一种用于ebsd测试的样品台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种试验器具，具体涉及一种用于EBSD测试的样品台。
【背景技术】
[0002]在扫描电子显微镜(SEM)中，入射于样品上的电子束与样品作用产生几种不同效应，其中之一就是在每一个晶体或晶粒内规则排列的晶格面上产生衍射。从所有原子面上产生的衍射组成“衍射花样”，这可被看成是一张晶体中原子面间的角度关系图。20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(Electron BackscatteredDiffract1n，简称 EBSD)或取向成像显微技术(Orientat1n Imaging Microscopy，简称OIM)等。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射(给出结晶学的数据)。
[0003]EBSD是目前常用的材料表征手段，测试过程中样品在垂直方向需倾斜70°，而且要求样品在水平方向不能倾斜。目前测试过程中是将样品用导电胶(或银胶)粘在样品台上。对于重量小的样品，尽需要将样品水平方向尽量与探头平行即可。而对于较重的样品，由于是倾斜70°，用传统的方法，样品在测试过程中会出现移动，图像位置容易发生改变，背散射区域发生偏移，使试验结果不准确，导致试验失败。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型为解决现有EBSD测试过程中会出现移动，导致最终图像漂移，试验失败的问题，进而提出一种用于EBSD测试的样品台。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是:本实用新型包括支撑台和两个定位块，支撑台的形状为楔形，支撑台的下端面水平设置，支撑台的上端面与下端面之间的夹角为20°，支撑台的上端面的两侧分别垂直固接有一个定位块，两个定位块分别对称设置在支撑台的小端。
[0006]本实用新型的有益效果是:本实用新型解决了样品由于重量导致的漂移，以及样品水平方向不平行的问题。试验过程中，由于有支撑台，重量对测试不会造成影响；支撑台在设计中加入样品的70°倾斜，SEM样品台不需倾转，保证样品不会在重力的作用下发生偏移；可确保样品水平方向与探头平行，保证试验的稳定性。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的整体结构示意图；图2是本实用新型中支撑台I的主视图；图3是图2的俯视图；图4是图2的左视图；图5是本实用新型中滑台3和滑块3-1的连接关系的主视图；图6是图5的俯视图。
【具体实施方式】
[0008]【具体实施方式】一:结合图1至图6说明，本实施方式所述一种用于EBSD测试的样品台包括支撑台I和两个定位块2，支撑台I的形状为楔形，支撑台I的下端面水平设置，支撑台I的上端面与下端面之间的夹角为20°，支撑台I的上端面的两侧分别垂直固接有一个定位块2，两个定位块2分别对称设置在支撑台I的小端。
[0009]如此设计在试验时，将样品放置在支撑台I的上端面上，支撑台I上的两个定位块2挡在样品的一侧，防止样品在重力的作用下发生偏移，保证了位置精度，保证成像效果，提高了试验的成功率。
[0010]【具体实施方式】二:结合图1至图6说明，本实施方式所述一种用于EBSD测试的样品台还包括滑台3，滑台3设置在支撑台I的上端面上的两个定位块2之间，滑台3的形状为矩形，滑台3的左右两端分别设有滑块3-1，两个定位块2的内侧沿支撑台I上端面的宽度方向分别设有滑槽2-1，滑块3-1分别插装在滑槽2-1中，滑台3与两个定位块2滑动连接。其它组成和连接方式与【具体实施方式】一相同。
[0011]如此设计滑台3可以在支撑台I的上端面上的一定范围内移动，滑台3挡在样品的一侧，防止样品在重力的作用下发生偏移，调整滑台3的位置，可以根据需要调整样品的位置，测试多种不同尺寸的样品。
[0012]【具体实施方式】三:结合图1至图6说明，本实施方式所述一个定位块2的侧面沿支撑台I的长度方向设有螺纹通孔2-2，螺纹通孔2-2中设有锁紧螺栓，锁紧螺栓的末端与滑台3的一侧端面配合。其它组成和连接方式与【具体实施方式】二相同。
[0013]如此设计用锁紧螺栓将滑台3锁紧，防止滑台3的位置发生偏移，从而导致样品偏移，影响试验效果。
[0014]【具体实施方式】四:结合图1至图6说明，本实施方式所述滑块3-1的形状为楔形，滑块3-1的大端与滑台3两端的下侧固接，滑槽2-1的形状为楔形，滑槽2-1的大端朝向定位块2的外侧，滑槽2-1设置在定位块2内侧的下部。其它组成和连接方式与【具体实施方式】二或三相同。
[0015]【具体实施方式】五:结合图1至图6说明，本实施方式所述支撑台I的第一长度LI为20mm?80mm，支撑台I的第一宽度Wl为1mm?40mm，定位块2的第二长度L2为5mm?20mm，定位块2的第二宽度W2为2mm?8mm，定位块2的第一高度Hl为3mm?8mm，滑台3的第三长度L3为16mm?64mm，滑台3的第三宽度W3为5mm?20mm，滑台3的第二高度H2为6mm?16_。其它组成和连接方式与【具体实施方式】四相同。
[0016]【具体实施方式】六:结合图1至图6说明，本实施方式所述支撑台I的第一长度LI为32mm，支撑台I的第一宽度Wl为14mm，定位块2的第二长度L2为7mm，定位块2的第二宽度W2为4mm，定位块2的第一高度Hl为5mm，滑台3的第三长度L3为24mm，滑台3的第三宽度W3为8mm，滑台3的第二高度H2为10mm。其它组成和连接方式与【具体实施方式】五相同。
【主权项】
1.一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:所述一种用于EBSD测试的样品台包括支撑台(I)和两个定位块(2)，支撑台(I)的形状为楔形，支撑台(I)的下端面水平设置，支撑台(I)的上端面与下端面之间的夹角为20°，支撑台(I)的上端面的两侧分别垂直固接有一个定位块(2)，两个定位块(2)分别对称设置在支撑台(I)的小端。2.根据权利要求1所述一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:所述一种用于EBSD测试的样品台还包括滑台(3)，滑台(3)设置在支撑台(I)的上端面上的两个定位块(2)之间，滑台(3)的形状为矩形，滑台(3)的左右两端分别设有滑块(3-1)，两个定位块(2)的内侧沿支撑台(I)上端面的宽度方向分别设有滑槽(2-1)，滑块(3-1)分别插装在滑槽(2-1)中，滑台(3)与两个定位块(2)滑动连接。3.根据权利要求2所述一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:所述一个定位块(2)的侧面沿支撑台(I)的长度方向设有螺纹通孔(2-2)，螺纹通孔(2-2)中设有锁紧螺栓，锁紧螺栓的末端与滑台(3)的一侧端面配合。4.根据权利要求2或3所述一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:所述滑块(3-1)的形状为楔形，滑块(3-1)的大端与滑台(3)两端的下侧固接，滑槽(2-1)的形状为楔形，滑槽(2-1)的大端朝向定位块(2)的外侧，滑槽(2-1)设置在定位块(2)内侧的下部。5.根据权利要求4所述一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:所述支撑台(I)的第一长度(LI)为20mm?80mm，支撑台(I)的第一宽度(Wl)为1mm?40mm，定位块(2)的第二长度(L2)为5mm?20mm，定位块⑵的第二宽度(W2)为2mm?8mm，定位块⑵的第一高度(Hl)为3mm?8mm，滑台(3)的第三长度(L3)为16mm?64臟，滑台(3)的第三宽度(W3)为5mm?20mm，滑台(3)的第二高度(H2)为6mm?16mm。6.根据权利要求5所述一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于:所述支撑台(I)的第一长度(LI)为32mm，支撑台⑴的第一宽度(Wl)为14_，定位块⑵的第二长度(L2)为7mm，定位块⑵的第二宽度(W2)为4mm，定位块⑵的第一高度(Hl)为5mm，滑台(3)的第三长度(L3)为24mm，滑台(3)的第三宽度(W3)为8mm，滑台(3)的第二高度(H2)为10mnin
【专利摘要】一种用于EBSD测试的样品台。本实用新型涉及一种试验器具，具体涉及一种用于EBSD测试的样品台。本实用新型为解决现有EBSD测试过程中会出现移动，导致最终图像漂移，试验失败的问题。一种用于EBSD测试的样品台包括支撑台和两个定位块，支撑台的形状为楔形，支撑台的下端面水平设置，支撑台的上端面与下端面之间的夹角为20°，支撑台的上端面的两侧分别垂直固接有一个定位块，两个定位块分别对称设置在支撑台的小端。本实用新型用于EBSD测试。
【IPC分类】G01N23/203
【公开号】CN204694653
【申请号】CN201520449394
【发明人】曹国剑, 王令双, 范国华, 唐光泽
【申请人】哈尔滨理工大学
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年6月26日