检验对象的系统的制作方法
【专利摘要】本申请涉及检验对象的系统。检验对象的系统可包括感测模块；分束器；物镜；明场照射模块，配置为生成第一预定义参数的明场光束且将明场光束导向分束器；暗场照射模块，配置为生成第二预定义参数的第一暗场光束且将第一暗场光束导向对象；第一预定义参数和第二预定义参数有差别；分束器配置为(a)向对象反射明场光束；(b)接收明场光束的反射，(c)将明场光束的反射导向物镜，(d)接收第一暗场光束的反射，(e)将第一暗场光束的反射导向物镜；物镜配置为将第一暗场光束的反射和明场光束的反射导向感测模块；感测模块配置为基于第一预定义参数和第二预定义参数的差别区分第一暗场光束的反射和明场光束的反射。
【专利说明】检验对象的系统
[0001]相关申请
[0002]本申请要求2014年12月18日提交的美国临时专利62/093，477的优先权，其以引用的方式并入本文。
技术领域
[0003]本实用新型涉及，但不限于一种用于检验对象的系统。
【背景技术】
[0004]许多光学和视觉检验系统对被检验对象使用多个照射源。显微镜中的常见示例，AOI机器和验证系统使用暗场源和明场源二者，其中暗场源从斜角或从侧面照射对象，并且明场源从上方(即，与成像路径同轴)照射对象。有时它们一起使用来形成具有宽的角度覆盖范围的均匀照明。一些其他时间，仅其中一个源被使用，以便显示某些方面，例如，暗场照射只强调表面的不规则，而明场强调变色，诸如铜氧化。
[0005]在另一个示例中，照射PCB层中的光亮的金属导体形成高度依赖于入射光角度和局部表面法线方向的镜面反射。明场光主要从导体的水平面上平坦的部分被反射，而暗场光主要从它的斜边和由表面的不规则被反射。
[0006]因此遵循的是，存在包括在选择性照射图像中的每一个中的、关于被检验对象的几何形状、形貌、材料和可能的缺陷的潜在丰富信息。
[0007]然而，为了最大化吞吐量且确保对象的完全覆盖，AOI系统通常在单个扫描中同时使用全部照射源，丢失一些只来自选择性照射图像的可用信息。
[0008]因此，对于AOI系统将有利的是，其能够同时生成多个这样的图像同时仍然执行仅单个扫描。
【实用新型内容】
[0009]可以提供系统和方法。
[0010]该系统可以包括感测模块、分束器、物镜、明场照射模块和暗场照射模块，该明场照射模块被配置为生成第一预定义参数的明场光束并将明场光束导向光学模块，该光学模块包括分束器和物镜;该暗场照射模块被配置为生成第二预定义参数的第一暗场光束并且将第一暗场光束导向对象;其中第一预定义参数和第二预定义参数之间有差别；其中光学模块被配置为(a)朝向对象反射明场光束；(b)接收明场光束的反射，(C)接收第一暗场光束的反射，(d)将第一暗场光束的反射和明场光束的反射导向感测模块;并且其中感测模块被配置为基于第一预定义参数和第二预定义参数之间的差别区分第一暗场光束的反射和明场光束的反射。
[0011]该系统可以用于检验对象，该系统可以包括感测模块、分束器、物镜、明场照射模块和暗场照射模块，该明场照射模块可以被配置为生成第一预定义参数的明场光束并且将该明场光束导向分束器;该暗场照射模块可以被配置为生成第二预定义参数的第一暗场光束并且将该第一暗场光束导向对象；其中第一预定义参数和第二预定义参数之间可有差另IJ;其中分束器可以被配置为(a)朝向对象反射明场光束；(b)接收明场光束的反射，(C)将明场光束的反射导向物镜，(d)接收第一暗场光束的反射，(e)将第一暗场光束的反射导向物镜;其中物镜可以被配置为将第一暗场光束的反射和明场的光束的反射导向感测模块；并且其中感测模块可以被配置为基于第一预定义参数和第二预定义参数之间的差别而区分第一暗场光束的反射和明场光束的反射。
[0012]感测模块可以包括偏振照相机，并且其中，对于偏振的第一预定义参数和第二预定义参数彼此不同。
[0013]感测模块可以包括照相机，分析器可在所述照相机之前，并且其中，对于偏振的第一预定义参数和第二预定义参数彼此不同。
[0014]感测模块可以包括分析器;其中分析器可以包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中第一类型的分析器区域经过明场光束的反射;并且其中第二类型的分析器区域经过第一暗场光束的反射。
[0015]多个分析器区域可以是条带状。
[0016]多个分析器区域可以是矩形。
[0017]分析器区域中的两个或更多个分析器区域的形状和/或大小可以彼此不同。
[0018]暗场照射模块可以被配置为生成第三预定义参数的第二暗场光束并且将第二暗场光束导向对象;其中第三预定义参数与第一和第二预定义参数的每一个可以都不同；其中分束器还可以被配置为接收第二暗场光束的反射并且将第二暗场光束的反射导向物镜；其中物镜还可以被配置为将第二暗场光束的反射导向感测模块;并且其中感测模块可以被配置为基于第一预定义参数、第二预定义参数和第三预定义参数之间的差别而区分第一暗场光束的反射、第二暗场光束的反射以及明场光束的反射。
[0019]感测模块可以包括分析器;其中分析器可以包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中第一类型的分析器区域使明场光束的反射通过;并且其中第二类型的分析器区域使第一暗场光束的反射通过。
[0020]感测模块可以包括多个照相机、分配模块以及多个分析器，其中分析器可在每个照相机之前;并且其中分配模块可以被配置为将第一暗场光束的反射、第二暗场光束的反射以及明场光束的反射分配到多个分析器。
[0021]多个分析器中的每个分析器可以包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中第一类型的分析器区域使明场光束的反射通过;并且其中第二类型的分析器区域使第一暗场光束的反射通过。
[0022]多个分析器区域可以是条带状。
[0023]多个分析器区域可以是矩形。
[0024]分析器区域中的两个或更多个分析器区域的形状和/或大小彼此不同。
[0025]多个分析器中的不同分析器可以被配置为使出自第一暗场光束的反射、第二暗场光束的反射以及明场光束的反射的不同的光束通过。
[0026]该方法可以包括由明场照射模块生成第一预定义参数的明场光束并且将明场光束导向包括分束器和物镜的光学模块；由暗场照射模块生成第二预定义参数的第一暗场光束并且将第一暗场光束导向对象;其中第一预定义参数和第二预定义参数之间有差别；由光学模块朝向对象反射明场光束；由光学模块接收明场光束的反射；由光学模块将明场光束的反射导向感测模块；由光学模块接收第一暗场光束的反射；由光学模块将第一暗场光束的反射导向感测模块；以及由感测模块基于第一预定义参数和第二预定义参数之间的差别来区分第一暗场光束的反射和明场光束的反射。
[0027]该方法可以包括由明场照射模块生成第一预定义参数的明场光束并且将明场光束导向分束器；由暗场照射模块生成第二预定义参数的第一暗场光束并且将第一暗场光束导向对象;其中第一预定义参数和第二预定义参数之间可以有差别；由分束器朝向对象反射明场光束；由分束器接收明场光束的反射；由分束器将明场光束的反射导向物镜；由分束器接收第一暗场光束的反射；由分束器将第一暗场光束的反射导向物镜；由物镜将第一暗场光束的反射和明场光束的反射导向感测模块；由感测模块基于第一预定义参数和第二预定义参数之间的差别来区分第一暗场光束的反射和明场光束的反射。
[0028]感测模块可包括偏振照相机，并且其中，对于偏振的第一预定义参数和第二预定义参数可以彼此不同。
[0029]感测模块可包括照相机，分析器在照相机之前，并且其中对于偏振的第一预定义参数和第二预定义参数可彼此不同。
[0030]感测模块可包括分析器;其中分析器可包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中第一类型的分析器区域使明场光束的反射通过;并且其中第二类型的分析器区域使第一暗场光束的反射通过。
[0031]多个分析器区域可以是条带状。
[0032]多个分析器区域可以是矩形。
[0033]在方法中，其中分析器区域中的两个或更多个分析器区域的形状和/或大小彼此不同。
[0034]该方法可以包括由暗场照射模块生成第三预定义参数的第二暗场光束;将第二暗场光束导向对象;其中第三预定义参数与第一和第二预定义参数中的每一个之间可以有差另IJ;由分束器接收第二暗场光束的反射;将第二暗场光束的反射导向物镜；由物镜将第二暗场光束的反射导向感测模块；以及，由感测模块基于第一预定义参数、第二预定义参数以及第三预定义参数之间的差别来区分第一暗场光束的反射、第二暗场光束的反射和明场光束的反射。
[0035]感测模块可包括分析器;其中分析器可包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中第一类型的分析器区域使明场光束的反射通过;并且其中第二类型的分析器区域使第一暗场光束的反射通过。
[0036]感测模块可以包括多个照相机、分配模块以及多个分析器，其中分析器在每个照相机之前;并且其中该方法可以包括由分配模块将第一暗场光束的反射、第二暗场光束的反射以及明场光束的反射分配到多个分析器。
[0037]在方法中，其中多个分析器中的每个分析器可以包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中第一类型的分析器区域使明场光束的反射通过;并且其中第二类型的分析器区域使第一暗场光束的反射通过。
[0038]多个分析器区域可以是条带状。
[0039]多个分析器区域可以是矩形。
[0040]分析器区域中的两个或更多个分析器区域的形状和/或大小可以彼此不同。
[0041]该方法还可以包括由多个分析器中的不同分析器使出自第一暗场光束的反射、第二暗场光束的反射以及明场光束的反射之外的不同的光束通过。
【附图说明】
[0042]从以下结合附图的详细描述中，将会更全面地理解和领会本实用新型，在附图中:
[0043]图1A示出了根据本实用新型的实施例的检验系统；
[0044]图1B示出了根据本实用新型的实施例的检验系统；
[0045]图1C示出了根据本实用新型的实施例的检验系统；
[0046]图2A和图2B示出了根据本实用新型的各个实施例的分析器；以及
[0047]图3示出了根据本实用新型的实施例的方法。
【具体实施方式】
[0048]因为实现本实用新型的装置在大多数情况下由本领域技术人员所熟知的电子组件和电路组成，因此为了本实用新型的基本概念的理解和领会并且为了不混淆或转移本实用新型的教导，相比于如上所说明的所考虑的必要性将不在任何更大程度上解释电路细
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[0049]在以下说明书中，将参考本实用新型的实施例的具体示例来对本实用新型进行描述。然而，明显的是，在不背离如在所附权利要求中阐述的本实用新型的广泛的精神和范围的情况下可以在其中做出各种修改和改变。
[0050]术语“和/或”的意思是另外的或可选的。尤其是一一A和/或B的意思是只是A、只是B或者是A和B 二者。
[0051]提供了可以将不同的光学性质(例如，使用滤色器或LED的颜色)分配到各种照射源，并且使用能够在这些性质之间进行区分的照相机(例如，彩色照相机)的方法和系统。
[0052]在图1A、IB和IC中，分束器被不出为放置在对象和物镜之间。这不一走必须如此并且物镜可以放置在对象和分束器之间。分束器和物镜可以形成光学模块。
[0053]在一个实施例中，如在图1A中所示，RGB彩色线扫描照相机3扫描物品2，其中还有三个线照射源一一来自侧面的两个暗场源71和72，以及通过分束器6照明的明场源5。用红色滤色器8覆盖明场源5，而用绿色滤光器91和92分别覆盖暗场源71和72。这里通过举例的方式来选择颜色并且可以按照对应用的适合性来不同地选择颜色。
[0054]照相机输出RGB彩色图像以用于分析。每个输出像素的颜色构成表示来自不同选定的颜色的光源中的每一个的反射光的量和平衡。
[0055]可选地，滤光器91和92还可以是不同的颜色，如，绿色和蓝色。这允许进一步区分从右侧反射的光和从左侧反射的光，从而提供每个像素位置中的关于表面取向的更多信息。
[0056]在图1A-1C中，存在对各个反射的引用。这些反射光谱可以是镜面反射和/或漫反射。反射的类型(漫反射或镜面反射)可以取决于被照射对象的范围的区域的取向。例如，图1A-1C示出了大体上水平的范围的照射。在这种情况中，给出明场源和暗场源的照射角度，物镜4收集明场光束101的镜面反射并且可以接收暗场光束102和103的漫反射。
[0057]例如，如果被照射的范围包括具有大约45度的取向的区域，则物镜将收集第一暗场光束102的镜面反射并且可以接收明场光束101和第二暗场光束103的漫反射。
[0058]例如，如果被照射的范围包括具有大约负45度的取向的区域，则物镜将收集第二暗场光束103的镜面反射并且可以接收明场光束101和第一暗场光束102的漫反射。
[0059]在图1A中，检验的对象(对象)被表示为2，并且系统包括:
[0060]a.用于支撑和/或移动对象2的桌子或载物台I。
[0061]b.包括明场光源5和明场修调节器(诸如，滤光器或偏光器和/或
[0062]减速器)8的明场照射模块。
[0063]c.包括第一暗场光源71、第一暗场滤光器或偏光器91、第二暗场
[0064]光源72、第二暗场滤光器或偏光器92的暗场照射模块。
[0065]d.分束器 6。
[0066]e.物镜 4。
[0067]f.照相机3。
[0068]g.图像处理器141。
[0069]h.用于控制系统的控制器142。
[0070]照相机3可以是偏振照相机。相应地一一照相机3可以包括分析器或可调的滤色器。因此，照相机3可以接收不同偏振的光并且可以在不同偏振分量之间进行区分。
[0071 ]物镜4被放置在照相机3和分束器6之间。分束器6被放置在对象2和物镜4之间。
[0072]第一预定义参数1(颜色和/或偏振)的第一明场光束101由明场照射模块产生并且被导向分束器6。
[0073]分束器6以第一角度范围将第一明场光束101反射到对象2上。第一角范围包括对象2的法线。
[0074]第一明场光束101的反射111通过分束器6且通过物镜4并且照射到照相机3上。
[0075]第二预定义参数(颜色和/或偏振)的第一暗场光束102由第一暗场光源71和第一暗场滤光器或偏光器91形成并且以与第一角度范围不同的第二角度范围被导向对象。
[0076]第一暗场光束102的反射112通过分束器6且通过物镜4并且照射到照相机3上。
[0077]第二预定义参数(颜色和/或偏振)的第二暗场光束103由第二暗场光源72和第二暗场滤光器或偏光器92形成并且以与第一和第二角度范围不同的第三角度范围被导向对象。
[0078]第二暗场光束103的反射113通过分束器6且通过物镜4并且照射到照相机3上。
[0079]第一、第二和第三参数彼此不同并且照相机3能够区分第一、第二和第三参数的光，并且由此照相机3可以在对象2的同个扫描期间接收由三个不同的光束(101、102和103)照射对象2产生的信息并且区分由这些光束中的每一个照射对象2产生的反射光。
[0080]图1A的系统可以执行对象2的线扫描一一在此期间第一明场光束101以及第一和第二暗场光束102和103以几条光线照射到对象2上。
[0081]可选地，图1A的系统可以执行对象2的面扫描-在此期间第一明场光束101以及第一和第二暗场光束102和103以光的二维区域照射到对象2上。
[0082]使用面扫描RGB彩色照相机、具有第一滤色器的同轴明场光源、以及围绕光轴的、具有与第一滤色器不同的颜色的第二滤色器的暗场光环也可以实现面扫描系统。
[0083]除了颜色之外的其它光学性质可以用来区分，诸如偏振取向。光源利用具有不同(优选垂直)取向的线性偏光器来覆盖，然而使用能够利用不同分析器取向获取多个图像的照相机系统。
[0084]图1B示出了根据本实用新型的实施例的系统。
[0085]图1B的系统不同于图1A的系统，其还包括在照相机3之前——在照相机3和物镜4之间的分析器(或液晶光学调制器)17。
[0086]图1A的偏振照相机3或图1B的液晶调制器17可以包括任意设置的分析器，如在图2A和图2B中所述的但不限于这些设置。
[0087]图2A和图2B示出了根据本实用新型的各个实施例的两种设置的分析器200和210。
[0088]分析器200和210可以被用在诸如图1C的系统的系统中并且可以被用在诸如在图1B中示出的具有单个照相机的系统中。
[0089]换句话说，任何数量的照相机可以被用在系统中，不是如在图1A中所描述的仅一个偏振照相机3，或不是仅一个非偏振照相机1B，或其任何组合。
[0090]图2A和图2B示出了具有不同区域的分析器，它们的偏振性质彼此不同(例如一一偏振取向可以彼此不同)。
[0091]相同分析器的不同区域可以具有相同的形状和大小，但也可以彼此形状和/或大小不同。
[0092]图2A的分析器200具有细长条带201、202、203和204，细长条带的偏振参数彼此不同。该分析器可以适合线照射，在该线照射中，用光线来扫描检验的物品并且因此(假设有分析器的4个不同的区域)一一单个扫描导致获得了检验物品的四个不同的图像一一每个具有其自己的偏振参数。
[0093]图2B的分析器210包括四种不同类型的矩形区域(211、212、213和214)，它们以可以类似于RGB像素阵列的贝尔(Bayer)图案的重复(马赛克样)图案布置。这个布置可以适合面照射。
[0094]在图2A和图2B中，包括不同取向的线的盒的偏振参数彼此不同。例如，盒201和211可以表示45度取向的线性偏振，盒202和212可以表示90度取向的线性偏振，盒203和213可以表示O度取向的线性偏振，以及盒204和214可以表示分析器的非偏振部分。应该注意的是，偏振取向可以与该示例中的不同并且不同的线可表示其他偏振参数之间的差异。
[0095]不同的区域类型的数目可以不同于四个。
[0096]图1C示出了根据本实用新型的实施例的系统。
[0097]图1C的系统包括三个照相机15、16和18，而不是图1A和IB中的单个照相机。
[0098]图1C的系统还包括分配模块(第一和第二附加分束器141和142)，用于将来自对象的光在三个照相机15、16和18之间分配。
[0099]三个分析器171、172和173在照相机15、16和18之前——每个照相机前一个分析器。
[0100]第一和第二附加分束器141和142将来自对象的光分到照相机15、16和18之间。
[0101]应该注意的是，分析器171、172和173可以具有可调节的取向(或任何其他可调节的偏振参数)，并且分析器171、172和173的取向可以彼此不同一一允许每个照相机接收来自单个光源的光。
[0102]图1A、IB和IC的系统中的任何一个可以包括控制器(诸如图1A和IC的控制器142)，该控制器被布置为协调桌子移动和照相机图像捕捉，调节光源和偏光器，等等。
[0103]系统可以包括附加部分，诸如移动载物台/桌子、控制器、具有帧抓取器、图像处理(参见图1A和IC的图像处理器141)以及GUI的计算机等等。
[0104]可以提供使用如上示出的系统来检验被检验物品的方法。
[0105]图3示出了根据本实用新型的实施例的方法400。
[0106]方法400可以由步骤410和415开始。
[0107]步骤410可以包括由明场照射模块生成第一预定义参数的明场光束并且将明视场光束导向分束器。
[0108]步骤410之后可以是由分束器朝向对象反射明场光束的步骤420。
[0109]步骤420之后可以是由分束器接收明场光束的反射的步骤430。
[0110]步骤430之后可以是由分束器将明场光束的反射光导向物镜的步骤440。
[0111]步骤415可以包括由暗场照射模块生成第二预定义参数的第一暗场光束并且将第一暗场光束导向对象。第一预定义参数和第二预定义参数之间有差别。
[0112]步骤415之后可以是由分束器接收第一暗场光束的反射的步骤425。
[0113]步骤425之后可以是由分束器将第一暗场光束的反射导向物镜的步骤435。
[0114]步骤440和435之后可以是由物镜将第一暗场光束的反射和明场光束的反射导向感测模块的步骤450。
[0115]步骤450之后可以是由感测模块基于第一预定义参数和第二预定义参数之间的差另Ij，来区分在第一暗场光束的反射和明场光束的反射的步骤460。
[0116]此外，本领域的技术人员将意识到以上所描述的操作的功能之间的界限仅仅是说明性的。多个操作的功能可以组合成单个操作，和/或单个操作的功能可以分配在附加的操作中。此外，可选的实施例可以包括特定操作的多个实例，并且操作的顺序可以在各个其它的实施例中变化。
[0117]因此，应该理解的是，本文所描绘的结构仅仅是示例性的，并且事实上，完成相同功能的许多其他结构也可以被实现。在理论上，但仍然确定的是，完成相同功能的组件的任何布置是有效地“关联的”，使得完成期望的功能。因此，本文中为完成特定功能所组合的任何两个组件可以被视为彼此“相关联的”从而完成期望的功能，而不考虑结构或中间组件。同样地，任何两个如此关联的组件也可以被视作彼此“操作地连接”或“操作地耦合”以完成期望的功能。
[0118]然而，其它的修改、变型和替换也是可能的。因此，说明书和附图被视为是说明性的意义而不是限制性的意义。
[0119]词语“包括”不是排除之后列在权利要求中的那些其他元件或步骤的存在。应该理解的是，这样使用的术语在适合的情况中是可交换的，使得本文所描述的本实用新型的实施例，例如，除了本文所示出或以其他方式描述的取向之外，能够在其他取向上操作。对术语“包括(comprising)”、“包括(comprises)”的任何引用也应该被解读为对术语“包括(consisting)”(排除其他元件的存在)和/或对术语“大体上包括(essentiallyconsisting)”(排除其他材料或重要元件的存在)的引用。
[0120]此外，本文所使用的术语“一(a)”或“一(an)”被定义为一个或多于一个。还有，权利要求中的介绍性短语的使用，诸如“至少一个”和“一个或多个”不应该被解释为意味着:通过不定冠词“一 (a)”或“一 (an)”介绍另一个权利要求元素将包含如此介绍的权利要求元素的任意特定权利要求限制为包含仅一个这样元素的实用新型，即使当相同的权利要求包括介绍性短语“一个或多个”或“至少一个”以及不定冠词诸如“一 (a)”或“一 (an)”。同样适用于定冠词的使用。除非另有说明，诸如“第一”和“第二”的术语被用于任意地在这样的术语描述的元素之间进行区分。
[0121]因此，这些术语并不必须旨在表明这样的元件的时间或其它优先顺序。某些措施在相互不同的权利要求中被陈述的单纯事实并不指示这些措施的组合不能有利地被使用。
【主权项】
1.一种检验对象的系统，所述系统包括: 感测模块； 分束器； 物镜； 明场照射模块，其被配置为生成第一预定义参数的明场光束并且将所述明场光束导向包括所述分束器和所述物镜的光学模块； 暗场照射模块，其被配置为生成第二预定义参数的第一暗场光束并且将所述第一暗场光束导向所述对象;其中所述第一预定义参数和所述第二预定义参数之间存在差别； 其中，所述光学模块被配置为:(a)朝向所述对象反射所述明场光束，(b)接收所述明场光束的反射，(C)接收所述第一暗场光束的反射，(d)将所述第一暗场光束的反射和所述明场光束的反射导向所述感测模块;以及 其中，所述感测模块被配置为基于所述第一预定义参数和所述第二预定义参数之间的所述差别，区分所述第一暗场光束的反射和所述明场光束的反射。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述感测模块包括偏振照相机，并且其中，对于偏振的所述第一预定义参数和所述第二预定义参数彼此不同。3.根据权利要求1所述的系统，其中所述感测模块包括照相机，分析器在所述照相机之前，并且其中，对于偏振的所述第一预定义参数和所述第二预定义参数彼此不同。4.根据权利要求1所述的系统，其中所述感测模块包括分析器;其中所述分析器包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中所述第一类型的分析器区域使所述明场光束的反射通过;并且其中所述第二类型的分析器区域使所述第一暗场光束的反射通过。5.根据权利要求4所述的系统，其中所述多个分析器区域是条带状。6.根据权利要求4所述的系统，其中所述多个分析器区域是矩形。7.根据权利要求4所述的系统，其中所述分析器区域中的两个或更多个分析器区域在形状和/或大小上彼此不同。8.根据权利要求1所述的系统，其中所述暗场照射模块还被配置为生成第三预定义参数的第二暗场光束并且将所述第二暗场光束导向所述对象;其中所述第三预定义参数与所述第一预定义参数和所述第二预定义参数中的每一个存在差别； 其中，所述分束器还被配置为接收所述第二暗场光束的反射并且将所述第二暗场光束的反射导向所述物镜； 其中，所述物镜还被配置为将所述第二暗场光束的反射导向所述感测模块；以及其中，所述感测模块被配置为基于所述第一预定义参数、所述第二预定义参数和所述第三预定义参数之间的所述差别区分所述第一暗场光束的反射、所述第二暗场光束的反射以及所述明场光束的反射。9.根据权利要求8所述的系统，其中，所述感测模块包括分析器;其中所述分析器包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中所述第一类型的分析器区域使所述明场光束的反射通过;并且其中所述第二类型的分析器区域使所述第一暗场光束的反射通过。10.根据权利要求8所述的系统，其中，所述感测模块包括多个照相机、分配模块和多个分析器，其中在每个照相机之前有分析器;并且其中所述分配模块被配置为将所述第一暗场光束的反射、所述第二暗场光束的反射以及所述明场光束的反射分配到所述多个分析器。11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述多个分析器中的每个分析器包括至少第一类型和第二类型的多个分析器区域;其中所述第一类型的分析器区域使所述明场光束的反射通过;并且其中所述第二类型的分析器区域使所述第一暗场光束的反射通过。12.根据权利要求11所述的系统，其中，所述多个分析器区域是条带状。13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述多个分析器区域是矩形。14.根据权利要求13所述的系统，其中，所述分析器区域中的两个或更多个分析器区域在形状和/或大小上彼此不同。15.根据权利要求10所述的系统，其中，所述多个分析器中的不同分析器被配置为使出自所述第一暗场光束的反射、所述第二暗场光束的反射以及所述明场光束的反射的不同的光束通过。
【文档编号】G01N21/01GK205562358SQ201521064476
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2015年12月18日
【发明人】诺姆·戈登, 伊泰·科恩, 埃米尔·特卓里
【申请人】康代影像科技(苏州)有限公司