光学检测装置的制造方法

文档序号:9726222阅读:210来源:国知局
光学检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光学检测领域,尤其涉及一种光学检测装置。
【背景技术】
[0002]线扫描光学检测设备一般包含明场检测系统、暗场检测系统或背光检测系统,分别用于不同缺陷的检查。各系统使用的光源不同,对待测物进行检测时一般只能使用一种检测系统,以避免其他光源系统的成像干扰,造成相关缺陷不能有效检出。例如,有些缺陷在明场照明系统时可以显现,但若同时打开背光照明系统就不能显现。如果要全面检出物体各种表面缺陷,一般常采用多次不同的照明系统分开进行检测。现有的线扫描光学检测设备在进行待测物表面缺陷检查时耗时较久,设计空间需求更大,成本也更高。

【发明内容】

[0003]因此,本发明的目的之一在于提供一种光学检测系统及光学检测装置以解决现有技术中光学检测设备耗时久、设计空间大、成本高等的技术问题。
[0004]本发明提供一种光学检测装置,用于待测物体表面缺陷的检测,该光学检测装置包含彩色相机与照明系统,该彩色相机包含三组传感器,该三组传感器分别用于感知第一色光、第二色光及第三色光;以及该照明系统包含第一光源、第二光源以及第三光源,且该第一光源发出该第一色光,该第二光源发出该第二色光,该第三光源发出该第三色光;该第一光源用于明场照明,该第二光源用于暗场照明,且该第三光源用作背光源,以同时对该待测物进行明场检测、暗场检测以及背光检测。
[0005]作为进一步可选的技术方案,该第一色光、该第二色光及该第三色光选自红色光、绿色光及蓝色光,且该第一色光、该第二色光及该第三色该两两不同。
[0006]作为进一步可选的技术方案,该彩色相机为线性扫描相机。
[0007]作为进一步可选的技术方案,该光学检测系统还包含分光镜,该分光镜用于将该第一光源发出的光线分束出与该彩色相机的光轴平行的同轴光线,该同轴光线用于该明场照明。
[0008]作为进一步可选的技术方案,该光学检测系统还包含凸透镜,该凸透镜将该第三光源发出的光线折射为平行光,该平行光用作背光。
[0009]作为进一步可选的技术方案,该第一光源、该第二光源以及该第三光源为LED光源。
[0010]作为进一步可选的技术方案,该第二光源包含两组光源,且该两组光源相对该彩色相机对称。
[0011]作为进一步可选的技术方案,该第二光源为环形光。
[0012]作为进一步可选的技术方案,该光学检测装置还包含透明支撑平台,该待测物体置于该透明支撑平台上,且该第一光源与该第二光源位于该待测物体上方,该第三光源设置于该透明支撑平台下方。
[0013]作为进一步可选的技术方案,该光学检测装置还包含复数个驱动滚轮,该复数个驱动滚轮设置于该透明支撑平台的周边并支撑该透明支撑平台,该复数个驱动滚轮驱动该透明支撑平台带动该待测物体移动,以实现该待测物体的整面检测。
[0014]与现有技术相比,本发明的光学检测系统能同时使用明场、暗场和背光照明系统检测物体表面的相关缺陷,且不同照明系统对相关成像系统不形成干扰,节省了大量检测时间,且设计简单,节省设计成本。
【附图说明】
[0015]图1为本发明一实施例的光学检测装置的示意图。
【具体实施方式】
[0016]为使对本发明的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解,兹配合实施例详细说明如下。
[0017]请参考图1,图1为本发明一实施例的光学检测装置的示意图。本发明的光学检测装置100用于待测物体200表面缺陷的检测,其包含彩色相机10与照明系统,彩色相机10包含三组传感器11、12、13,三组传感器11、12、13分别用于感知第一色光、第二色光及第三色光,如传感器11仅能感知第一色光,二不能感知第二色光及第三色光,同样地,传感器12仅能感知第二色光,而不能感知第一色光及第三色光,而传感器13能感知第三色光,不能感知第一色光及第二色光。照明系统包含第一光源20、第二光源30以及第三光源40,且第一光源20发出第一色光,第二光源30发出第二色光,第三光源40发出第三色光;其中,第一光源20用于明场照明,第二光源30用于暗场照明,且第三光源40用作背光源,以同时对待测物200进行明场检测、暗场检测以及背光检测。
[0018]于一实施例中,第一色光、第二色光及第三色光选自红色光、绿色光及蓝色光,且第一色光、第二色光及第三色该两两不同,即第一色光、第二色光、第三色光可以是红绿蓝、红蓝绿、蓝绿红、蓝红绿、绿红蓝、绿蓝红等多种颜色组合。例如,第一光源20为红色光源,用于明场照明,第二光源30为绿色光源,用于暗场照明,第三光源40为蓝色光源,用于背光照明;进行光学检测时,第一光源20发出的红色光学、第二光源30发出的绿色光线以及第三光源40发出的蓝色光线分别被三组传感器11、12、13所感知而分别成像,三组传感器11、12、13与第一光源20、第二光源30及第三光源40同时进行工作而不相互干扰,从而同时实现明场检测、暗场检测及背光检测,而不需要分别进行明场检测、暗场检测机背光检测,进而减少了检测所需时间,提高了检测效率。
[0019]于一实施例中,彩色相机10为线性扫描相机,如可以是彩色线性扫描CCD相机或彩色线性扫描CMOS相机。
[0020]于一较佳实施例中,光学检测装置100还包含分光镜50,分光镜50用于将第一光源20发出的光线L1分束出与彩色相机的光轴R平行的同轴光线L11,同轴光线L11从待测物200的正上方进行照射,以用于明场检测的照明。但不以此为限,分光镜50亦可以棱镜替代,视实际设计需求而定。
[0021]于一具体实施例中,光学检测系统100还包含凸透镜60,凸透镜60将第三光源40发出的光线L3折射为平行光L33,平行光L33用作背光,从而提高了第三光源40的利用率。
[0022]优选的,第一光源20、第二光源30以及第三光源40为LED光源;当然,第一光源20、第二光源30以及第三光源40亦可以是其它单色光源或非单色光远转化为单色光源,如在卤素灯前加滤镜使其转化为单色光,但不以此为限。
[0023]于一较佳实施例中,第二光源30包含两组光源31、31,且两组光源31、32相对彩色相机10对称,从而为光学检测提供均匀的暗场照明。
[0024]于一较佳实施例中,第二光源30为环形光,以提高光源照射强度及均匀性。
[0025]于一实施例中,光学检测装置100还包含透明支撑平台70,待测物体200置于透明支撑平台70上,且第一光源20与第二光源30位于待测物体200上方,第三光源40设置于透明支撑平台70下方,第三光源40发出的光线L3透过透明支撑平台70照射到待测物体200的背面,以进行背光检测。
[0026]于一实施例中,光学检测装置100还包含复数个驱动滚轮(未绘示),复数个驱动滚轮设置于透明支撑平台70的周边并支撑透明支撑平台70,复数个驱动滚轮驱动该明支撑平台70带动待测物体200移动,以实现待测物体200上不同位置的检测,从而达到对待测物体200的整面检测。
[0027]本发明已由上述相关实施例加以描述,然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是,已揭露的实施例并未限制本发明的范围。相反地,在不脱离本发明的精神和范围内所作的更动与润饰,均属本发明的专利保护范围。
【主权项】
1.一种光学检测装置,用于待测物体表面缺陷的检测,该光学检测装置包含彩色相机与照明系统,其特征在于, 该彩色相机包含三组传感器,该三组传感器分别用于感知第一色光、第二色光及第三色光;以及 该照明系统包含第一光源、第二光源以及第三光源,且该第一光源发出该第一色光,该第二光源发出该第二色光,该第三光源发出该第三色光; 其中,该第一光源用于明场照明,该第二光源用于暗场照明,且该第三光源用作背光源,以同时对该待测物进行明场检测、暗场检测以及背光检测。2.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,该第一色光、该第二色光及该第三色光选自红色光、绿色光及蓝色光,且该第一色光、该第二色光及该第三色该两两不同。3.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,该彩色相机为线性扫描相机。4.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,该光学检测系统还包含分光镜,该分光镜用于将该第一光源发出的光线分束出与该彩色相机的光轴平行的同轴光线,该同轴光线用于该明场照明。5.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,该光学检测系统还包含凸透镜,该凸透镜将该第三光源发出的光线折射为平行光,该平行光用作背光。6.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,该第一光源、该第二光源以及该第三光源为LED光源。7.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,该第二光源包含两组光源,且该两组光源相对该彩色相机对称。8.如权利要求7所述的光学检测装置,其特征在于,该第二光源为环形光。9.如权利要求1所述的光学检测装置,其特征在于,该光学检测装置还包含透明支撑平台,该待测物体置于该透明支撑平台上,且该第一光源与该第二光源位于该待测物体上方,该第三光源设置于该透明支撑平台下方。10.如权利要求9所述的光学检测装置,其特征在于,该光学检测装置还包含复数个驱动滚轮,该复数个驱动滚轮设置于该透明支撑平台的周边并支撑该透明支撑平台,该复数个驱动滚轮驱动该透明支撑平台带动该待测物体移动,以实现该待测物体的整面检测。
【专利摘要】本发明提供一种光学检测装置,用于待测物体表面缺陷的检测,该光学检测装置包含彩色相机与照明系统,该彩色相机包含三组传感器,该三组传感器分别用于感知第一色光、第二色光及第三色光;该照明系统包含第一光源、第二光源以及第三光源,且该第一光源发出该第一色光,该第二光源发出该第二色光,该第三光源发出该第三色光;该第一光源用于明场照明,该第二光源用于暗场照明,且该第三光源用作背光源,以同时对该待测物进行明场检测、暗场检测以及背光检测。本发明的光学检测系统能同时使用明场、暗场和背光照明系统检测物体表面的相关缺陷,节省了大量检测时间,且设计简单,节省设计成本。
【IPC分类】G01N21/88
【公开号】CN105486690
【申请号】CN201510976340
【发明人】杨凯峰
【申请人】苏州精濑光电有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月23日
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