连接孔组通过所述第一固定件选择性地与不同位置的所述第一螺纹孔组连接。

13、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，所述位置调节机构还包括第二固定件，所述第二固定件用于固定所述x向调整基板和所述y向调整基板。

14、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，沿所述y向调整基板的长度方向间隔设置有多个第二螺纹孔组，沿所述x向调整基板的长度方向的一端设置有第二连接孔组，所述第二连接孔组通过所述第二固定件选择性地与不同位置的所述第二螺纹孔组连接。

15、作为所述重复定位精度测量装置的一个可选方案，所述支撑架包括两个支撑组件，所述y向调整基板的两端分别与两个所述支撑组件连接，且所述y向调整基板能沿所述支撑组件的高度方向移动。

16、光学检测设备，其包括升降载台和如以上任一方案所述的重复定位精度测量装置，所述待测件为所述升降载台，所述重复定位精度测量装置用于检测所述升降载台的重复定位精度。

17、本实用新型的有益效果：

18、本实用新型提供的重复定位精度测量装置，包括位置调节机构和三个检测件，三个检测件通过位置调节机构调整x方向和y方向的位置，能使三个检测件分别移动至待测件上的第一测量点、第二测量点和第三测量点的上方，待测件上升能三个检测件分别对第一测量点、第二测量点和第三测量点形成的测量平面的重复定位精度进行检测，该重复定位精度测量装置通过三个检测件对待测件上的测量平面进行检测，精度更高，成本低；同时该重复定位精度测量装置体积小，灵活性更好，操作更便捷；位置调节机构通过支撑架架设于待测件的上方，适用于安装于光学检测设备对升降载台的重复定位精度进行检测。

19、本实用新型提供的光学检测设备，包括升降载台和上述的重复定位精度测量装置，重复定位精度测量装置能够对升降载台的重复定位精度进行精确检测，成本低；使得该光学检测设备不仅能够满足测量晶圆时的传片的使用需求，而且能够保证光学检测设备的测量结果的准确性和可靠性。

技术特征：

1.重复定位精度测量装置，用于检测待测件的重复定位精度，其特征在于，所述待测件的承载面上设置有至少三个测量点，至少三个所述测量点包括第一测量点、第二测量点和第三测量点，所述第一测量点、所述第二测量点和所述第三测量点形成一个测量平面；所述重复定位精度测量装置包括：

2.根据权利要求1所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，所述检测件包括测微仪、千分表和激光位置传感器中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，所述位置调节机构(2)还包括调节件，所述调节件的一端与所述x向调整基板可移动连接，另一端沿所述y向调整基板(21)的延伸方向伸出所述x向调整基板，所述检测件设于所述调节件的伸出端。

4.根据权利要求3所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，所述调节件与所述x向调整基板连接的一端设有配合槽，所述配合槽的槽侧壁与所述x向调整基板沿宽度方向的两侧配合，所述配合槽的槽底与所述x向调整基板沿厚度方向的其中一侧配合，以使所述调节件能沿所述x向调整基板的长度方向移动。

5.根据权利要求4所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，所述位置调节机构(2)还包括第一固定件，所述第一固定件用于固定所述调节件和x向调整基板。

6.根据权利要求5所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，所述配合槽远离所述调节件的伸出端的槽侧壁设置有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔贯通所述调节件远离所述伸出端的一端，所述第一固定件与所述第一螺纹孔螺接并与所述x向调整基板抵接，以固定所述调节件；

7.根据权利要求1所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，所述位置调节机构(2)还包括第二固定件，所述第二固定件用于固定所述x向调整基板和所述y向调整基板(21)。

8.根据权利要求7所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，沿所述y向调整基板(21)的长度方向间隔设置有多个第二螺纹孔组(62)，沿所述x向调整基板的长度方向的一端设置有第二连接孔组(52)，所述第二连接孔组(52)通过所述第二固定件选择性地与不同位置的所述第二螺纹孔组(62)连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的重复定位精度测量装置，其特征在于，所述支撑架(1)包括两个支撑组件(11)，所述y向调整基板(21)的两端分别与两个所述支撑组件(11)连接，且所述y向调整基板(21)能沿所述支撑组件(11)的高度方向移动。

10.光学检测设备，其特征在于，包括升降载台(100)和如权利要求1-9任一项所述的重复定位精度测量装置，所述待测件为所述升降载台(100)，所述重复定位精度测量装置用于检测所述升降载台(100)的重复定位精度。

技术总结
本技术公开了一种重复定位精度测量装置及光学检测设备，涉及晶圆的检测技术领域。该重复定位精度测量装置包括支撑架、位置调节机构和检测组件；位置调节机构通过支撑架架设于待测件的上方，位置调节机构包括Y向调整基板和三个X向调整基板，三个X向调整基板分别与Y向调整基板可移动连接，以使三个X向调整基板在Y向调整基板上的位置均可调。检测组件包括三个检测件，三个检测件一一对应地可移动设置于三个X向调整基板上，以使三个检测件能分别位于第一测量点的上方、第二测量点的上方和第三测量点的上方，待测件上升能使三个检测件分别与第一测量点、第二测量点和第三测量点接触，以对测量平面的重复定位精度进行检测。

技术研发人员：朱亮,王悦,陈淑楠,张永龙
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日：20240422
技术公布日：2024/12/5