一种探针卡的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种探针卡，应用于微电子技术领域。
【背景技术】
[0002]微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子技术中，半导体硅片在完成所有制程工艺后，需要针对硅片上的各种测试结构进行电性测试，gp晶片允收测试(WAT测试，Wafer Acceptance Test)。通过对WAT数据的分析，可以发现半导体制程工艺中的问题，帮助制程工艺进行调整。通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作显得非常重要。现有技术的探针台向下凹陷，形成与探针卡相对应的圆槽，即探针卡放置区域。为了方便取放探针卡，在圆槽边缘上设置有凹槽，同时，在圆槽底部设置有凸起的固定点，用于固定探针卡。由于凹槽的深度与探针卡的厚度相同，同时探针卡表面没有把手或其他着力点，使得探针卡的取放非常不方便，还容易将置于探针卡及探针台之间的防漏电纸连带取出，需要花费大量时间和精力重新放置，也可能造成防漏电纸被撕坏，导致更多的颗粒污染。而且，在将探针卡通过固定点固定时，只能通过凹槽调节位置，非常不便。采用现有技术，在取放探针卡时需要花费大量的时间和精力，工作效率低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种能够进行快速、便捷取放的探针卡。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案予以实现:一种探针卡，包括PCB基板和取放杆，所述PCB基板上设置有连接孔，所述连接孔与取放杆连接。
[0005]优选的，所述取放杆与连接孔采用可拆卸式连接或固定连接。
[0006]优选的，所述连接孔的数量为2个，分别位于PCB基板中心的两侧。
[0007]优选的，所述取放杆采用截面为T形的柱体。
[0008]进一步的，所述柱体包括连接在一起的下圆柱和上圆柱，所述下圆柱直径与连接孔直径相互固定配合。
[0009]进一步的，所述下圆柱直径为3?5mm，高度为10?12mm，所述上圆柱直径为13?15mm,高度为5?7mm0
[0010]优选的，所述PCB基板上设置有PCB线路和探针，所述探针和PCB线路连接且分别位于PCB基板的两个面上，所述PCB基板上设置有固定孔，所述固定孔与探针台上的固定件相对应。
[0011]进一步的，所述固定孔和连接孔与PCB线路彼此独立。
[0012]进一步的，所述固定孔的数量为2个，分别位于PCB基板中心的两侧。
[0013]优选的，所述取放杆采用有机玻璃材料。
[0014]与现有技术相比，本实用新型的探针卡在PCB基板的连接孔上连接取放杆，通过取放杆连接整个探针卡，在取放探针卡时，只需要通过取放杆进行施力，即可带动整个探针卡进行移动，也可以通过取放杆调整探针卡的位置。本实用新型结构简单，操作方便，节省了取放探针卡的时间和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型一实施例中探针台的结构示意图；
[0016]图2是本实用新型一实施例中柱体的结构示意图；
[0017]图3是本实用新型一实施例中柱体的结构示意图。
[0018]图中所示:10、PCB基板；20、取放杆；21、上圆柱；22、下圆柱；30、固定孔。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图对本实用新型作详细描述:
[0020]如图1所示，本实用新型的探针卡，包括PCB基板10、PCB线路、探针和取放杆20，所述PCB基板10上设置有PCB线路和探针，所述探针和PCB线路连接且分别位于PCB基板10的两个面上，所述PCB基板10上设置有固定孔30和连接孔，所述固定孔30与探针台上的固定件相对应，所述连接孔与取放杆20连接。所述固定孔30的数量为2个，分别位于PCB基板10中心的两侧。所述连接孔的数量为2个，分别位于PCB基板10中心的两侧。在测试时，探针卡固定放置在探针台上，PCB线路面朝上，与周边测试仪器连接，探针面朝下，与晶圆上的集成电路接触连接，共同构成晶片允收测试的电路。
[0021]本实用新型的探针卡在PCB基板10的连接孔上连接取放杆20，通过取放杆20连接整个探针卡，在取放探针卡时，只需要通过取放杆20进行施力，即可带动整个探针卡进行移动，也可以通过取放杆20调整探针卡的位置。本实用新型在现有探针卡的基础上增加一个简单的部件，不需要现有探针卡作出较大的变动，即可通过取放杆20实现探针卡快速、便捷的取放，而且，取放杆20结构小巧，价格便宜，占用空间小，移动方便。本实用新型结构简单，操作方便，节省了取放探针卡的时间和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。
[0022]较佳的，所述取放杆20与连接孔采用可拆卸式连接或固定连接，例如可以采用螺纹连接或者胶粘等方式连接。在使用时，将取放杆20和连接孔固定连接在一起，进行探针卡的取放操作。使用完后，将取放杆20和连接孔拆开，分开放置在各自的位置，便于移动和存储，节省空间。
[0023]采用取放杆20与连接孔固定连接，使取放杆20与探针卡连接为一个整体，牢固可
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[0024]参照图2和图3所示，较佳的，所述取放杆20采用截面为Τ形的柱体。所述柱体包括连接在一起的下圆柱22和上圆柱21，所述下圆柱22直径与连接孔直径相互固定配合。进一步的，所述下圆柱直径为3?5mm，高度为10?12mm，所述上圆柱直径为13?15mm，高度为5?7mm。
[0025]采用上述技术，通过下圆柱22与连接孔固定配合，使取放杆20与PCB基板10连接在一起，通过上圆柱21进行施力，便于取放探针卡的操作。上圆柱21的直径大于下圆柱22的直径，使取放探针卡的操作更加平稳。
[0026]较佳的，所述固定孔30和连接孔与PCB线路彼此独立。
[0027]采用上述技术，固定孔30和连接孔与PCB线路彼此独立，避免了固定孔30和连接孔以及取放杆20对PCB线路的干扰影响，保证了整个晶片允收测试电路的稳定正常。
[0028]较佳的，所述取放杆20采用塑料材料。进一步的，所述取放杆20采用有机玻璃材料。
[0029]采用上述技术，有机玻璃(PMMA，Polymethyl methacrylate)具有较好的透明性，化学稳定性，力学性能和耐候性，易染色，易加工，外观优美等优点。取放杆20采用有机玻璃材料，价格低廉，性质稳定，且不会对铜卡和妈卡造成任何污染。
[0030]参照图1所示，下面将详细说明本实用新型的工作过程:
[0031]开始时，通过探针卡上的取放杆20，将待安装的探针卡移动到探针台位置，将探针卡上的固定孔30对准探针台上的固定件放下，使探针卡固定放置在探针台上。
[0032]如果探针卡上的固定孔30没有完全对准探针台的固定件，可以通过探针卡上的取放杆20，调整探针卡的位置，直到探针卡固定在探针台上。探针卡放置过程完成。
[0033]同样的，通过探针卡上的取放杆20，将探针卡从探针台上取下，更换为新的探针卡，探针卡的取换过程完成。
[0034]在探针卡固定放置好后，移动探针台，使探针卡的下表面的探针与待测试晶圆接触连接，上表面的PCB线路与周边测试仪器连接，即可实现对待测试晶圆的晶片允收测试。
【主权项】
1.一种探针卡，其特征在于，包括PCB基板和取放杆，所述PCB基板上设置有连接孔，所述连接孔与取放杆连接。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述取放杆与连接孔采用可拆卸式连接或固定连接。3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述连接孔的数量为2个，分别位于PCB基板中心的两侧。4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述取放杆采用截面为T形的柱体。5.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述柱体包括连接在一起的下圆柱和上圆柱，所述下圆柱直径与连接孔直径相互固定配合。6.根据权利要求5所述的探针卡，其特征在于，所述下圆柱直径为3?5mm，高度为10?12mm，所述上圆柱直径为13?15mm，高度为5?7mm。7.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述PCB基板上设置有PCB线路和探针，所述探针和PCB线路连接且分别位于PCB基板的两个面上，所述PCB基板上设置有固定孔，所述固定孔与探针台上的固定件相对应。8.根据权利要求7所述的探针卡，其特征在于，所述固定孔和连接孔与PCB线路彼此独立。9.根据权利要求7所述的探针卡，其特征在于，所述固定孔的数量为2个，分别位于PCB基板中心的两侧。10.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述取放杆采用有机玻璃材料。
【专利摘要】本实用新型公开了一种探针卡，包括PCB基板和取放杆，所述PCB基板上设置有连接孔，所述连接孔与取放杆连接。本实用新型的探针卡在PCB基板的连接孔上连接取放杆，通过取放杆连接整个探针卡，在取放探针卡时，只需要通过取放杆进行施力，即可带动整个探针卡进行移动，也可以通过取放杆调整探针卡的位置。本实用新型结构简单，操作方便，节省了取放探针卡的时间和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。
【IPC分类】G01R1/067
【公开号】CN204989257
【申请号】CN201520793943
【发明人】谢翠萍, 莫保章, 王靓
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年10月14日