专利名称:计量装置的制作方法
本发明是有关计量装置，特别是涉及用于测量诸如园度和直线性等外形以及它们的误差的装置。
一种已知的计量装置，包括一个用来安放工件的可旋转部件;用来旋转该部件的第一驱动机构;一个在可旋转部件旋转期间用来检测工件表面的传感器;用来相对于该工件的安放部件而移动的支撑该传感器的机构;为了实现传感器有效移动的第二驱动机构;以及为了从提供计量数据的传感器上得到接收信号进行处理的数字计算机。
在上述已知装置使用时，工作被放在可转动的支撑座上，如有必要时可进行对中和找平。测量工件外形时将工件旋转，使得传感器能越过工件表面。当传感器越过工件表面时，传感器输出一个信号，这个信号是随工件外形的特征而变化的。在测量工件外形时，关键问题是为检测出工件外形的最小变化，需要传感器有高的分辨率的矛盾。例如，一个优于20毫微米的分辨率和一个允许外形有较大变化的工件要求有宽的工件范围去调节是一个矛盾。因此，一个理想的传感器将包括一个触针和变换器，变换器输出一个信号，这个信号和触针移动的至少几个毫米的距离是线性关系，在其工作范围内，使用上述的高分辨率效果几乎都是很显著的。直到目前为止，还不能生产出一种符合这些要求的令人满意的变换器。因此，对工件外形的测量是相当地慢，为了适应具有较大变化外形的工件，需要操作人员反复地改变传感器的位置，这种操作过程是极不方便的。
现有技术装置的另一个问题是由于变换器工作范围的限制，使得对中和找平工序必定很困难。特别是，在对中和找平之前，必须保证工件被放置在安放工件装置上的某一位置，这个位置的任何对中误差应保证在变换器的工作范围之内。这个位置过去是由人眼来确定的，其结果使得在对中工序开始时，由于对中误差不在变换器的工作范围之内，而使对中无法进行，这就要调整传感器表面的位置或者调整工件的位置。因此，这种操作既费时又不方便。
本发明的目的之一是要解决上述的问题。
本发明解决上述问题是利用计算机根据来自传感器所得到的信号去控制工件和传感器之间的相对移动，这样使得传感器是沿着工件的表面，并且根据该信号及传感器的位移来获得计量数据。
由此可见，一个具有很高的分辨率(例如优于20毫微米，更好一些可达12毫微米。)，而具有小的工作范围(例如小于0.4毫米)的传感器，可用来检测工作外形的最小变化量。当工件的外形有大的变化时，可在数字计算机的控制下由驱动机构的工作来调节，其计量数据的偏差取决于变换器的输出和传感器移动两方面。传感器的位置因而可由高分辨率来确定，尽管在实际中并没有必要由传感器本身提供这样高的分辨率。例如，如在前面已经提到的传感器的最佳分辨率为20毫微米，而当用第二驱动机构时，只要优于500毫微米(最好是200毫微米)就可以确定传感器的位置，这与现有技术装置相比，改善了至少一个数量级。
所偏移的尺寸可移动传感器来调整，这取决于传感器所移动的范围。在实际中，传感器在径向方向至少可移动100毫米，在轴向方向至少移动100毫米，在一个最佳的特殊例子中，传感器在径向可移动200毫米距离，在轴向可移动500毫米距离。
本发明将用附图所示的例子进一步说明。
图1是根据本发明一个实施例给出的计量装置的透视图。
图2是图1所示的计量装置的部分详细透视图。
图3是图2中箭头Ⅲ所指方向的正透图。
图4是图2中箭头Ⅳ所指方向的正透图。
图5是图1中所示的计算机系统的方框图。
图6是一个凸轮，表示根据本发明的最佳方案进行的最佳操作的例子。
图7、8和9表示根据本发明的更进一步的最佳方案分别进行平直度，园柱度和园锥度测量的方法。
图1中的计量装置包括一张工作台2，工作台上装有一个用以放置工件(未画出)的转盘4。滑架6是在柱8上作垂直移动并带有一个水平移动的臂10。用于接触工件表面的触针12是包括在线性变换器14内，它可以是感性也可以是容性，它置于臂16的一端，臂16的另一端接到臂10的自由端上，以便于作枢轴移动，图中箭头18的方向是表示和水平方向成45°的轴20为轴心作枢轴移动的方向。
在图2中可以更清楚地看出，臂16分别是以轴20在图2中实线和点划线所示的两个位置之间作180°的旋转。在实线位置，触针12是垂直的，而在点划线位置，触针是水平的。这样的安置使得当臂16处于图2所示的两个位置的任一个位置时，触针的顶端12a基本上位于转盘4的经向面上相同的位置。马达3安装在臂10内，为了使臂10能在图示的两个位置之间被驱动，马达3通过一个螺杆和齿轮传动装置5与臂16连接。触针12和变换器14的安装使得触针12相对于变换器14仅在一个方向偏移。但是，变换器14是安装在臂16中，它以7为轴旋转，最好是以30°为一级旋转270°。例如，如果变换器14以7为轴旋转90°，在这90°变化的平面内触针12是可偏移的。安装在臂16中的马达9用来旋转变换器14。当臂16在图中所示的实线位置时，触针12是处在垂直方向，例如为了检测被安放在转盘4上的工件的内表面，变换器14通常保持在一个可使触针12在相对于转盘4的径向平面上移动的位置上。然而，当臂16在图2所示的点划线位置时，则触针12是处在水平方向，变换器14可被转到这两个位置的任一个位置。在前一个位置时，触针12可在水平面移动，而在后一位置时，触针12可在垂直面移动，在前者的位置上，适于检测一个工件的侧表面，而在后者位置上时，适于检测上表面。当工件的欲测量表面处于其它方向时，可将变换器14沿轴7旋转到一个使触针12可在被测表面上正常移动的位置。
在图3中，为了按箭头11所指的方向在水平方向上驱动臂10，马达35被安装在滑架6中。从马达35到臂10的传动是通过一个齿轮齿条机构13或其它的合适的传动机构(如滚球螺旋)来完成的。臂10按箭头11所指的方向移动，使得变换器14在水平方向移动，因而触针12的顶端12a相对转盘4的轴线径向地向内或向外移动，12a在整个移动期间仍是在径向平面上。来自安装在滑架6中的光源15的光直接射向一个安装在臂10上的线性光栅19，光栅19上的光反射到光转换器21，光转换器21提供一个输出信号(最好是正交信号)，从这些输出信号就可以得知臂10的位置和速度。从图3还可以看出，另外一个光转换器23提供了来自转盘4的位置和转盘速度的信号，转盘是由马达33驱动的，由于转盘4可转动，借助于光源25和光栅27就可获得转盘4的位置和旋转速度。
由图4可看到，安装在滑架6中的马达37与齿条和齿轮机构39(或其它合适的机构，如链轮和链条)一起沿箭头41所指的方向垂直驱动滑架6。为了均衡这种移动，安装了一个恒力弹簧(图中未画出)。在柱8上装有光栅43，光栅43将来自装在滑架6中的光源27的光反射到装在滑架6上的光转换器31，光转换器31提供信号(最好是正交信号)，从这些信号可以得到滑架6的位置和移动速度。
在图1和图5中可看到一台主计算机22，这台主机带有一个键盘24，一个磁盘驱动器26和一台打印机28，它们被安置在工作台2上面，用以控制计量装置，处理测量结果并输出所需的计量数据，主机可选用IBM兼容PC。
如图5所示，该装置包括的各个微处理器的编号为30，32，34，36，38，和40。微处理器30用作主控制器，它接受来自主机22的关于该装置执行操作的各种指令。这些指令被主控制器30存贮，主控制器30根据存贮在与主控制器相连接的存贮器中的程序指示和控制其它的各个微处理器，为了执行由主机22提供的这些指令，借助一个从动驱动器处理器30a。其余的每一个微处理器都有与它相连的存贮器存贮必要的程序，以实现从主控制器30接受指令。因此，微处理器32，34和36被指定为从动装置。
从动装置32控制转盘4的转速。从动装置34控制臂10的径向移动。从动装置36控制滑架6的垂直移动。根据我们的如下的待批专利申请，从动装置32，34和36最好分别控制马达33、35和37的速度。
国家 申请号英国 8530577中国 86107433丹麦 5531/86欧洲 86309681.4西德 P/297385/4印度 892/MAS/86日本 还不了解美国 940506苏联 4028602.24为了在进行测量之前对工件进行对中和校平，从动装置38接受来自通迅网络45的指令并控制对中和校平马达38a，这时转盘4水平地和/或枢轴地转动。对中和校平的方法按我们专利申请所披露的方法更好一些，同时申请和在先申请这一方法的申请号为8605325和8624396的英国专利申请，发明人是ANthony Bruce Barnaby和Michael Walter MillS。
微处理器40接收来自测量电路41的数据，测量电路41是接收变换器14和三个插入器42，44和46中的一个的输出信号并将此信号数字化，这三个插入器是分别接收来自光电转换器23，21和31的信号，这三个光电转换器是分别用于检测转盘4的转速，臂10的径向(水平)移动和滑架6的垂直移动的。这三个插入器的作用是分辨光栅27，19和43的栅距的极小的数值，以提供表明转盘4、臂10和滑架6的精确的位置的数据。在最佳实施例中，插入器所提供的变换器14在径向(水平)方向位置上的分辨率大约是200毫微米，在轴向(垂直)方向大约是500毫微米，工件旋转位置的可分辨度为3孤度秒。本发明没有限定任何特别的分辨率，但是最佳的分辨率在径向和垂直方向优于1微米，旋转分辨率优于100孤度秒(最好优于10孤度秒)。如像已经指出的，变换器14最好能给出一个能分辨出触针12的顶端12a的位置优于20毫微米(最好是12毫微米)的输出信号。因此，关于触针12的偏移和在径向(R)及在垂直方向(Z)变换器14的配置以及转盘4的实际旋转位置(O)的高分辨率数据，在测量期间被连续地送给微处理器40。这些数据由微处理器40记录和存贮起来并馈送到主机22中，以便根据存贮在与主机22相连接的存贮器中的程序来执行这些数据所需的计算。
根据图5所示的结构，归纳起来该计算机系统是由三级构成。主机22代表第一级，它允许操作人员输入指令，把适当的指令送到主控制器并从数据记录器40接受数据，为了提供所需的信息，主机22完成对这些数据的计算。主控制器30代表第二级，它从主机22接受指令，按照存贮在与主控制器30相联接的存贮器中的程序传送适当的指令到各个从动装置，通过从动装置驱动器30a来完成主机指示的必要的操作。从属装置32，34，36和38以及数据记录器40代表第三级，根据存贮在与它们分别连接的存贮器中的程序，按主机22的指令，主控制器指示第三级执行更进一步的操作功能。最好主控制器的配置使得从主机22依次顺序接受的指令可以同时存贮在相连接的存贮器的不同部分，这样使得这些指令可以通过主控制器30依次起作用。
在前面已经提到的变换器14是一个线性变换器。因而，变换器14的输出信号代表了触针12偏移的程度。然而，已经指出过变换器提供了所需的分辨率的高度，例如分辨率优于20毫微米则受到它的工作范围的限制，也就是说，受到触针12的顶端12a移动范围的限制，在这范围内才能提供一个具有所需分辨率的线性输出信号，这是一个很大的限制。具体地说，具有适当的分辨率的变换器可以有一个不大于0.4毫米的范围。根据本发明所提供的一个优选的方案来克服这个问题，当接收的信息(来自于测量电路41的信号)超过一个予定的门限时，主控制器30输送一个指令到从动装置34，触发马达35转动，使得臂10移动，直至测量电路41的输出信号返回一个予定值，例如予定值是一个零值(例如在这里可以是O)。当变换器14处于使触针可在径向平面上移动的位置，且臂16是在图2所示的任一位置时，这个指令被送出。如果臂16是处于图2中的点划线的位置，则它带的触针12是水平的，如果变换器14被转到这个位置，在这位置上触针可在垂直面上移动(也就是平行于转盘4的轴)，当来自测量电路41的输出超过予定的门限时，主控制器30送出一个指令到从动装置36，使马达37被驱动。此外，在适当的情况下，为使转盘4可以旋转，主控制器30应当使得在来自变换器14的信号的控制下使马达33被驱动，当其信号超过一个予定的门限时，马达33被驱动，变换器14则沿着工件表面在水平和/或垂直方向移动。因此，在安置在转盘4上的工件转动期间，在所有的情况下，触针12都是沿着工件表面移动的。当尽可能调整适应外形变化大的工件时，可以得到高分辨率的测量结果，因为当这些变化大的外形与触针相接触时，臂10或滑架6适当地移动，这样触针的顶端总是沿着工件的表面移动，触针不会偏移到工作范围之外。主计算机22得到所需的计量信息，例如关于外形或外形误差的信息，这两种计量信息来自于从变换器14所得到的信号和来自从光转换器23、21、31和有关的插入器42、44和46得到的信号。
另一方面，由于驱动转盘4和/或臂10和/或滑架6的马达的速度变化，则使触针越过工件表面的速度也变化，以致可能形成数据的聚集，例如在一个最佳方案中，表面特征相同而半径不同的情况下，测量结果也是相等的，从而测出相等的表面宽度，并且仅依赖于所选定的表面速度。特别是，最好是在工件表面上固定距离所分割的各点取出信号，不管如何，按照下述方法，这总是可以做到的，例如工件不同部分的曲率不同，为了补偿不同的曲率，由于改变提到过的一个或多个速度，数据采集率不用改变。例如，为了达到这个目的，主控制器30从插入器42、44和46及测量电路41读出位置数据，根据接收到的这个数据以及存贮在与主控制器30连接的存贮器中的程序来改变马达的速度。
作为前述内容的一个例子，图6示出了一个凸轮50，对这个凸轮轮廓的测量是测量一个ds的距离的间隔。凸轮52部分的ds距离是在以旋转中心54为中心的半径r1上，它对着的角度是a，为了能在固定的速度下采集数据，转盘4的旋转速度将和测量凸轮53部分时不同，这里53部分的ds是在半径r2上，对着的角度是b。因此，主控制器与用于改变转盘旋转速度的程序相联，程序把各种参数加以处理，以便在被测的表面，触针在固定增益的位置上，数据可以以恒定的速率采集。为此目的，转盘的旋转速度可根据以下的公式来控制dQdt=1RV2-(dsdt+dRdt)2]]>
这里V是在横过工件表面时，变换器所需的恒定的横越速度，S是来自线性输出变换器14的信号，R是由插入器44得来的信号，插入器44的信号是来自表明变换器14的径向位置的变换器21。
图7表示平直度测量的一个最佳操作。在图7中，一个工件(图中未画出)的表面60被放置在转盘4上，触针12沿螺旋线62横越工件表面60。在转盘4旋转时，这样做导致臂10相应地径向向内或径向向外移动，不论测量是由中心，还是由表面60的边缘开始的。在一个最佳工作状态中，转盘的转动速度改变，以旋转中心起的触针距离以线性函数而变化，这就使得横越工件表面的触针的直线横越速度保持一定。来自触针12的数据在固定的时间或间隔被记录下来。另外的工作状态，如旋转速度保持一定也是可能的。
在图8中，利用触针12越过一个螺旋(螺线)轨迹66来测量表面为64的圆柱体。为此目的，在对中和找平以后，当垂直移动滑架6时，使转盘4旋转。在这一测量中，移动速度是保持一定和每次的数据在固定的时间间隔里被记录，这些固定的间隔每次都是在沿着触针越过表面所移动的轨迹的固定增量距离上记录数据。每次测量都接收到一个围绕表面64旋转的数，也就是说螺旋或螺线是多次往返的。应当注意的是，为了确定园柱体的轴，在园柱体的表面64上，触针可以旋转一个螺旋或螺线的轨迹。
在图9的例子中，用触针12往返数次而旋转一个螺旋轨迹72来测量表面为70的园锥体。为此目的，在对中和找平之后，当垂直移动滑架6和径向(水平)移动臂10时，旋转转盘4。如果触针是从表面70的相对宽的位置向相对窄的位置移动时，则径向移动方向是朝内的，反之亦然。臂10的径向移动是根据变换器14的输出信号数值来控制的，这就使得在测量过程中，触针12同园锥面70保持连续接触状态。另外，转盘4的角速度可由变换器44指出的臂10的径向位置的线性函数来控制，这使得触针越过表面70的线性速度保持恒定，数据是在固定的时间间隔被记录。
虽然描述了某些最佳的测量方法，但该装置当然也可以进行其它各种测量，例如表面的粗糙度、园度、直线度、平直度、垂直度、锥度、同轴度、平行度、有规则和无规则形状的尺寸。
在最佳实施例中，变换器的位置和/或一个或多个马达的速度是顺序地或同时地变化的，这使变换器是沿着被测件的轮廓进行测量和/或使测量可以在固定的间隔表面进行，和现有技术装置相比，本装置可以更快和更有效地实现测量。
权利要求
1.计量装置包括一个用来安放一件工件的可旋转部件(4)，用以旋转该部件的第一驱动机构(33)，在可旋转部件旋转期间为了检测安放在可旋转部件(4)上的一件工件的表面的传感器(12、14)，用来相对于工件安放部件(4)移动并支撑传感器(12、14)的部件(10)，用来使该传感器(12、14)移动的第二驱动机构(35、37)，和为了提供计量数据而处理从该传感器(12、14)得到的接收信号的数字计算机部件(22、30、40)，其特征是，该数字计算机部件(22、30、40)按照从该传感器(12、14)得到的信号来控制工件和传感器(12、14)之间的相对移动，使得该传感器沿着工件表面并根据该信号和该传感器的移动来提供计量数据。
2.按照权利要求
1所述的装置，其特征是，所说的支撑部件(10)支撑该传感器(12、14)在一个相对于该可旋转部件(4)的径向方向移动。
3.按照权利要求
1所述的装置，其特征是，所说的支撑部件(10)支撑该传感器(12、14)在一个相对于该可旋转部件(4)的轴向方向移动。
4.按照权利要求
1所述的装置，其特征是，所说的支撑部件(10)支撑该传感器(12、14)在相对于该可旋转部件(4)的径向和轴向两个方向移动。
5.按照权利要求
2或4所述的装置，其特征是，所说的该传感器(12、14)可在相对于该可旋转部件(4)的一个径向平面上检测一件工件的外形和所说的计算机部件可按照从该传感器(12、14)得到的信号去控制该第二驱动机构(35)在径向方向去移动该传感器，以使得传感器(12、14)是沿着该工件表面。
6.按照权利要求
3或4所述的装置，其特征是，所说的传感器(12、14)是用来检测平行于可旋转部件(4)的轴的工件的外形，所说的计算机部件(22、30、40)可控制该第二驱动机构(27)，按照从该传感器(12、14)得到的信号，使得该传感器(12、14)沿着工件表面在轴向方向上移动。
7.按照权利要求
4所述的装置，其特征是，所说的传感器(12、14)可选择地工作在径向平面上去检测工件外形的第一状态或在轴向平面上去检测工件外形的第二状态，该计算机部件(22、30、40)相应地去控制传感器(12。14)在径向或轴向的任一个方向上移动。
8.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的数字计算机部件的工件是根据由该传感器(12、14)得到的信号去控制第一驱动机构(33)，使得传感器(12、14)沿着该工件表面。
9.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的传感器(12、14)包括一个具有同工件表面相接触的一个顶端的触针(12)和一个在单一平面上响应于触针(12)偏移产生的信号的变换器(14)，为了从第一状态变到第二状态，该变换器(14)和触针(12)一起可旋转。
10.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，该传感器(12、14)产生一个相对于被检测表面变化为线性的输出信号。
11.按照权利要求
10所述的装置，其特征是，所说的计算机部件(22、30、40)控制该第二驱动机构(35、37)以保持该传感器(12、14)静止不动，直到其输出信号超过一予定门限。
12.按照权利要求
10或11所述的装置，其特征是，在所说的计算机部件(22、30、40)中，当其输出为一予定值时，根据所存贮的对应传感器(12、14)位置的信号提供计量数据。
13.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的传感器(12、14)具有优于20毫微米的分辨率。
14.按照权利要求
13所述的装置，其特征是，所说的传感器(12、14)可以分辨到12毫微米。
15.按照权利要求
14所述的装置，其特征是，所说的传感器(12、14)适于检测外形的变化达到0.4毫米。
16.根据上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，对传感器(12、14)位置的分辨至少在一个方向上分辨到500毫微米以内。
17.按照权利要求
16所述的装置，其特征是，在至少一个方向上传感器(12、14)的位置可被分辨到200毫微米以内。
18.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，工件安放部件(4)的旋转位置可分辨到5弧度秒以内。
19.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的传感器(12、14)适于分辨到小于20毫微米，在径向和轴向方向传感器的位置分辨到1微米以内，工件安放部件(4)的旋转位置分辨到100弧度秒以内。
20.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，传感器适于分辨到小于20毫微米，传感器的位置在径向可分辨到200毫微米以内，在轴向可分辨到500毫微米以内，工件安放部件的旋转位置可分辨到5弧度秒内。
21.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的计算机部件(22、30、40)是可控制该驱动部件(33、35、37)，使传感器(12、14)越过工件表面的横越速度保实质上的恒定。
22.按照权利要求
21所述的装置，其特征是所说的计算机部件(40)可在横越速度适当的恒定期间，在适当固定时间间隔上记录数据。
23.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，检测部件(23、21、31)用于分别检测工件安放部件(4)的旋转位置和传感器(12、14)的位置，所说的计算机部件进而也响应该检测部件(23、21、31)。
24.按照权利要求
3所述的装置，其特征是，插入器部件(42、44、46)响应于该检测部件(23、21、31)，以便从该检测部件(23、21、31)得到比上述检测部件的分辨率要高的位置数据。
25.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的计算机部件包括多个从动装置(32、34、36)，每个从动装置都控制一个各自不同的驱动部件，主计算机(30)用来对各从动计算机(32、34、36)提供指令。
26.按照权利要求
25所述的装置，其特征是，所说的计算机部件包括一个附加的计算机(30a)，通过该附加计算机(30a)，主计算机(30)与各个从动计算机(32、34、36)进行通讯。
27.按照权利要求
25或26所述的装置，其特征是，所说的计算机部件包括一个主计算机(22)，它包括人工数据输入部件(24)和给主计算机(30)提供指令根据由该人工数据输入部件(21)的输入数据去完成特殊的测量。
28.按照权利要求
25、26或27所述的装置，其特征是，所说的计算机部件包括一个用于记录计量数据的计算机(40)。
29.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的计算机部件(22、30、40)是用传感器(12.14)越过一个工件上的一个或多个螺旋轨迹来完成园柱体的测量。
30.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的计算机部件(22、30、40)是用传感器(12、14)越过工件表面的螺旋线轨迹来完成园锥体的测量。
31.按照上述任何权利要求
所述的装置，其特征是，所说的计算机部件(22、30、40)是用传感器(12、14)越过工件表面的螺旋线轨迹来完成平直性的测量。
32.计量装置包括一个工件支撑件(4)，一个用来检测在支撑件(4)的工件表面的传感器(12、14)，用来在支撑件(4)和传感器(12、14)之间引起移动以使传感器(12、14)越过工件表面的多个驱动机构(33、35、37)，以及在测量操作期间用来得到计量数据的计算机部件(22、30;32、34、36)，其特征是，计算机部件包括带有用来输入完成一个所需测量操作的指令的数据输入部件(24)和借助于该传感器(12、14)得到的数据去完成计算的主计算机(22)，用于接受来自该主计算机(22)的规定所要完成一个计量操作的指令的主计算机(30)和多个从动计算机(32、34、36)用于分别控制该驱动机构(33、35、37)，该主计算机(30)给从动计算机(32、34、36)发出指令，根据所要完成的计量操作去控制该驱动机构以完成该操作。
33.按照权利要求
32所述的装置，其特征是，一个附加计算机(40)用于记录在测量期间所得到的数据并将该记录数据传送到主计算机(22)。
34.按照权利要求
32或33所述的装置，其特征是，所说的主计算机(30)还接受来自传感器(12、14)的信息和传感器(12、14)的位置。
35.计量装置包括一个用来安放工件的可旋转部件(4)，用来旋转该部件的第一驱动机构(33)，用来在其旋转期间检测可旋转部件(4)上面的工件表面的传感器(12、14)，用来支撑该传感器(12、14)相对于该工件安放部件(4)而移动的部件(10)，第二驱动机构(35、37)用来使得传感器(12、14)移动，数字计算机部件(22、30、40)的配置使得接受自该传感器(12、14)得到的信号以提供计量数据，其特征是，该计算机部件(22、30、40)根据自该传感器(12、14)得来的信号去控制该驱动机构(33、35、37)以使得该传感器(12、14)以适当的恒定速度越过工件的表面。
专利摘要
计量装置，特别是涉及用于测量工件的外形。它有一个转盘4和一个变换器14及与之相连接的触针12，使得触针的顶端12a相对于转盘4径向和垂直移动。由于高的分辨率与大的工作范围而引起的问题是用一个具有12毫微米的分辨率和仅仅有0.4毫米工作范围的变换器/触针12，14来解决的。安装在臂10上的变换器14，由计算机30根据变换器14的输出在径向/垂直方向移动，使得触针12沿着工件表面移动。
文档编号G01B7/008GK87102434SQ87102434
公开日1987年11月25日 申请日期1987年3月4日
发明者休·罗杰斯·莱恩, 彼得·迪安·翁扬 申请人:兰克·泰勒·霍布森有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan