一种金相表面处理仪的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及金相表面处理领域，具体为一种金相表面处理仪。
【背景技术】
[0002]作为现代电子信息工业的重要元件一PCB(印制电路板)，集成电路的电气互连及装配离不开它；高新技术产品要靠它连接各类电子元器件和实现电气互连。可以说如果没有PCB今天将没有手提电话、计算机、因特网、GPS、医学上的CT等等。而PCB的质量关系到电子设备稳定性和电子仪器的准确度。如果PCB和电子元件组装后才发现电子产品的质量问题，就会浪费掉大量的材料和人工费用，所以有必要在PCB装上元件前对其质量做出评判，而对PCB产品检测最可靠的是金相剖切检测。为了对PCB的质量进行监控，专门开发了用于PCB质量检查的金相表面处理仪。
【发明内容】
[0003]本实用新型目的在于，克服现有技术中的不足，提供一种可用于PCB质量检查的金相表面处理仪，对PCB微切片进行表面处理，使PCB微切片的金相显微组织图像清晰，易于观察。
[0004]本实用新型提供了一种用于金相表面处理的金相表面处理仪，包括真空栗、真空系统、高压电源与数显电阻真空表。所述真空栗、高压电源、数显电阻真空表分别与真空系统相连。
[0005]前述的金相表面处理仪，其中所述的高压电源还与数显电阻真空表相连。
[0006]前述的金相表面处理仪，其中所述的真空系统包括高压电源接头、变径接头、真空观察窗、真空清洗腔、真空微调阀、三通、放空阀、卡箍、手动角阀、电阻真空规、真空栗连接软管。
[0007]前述的金相表面处理仪，其特征在于，所述高压电源包括定时器。
[0008]前述的金相表面处理仪，其特征在于，所述数显电阻真空表控制高压电源与计时器。
[0009]综上所述，本实用新型具有诸多的优点及实用价值，并未见有类似的设计公开发表或使用而确属创新，其在技术上有较大的进步，并产生了实用的效果，且具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
[0010]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
[0011 ]本实用新型的具体操作方法由以下实施例及其附图详细给出。
【附图说明】
[0012]图1是金相表面处理仪构架示意图。
[0013]图2是真空系统结构示意图。其中，1高压电源接头、2变径接头、3真空观察窗、4真空清洗腔、5真空微调阀、6三通、7放空阀、8卡箍、9手动角阀、10电阻真空规、11真空栗连接软管。
【具体实施方式】
[0014]为了使要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的【具体实施方式】仅仅用以解释本实用新型，并不限制本实用新型。
[0015]金相表面处理仪为桌上型设施，由图1见金相表面处理仪主要由旋片式真空栗、真空系统、高压电源、数显电阻真空表四部分组成，真空系统的构成详细见图2。
[0016]真空清洗腔内部样品固定架用来固定样品，样品为金相显微薄片，直径为20mm-25mm，位于中心位置，在电极前面10mm。当样品架与整个真空清洗腔的电势为大地电势时，电极用作辉光放电的阴极(负电位)。金相表面处理仪的工作气体为空气，其进口由真空微调阀5控制。采用双级旋片式真空栗进行排空。而数显电阻真空表控制着高压电源与定时器。定时器决定启动、终止刻蚀过程。
[0017]真空微调阀5的标准操作参数设置:金相表面处理仪的刻蚀的最佳压力为22Pa;将空样品架放入真空清洗腔4内，关上盖子、关闭放气阀7 ；打开真空微调阀的闸板，手动关闭高压电源，打开装置的总开关电源、打开角阀9;调节真空微调阀，栗送5分钟后，箱内的真空度达到17Pa;样品架放上样品后，短时间内，足够达到22Pa或稍小的压力。
[0018]数显电阻真空表控制着高压电源与计时器。箱内的压力到达22Pa时，数显电阻真空表输出一个接通信号给定时器，当高压电源的启动按钮按下时，定时器将高压电源的高压输出启动。
[0019]高压电源将真空箱中的电极对地的电势设置为负值。高压电源外壳、以及真空腔(包括样品架)为大地电位。高压输出与真空室中负极真空引出线与同轴高频电缆相连。由于高压电源完全由电源开关、真空计与定时器控制，为了正常运行，必须打开电源开关与按下高压启动的绿色按钮。高压电源电压指示表标准单位为V，电流指示表标准单位为mA。系统在常压模式运行时，表面处理过程中，可能需要手动调节电压，使处理电流保持在3mA左右。保持3mA处理电流需要的电压取决于样品架中的显微切片，电压的范围一般在1200V与1500V之间。由于设置了电流调节电位器，可以对电流限流器调节。逆时针旋转电位计减小最大允许电流，顺时针旋转电位计增加限流。只要电压不足以到达电流极限值，系统在常压模式工作。达到电流极限后，系统切换至恒流模式，即使进一步顺时针调节电压调节电位器，电压也不会升高。为了更加简便地操作金相表面处理仪，推荐调节电流电位器将电流限制到3mA，旋转电压调节电位器预选，将电压调到至少1200V。为便用安全，刻蚀完后可逆时针旋转电压调节电位器到底令输出高压为0V。
[0020]第一次运行金相表面处理仪之前，必须在栗中加满特殊工作油。因为栗的振动可能干扰其它周边设备，因此推荐将金相表面处理仪放置在桌面上，与显微镜或其它精密设备隔离。
[0021]环境温度必须在+5°C到+40°C的范围之内，温度达到+30°C时，相对湿度应低于80 %，超过+30°C时，相对湿度不大于50 %。不要将金相表面处理仪放置在可燃性、腐蚀性气体/液体、大量灰尘或油或其它溶剂溅出的环境中，也不要在上述环境中运行。
[0022]将电源电缆接到附近的壁装电源插座上，使数显电阻真空表、旋片式真空栗、高压电源位于正常“开”的位置，整套装置由总开关控制启闭。放气阀与真空微调阀关闭时，栗送5分钟后，空箱(放有样品架，但没有样品)应能达到4Pa左右的压力。
[0023]拿开真空观察窗3;取出样品固定架，打开样品架，放入显微切片，然后关闭样品架。切片被一支弹簧压紧在样品架的挡板上。将样品架滑入真空清洗腔的插槽，盖上真空观察窗。确保放气阀7与手动角阀9已经关闭。打开设备的总电源开关;打开角阀9排空箱体，数显电阻真空表显示清洗腔内的实际压力。当达到真空表的设置点即22P后，定时器启动高压电源，产生辉光放电。经过3分钟(该刻蚀时间可根据需要设置，3分钟为推荐时间)后定时器关闭高压电源。
[0024]刻蚀过程中，金相表面处理仪的电流应为3mA左右。电流显示在高压电源面板上。适当调整电压调节电位器旋钮，可使电流保持在3mA。
[0025]刻蚀另一切片时:关闭角阀9;打开放气阀7，放气完毕后，关闭。继续上述步骤。
[0026]不再刻蚀另一切片时:关闭设备的总电源开关;打开放气阀7，放气完毕后，关闭。关闭角阀9;取出样品，将样品架放回原位，盖上真空观察窗，使用光学显微镜检查切片。
[0027]真空清洗腔4必须洁净，没有灰尘，特别是顶部法兰与盖子的垫片。必要时，采用柔软、无尘布浸过酒精之后擦洗。通向进气口与栗的杆不能堵塞。真空微调阀5的进气口与放气阀7的进气口必须清洁、无尘或异物颗粒。不允许任何液体、溶剂、腐蚀性物质、油、或异物颗粒进入电阻真空计。
[0028]更换(重新制作)电极时，从壁式插座上断开金相表面处理仪的总电源开关，打开真空箱，取出样品架，用手指拧下电极。将新的或重新制作的电极拧到高压引线上。
[0029]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种金相表面处理仪，其特征在于，包括真空栗、真空系统、高压电源与数显电阻真空表，所述真空栗、高压电源、数显电阻真空表分别与真空系统相连。2.如权利要求1所述的金相表面处理仪，其特征在于，所述高压电源还与数显电阻真空表相连。3.如权利要求1所述的金相表面处理仪，其特征在于，所述真空系统包括高压电源接头、变径接头、真空观察窗、真空清洗腔、真空微调阀、三通、放空阀、卡箍、手动角阀、电阻真空规、真空栗连接软管。4.如权利要求1所述的金相表面处理仪，其特征在于，所述高压电源包括定时器。5.如权利要求1所述的金相表面处理仪，其特征在于，所述数显电阻真空表控制高压电源与计时器。
【专利摘要】本实用新型涉及金相表面处理领域，具体为一种金相表面处理仪，解决现有技术中对PCB(印制电路板)微切片进行表面处理的问题，使PCB微切片的金相显微组织图像清晰，易于观察。该金相表面处理仪包括旋片式真空泵、真空系统、高压电源与数显电阻真空表，其中旋片式真空泵、高压电源、数显电阻真空表分别与真空系统相连，高压电源还与数显电阻真空表相连。本实用新型采用旋片式真空泵进行排空，利用数显电阻真空表控制高压电源与定时器，当真空系统内压力达到22Pa后，定时器启动高压电源，产生辉光放电，从而对样品进行刻蚀。
【IPC分类】G01N1/32, G01N1/34
【公开号】CN205157283
【申请号】CN201520692041
【发明人】关健荣, 关自强
【申请人】广州欣镁达仪器设备有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年9月8日