专利名称：：制作流程机台侦错方法与侦错系统的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种制作流程侦错系统与侦错方法，特别是涉及一种可检测制造流程中问题机台(工作站)的侦错系统与侦错方法。
背景技术：
：目前大部分半导体及TFT-LCD厂对于生产机台的制作流程监控采取抽测的方式，即每间隔一段时间抽测生产中的半成品，或利用测试物料(DummyMaterial)进行实际制作流程，再对制作流程进行测量，以监测制作流程中某一工作站或机台的操作质量是否稳定。公知的方法是假设生产的工作站或机台制作流程质量不会突然发生异常，因而可使用被抽测的产品或测试物料的测量结果来推断此段期间内的某一机台(工作站)的操作质量与稳定度。但是，上述监测方式通常会因为抽测误差或测量允差水平(Tolerance)的设定不当，而忽略潜在的不良因素，以至于无法及时反应制作流程状况对不良制作流程机台(工作站)做出预警，通常必须等到产品大量损坏或成品率下降时才对问题机台(工作站)进行侦错。至于使用测试物料的检视方法，必须由工程师对嫌疑机台(工作站)进行测试与判断，不仅耗时费力，且常会因为工程师的判断失误，无法实时找出真正潜在的不良机台(工作站)。因此有需要提供一种可及时对不良制作流程机台(工作站)做出预警，且不需借助制作流程实验即可检测出问题机台(工作站)的侦错系统与侦错方法。
发明内容本发明的目的在于提供一种制作流程侦错系统与侦错方法，用于解决上述公知技术中存在的问题。为了实现上述目的，本发明提供了一种可及时对不良制作流程机台(工作站)做出预警，且不需借助制作流程实验即可检测出问题机台(工作站)制作流程机台(工作站)的侦错方法，用以检测制作流程中造成产品发生不良的机台，此一侦错方法包括下数步骤首先获取每一个产品的最终测量数据。接着，根据每一个产品的制作流程路径，将这些产品的最终测量数据，依照每一个产品通过机台的时间先后顺序加以排列，借以赋予每一机台一组测量数据序列。根据每一机台的制作流程属性及其测量数据序列进行群集分析，将测量数据序列区分成数个群集，并对每一群集输出一个群集参数，根据群集参数进行第一排序。然后，对每一群集中的每一机台的测量数据序列，进行连续性分析，借以对群集中的每一机台输出一连续性分析参数。再依据这些连续性分析参数对每一群集中的机台进行第二排序，根据第二排序结果决定出有可能造成产品不良的机台。为了实现上述目的，本发明还提供了一种可及时对不良制作流程机台(工作站)做出预警，且不需借助制作流程实验即可检测出问题机台(工作站)制作流程机台(工作站)的侦错系统，用以检测制作流程中造成产品发生不良的机台，此一侦错系统包括数据排序装置、连续性分析模块、群集分析模块以及选择器。数据排序装置用来根据每一个产品的制作流程路径，将产品的最终测量数据，依照每一个产品通过机台的时间先后顺序加以排列，借以赋予每一机台一组测量数据序列。群集分析模块，根据每一机台的制作流程属性进行群集分析，将测量数据序列区分成数个群集，并对每一群集输出一群集参数，且进行排序；连续性分析模块，对每一群集中的每一机台的测量数据序列，进行连续性分析，借以对每一群集中的每一机台输出一连续性分析参数。比较器则依据连续性分析参数对每一群集中的机台进行排序，根据所机台的排序结果决定出有可能造成该产品不合格的机台。根据以上所述的较佳实施例，本发明的技术特征采用产品的历史测量数据为基础，将通过某一台机台的产品历史测量数据排序。再对排序后的产品历史测量数据进行连续性分析以及群集分析，借助检视通过此一机台的历史测量数据的连续性，判别并找出最有可能造成产品不合格的机台或工作站。因此本发明的优点是不需要耗时费力的制作流程实验，即可快速地检测出实际的不良机台，更可以在产品大量损坏或成品率下降之前，及时反应制作流程状况对潜在的不良机台做出预警，借以解决公知技术因制作流程监测不当7所导致的产品质量不良的问题。下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。图1为本发明的较佳实施例(制作流程100)的制造流程图2为根据本发明的较佳实施例所绘示的一种制作流程机台的侦错系统；图3为根据本发明的较佳实施例所绘示的一种制作流程机台的侦错流程图。其中，附图标记100:制作流程.102:掺杂步骤104:热退火步骤102a:掺杂机台魁:惨杂机台102c:掺杂机台102d:掺杂机台102e:掺杂机台104a:热退火机台104b:热退火机台104c:热退火机台104d:热退火机台Ci至Cioo:晶片200:侦错系统201:数据排序装置203:连续性分析模块205:群集分析模块207:选择器210:最终测量数据212:连续性分析参数214:群集分析参数216:错误指标Sl:获取每一个产品(晶片)在通过制作流程后所测量的最终测量数据。S2:使用数据排序装置参照制作流程中每一个产品的制作流程路径，将每一晶片的最终测量数据，依照其通过某一机台的时间先后顺序加以排列，借以赋予每一机台一组测量数据序列。S3:以群集分析模块根据每一机台的制作流程属性及测量数据序列进行群集分析，将测量数据序列区分成数个群集，并对每一群集输出一群集参数，且进行排序。S4:将每一群集中的每一机台的测量数据序列输入连续性分析模块之中，进行连续性分析，借以对每一群集中的每一机台输出一连续性分析参数。S5:借助选择器，依据连续性分析参数对每一群集中的机台进行排序，根据所有机台的排序结果决定出最有可能造成该产品不合格的机台。实施方式本发明的目的就是在提供一种可及时对不良制作流程机台做出预警，且不需借助制作流程实验即可检测出问题机台的侦错系统与检测方法。为了让本发明的技术优势、特征能更明显易懂，以下特举出晶片制作流程中的一段重要制作流程100作为较佳实施例来加以说明。但值得注意的是，本发明的技术特征可运用于不同产品的制作流程之中，此依较佳实施例仅用以说明本发明的特征，而非用以限定本发明。请参考图i，为本发明的较佳实施例(制作流程ioo)的制造流程图。在本实施例中，制作流程100仅包含掺杂步骤102与热退火步骤104两个制作流程步骤。其中，掺杂步骤102分别由五部掺杂机台102a、102b、102c、102d和102e来执行，热退火步骤104则分别由四部热退火机台104a、104b、104c和104d来执行。晶片(按照进入制作流程的时间顺序编码成G至d。。)必需先通过掺杂机台102&、102b、102c、102d和102e其中之一完成掺杂步骤102后，再经过四部热退火机台104a、104b、104c和104d其中之一即完成制作流程100。制作流程100中每一个晶片可能的制作流程路径有5X4种。每一个晶片d至d。。的制作流程路径端视制作流程状况随机选择。当100个依序进入制作流程100的晶片d至C，分别完成掺杂步骤102与热退火步骤104后。每一个晶片d至d。。分别会通过掺杂机台102a、102b、102c、102d和102e其中之一和热退火机台104a、104b、104c和104d其中之一。表一为分别将通过各个机台的晶片依照通过的时间先后顺序加以排序所制成的制作流程路径表。表一、<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>102102cC3、Cg、C12、Ci8、C22、。26、C33、C37、Cn、Cs2、C55、C57、Cfi2、Cg9、C了2、C76、。84、Cgi、C96、C99102102dC4、Cg、Ci4、C20、C23、C28、C;i2、C36、C45、C47、C53、Cs8、Cfi3、Cfj8、C7(、C79、Cs3、C的、、C卵102102eC5、C了、Ci3、Ci9、C;m、C27、C;n、C39、Cm、Cw、C'54、C'59、Ce4、C7()、C5、Cs2、Cs6、Cs8、C94、C97步骤机台曰ti^104104aCl、C5、Cfl、Cu、Cl7、C25、C27、。28、C34、C37、C"、C/)5、C5、Cs8、C59、Cfi9、C7()、C73、C77、CsO、Cf)5人Cs8、C卯、Cg5、C()()104104bC2、C7、ClO、Ci3、Ct5、Cl6、C21、C24、C加、C35、C'j8、C42、C々4、C招、C50、Cei、Cs5、Cs7、C74、C了8、Csi、Cs7、C92、Cs4、Cg7104104cC3、Cg、Ci2、Ci8、Cl9、C22、C26、C31、C33、C40、C<13、C47、C52、C,55、C57、。60、Cfj2、C64、C66、C72、C76、Cffi、Cs<l、Cgi、Cg8104104dC4、Cs、Ci4人C'20、C23、〇29、C;i2、C.36、C劝、C46、Ca7、Cs'j、C54、C56、Cb3、Cs8、C了l、C了5、C79、Cs3、Cs(i、CiJ9、Cgii、C%、C99借助制作流程路径表可查询每一个晶片所经过的机台，以及通过该机台的时间顺序。例如，根据制作流程路径表，晶片Cu)分别为第二个通过掺杂机台102a和第三个通过退火机台104b的晶片。为了能够检测制作流程100中造成产品发生不良的机台，并及时对不良制作流程机台做出预警，本发明采用了一套不需借助制作流程实验，即可检测出问题机台的侦错系统200与方法。其中侦错系统200系用来执行此一侦错方法。请参考图2，图2为根据本发明的较佳实施例所绘示的一种制作流程机台的侦错系统200。其中侦错系统200包括数据排序装置201、连续性分析模块203、群集分析模块205以及选择器207。请参考图3，图3为根据本发明的较佳实施例所绘示的一种制作流程机台的侦错流程图。执行侦错的方法包括下述步骤请参考步骤Sl，首先获取每一个产品(晶片)在通过制作流程100后所测量到的最终测量数据210。在本发明的一些实施例之中，最终测量数据210是借助功能性判别方法所得到的数个10评分(Score)。例如这些评分借助分辨每一个产品(晶片C,至d。。)最终质量的"合格"或"不合格"，所产生的"0"或"1"的数值。之后请参考步骤S2，使用数据排序装置201参考制作流程100中的每一个产品(晶片C:至d。)的制作流程路径(请参考图2),将制作流程步骤中每一晶片的最终测量数据210,依照其通过某一机台的时间先后顺序加以排列，借以使每一机台具有一组测量数据序列。例如，经过最终产品质量检验发现100个晶片d至do中85个合格品15个不合格品，不合格品别为晶片Cn、C17、C25、C29、C35、C36、C4。、C41、C46、C5。、C56、"。、"6和C73。其中合格品以评分值"0"表示，不合格品以评分值"1"表示。依照图2的晶片制作流程路径表，将每一个晶片的述评分填入，以附与每一机台一组测量数据序列，形成如表二所绘示的机台测量数据序列表。表二、步骤机台晶片102102a0、0、1、1、1、1、1、1、1、1、1、1、1、1、1、0、0、0、0、0102102b0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0102102c0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0102102d0、0、0、0、0、0、0、1、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0102102e0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0步骤机台日曰斤104104a0、0、0、1、1、1、0、0、0、0、1、0、0、0、0、0、0、1、0、0、0、0、0、0、0104104b0、0、0、0、0、0、0、0、0、1、0、0、0、0、1、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0104104c0、1、0、0、0、0、0、0104104d0、0、0、0、0、1、0、0、0、1、0、0、0、1、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0、0请再参考步骤S3，以群集分析模块205进行群集分析，首先依据每一机台的制作流程属性将测量数据序列区分成数个群集区。群集分析模块207会依据机台操作的功能性将机台区分为数种群集，例如将机台区分为掺杂机台102a、102b、102c、102d和102e和热退火机台104a、104b、104c和104d两大群集。再根据每一群集中的每一机台的测量数据序列，来计算曾造成产品发生不合格的机台的总数，然后根据每一群集所计算的机台总数，来输出代表该群集的群集分析参数。在本发明的较佳实施例之中，每一个群集所输出的群集分析参数为1/M，其中M即代表每一个群集中出现产品不合格的机台的总数。以掺杂机台102a、102b、102c、102d和102e群集为例，在此一群集中只有机台102a和102d出现有产品不合格的现象，因此掺杂机台102a、102b、102c、102d和102e群集的群集分析参数为1/2=0.5。又以热退火机台104a、104b、104c和104d群集为例，在此一群集中机台104a、104b、104c和104d都出现有产品不合格的现象，因此掺杂机台这一群集的群集分析参数为1/4=0.25。接着再根据群集分析参数的大小对这两个群集进行排序。其中掺杂机台102a、102b、102c和102d所得到的群集分析参数比热退火机台104a、104b、104c和104d所得的群集分析参数高，显见掺杂机台102a、102b、102c和102d这一群集中，造成产品不合格的机台较为集中。另外，由于最终测量数据210可能因为测量仪器的失效或测量人员的误判而出现噪音(Noise)，因此在获取最终测量数据210之后，必需包括一个噪音过滤(NoiseFiltering)程序，将评分中不具代表性的部分加以剔除(Discard)。该噪音过滤程序包括先提供一噪音容忍标准(Threshold)，再根据噪音容忍标准，剔除每一测量数据序列中至少一者中的至少一评分。在本发明的较佳实施例之中，噪音容忍标准根据不合格产品的总数B，来决定所要剔除评分值为不良"1"的评分个数N。例如噪音容忍标准为预先制订的对照12表，如表三所示:表三、<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>当不合格产品的总数B小于6时，可剔除的不合格评分"1"的个数为0个；当不合格产品的总数B大于等于6，且小于12时，可剔除的不合格评分"1"的个数为1个；当不合格产品的总数B大于等于12，且小于30时，可剔除的不合格评分"1"的个数为2个。在噪音过滤程序中，若不合格产品的总数B大到一定程度就必须由每一机台的测量数据序列中剔除至少一个不合格评分"1"。在本发明的较佳实施例之中，在尚未剔除不合格评分之前，首先会排除每一群集中包含最多不合格品个数的测量数据序列，再根据噪音容忍标准，由其它测量数据序列中剔除不合格评分"1"。以掺杂机台102a、102b、102c、102d和102e群集为例，不合格品总数B为14，可剔除2个(N)不合格评分"1"。由于机台102a的测量数据序列中包含数目最多13个的不合格品，因此首先排除机台102a，而由102b、102c、102d或102e机台的测量数据序列中剔除2个(N)不合格评分"l"。由于机台102b、102c、102d或102e的测量数据序列中只有1个存在于机台102d中的不合格评分"1"，当不合格评分"1"剔除之后，包含有不合格品"1"的机台，仅剩机台102a而已。因此在进行群集时，掺杂机台102a、102b、102c、102d和102e群集所输出的群集分析参数为VM不是1/2，而是1/1。再有，由不同机台的测量数据序列剔除评分，会使该群集分析输出不同的群集分析参数数值。因此选择最大数值作为该群集分析参数。以热退火机台104a、104b、104c和104d群集为例，不合格品总数B为14，可剔除2个(N)不合格评分"1"。由于机台104a包含5个的不合格品评分"1"数目最多，因此首先排除机台104a，而由104b、104c或104d机台的测量数据序列中剔除2个(N)不合格评分。由于机台104b的测量数据序列包含有2个不合格评分"1";机台104c的测量数据序列包含有3个不合格评分"1";机台104d的测量数据序列包含有3个不合格评分"1"。当同时剔除机台104b的测量数据序列中的2个不合格评分"1"时，包含有不合格品个数的机台仅剩机台104a、104c和104d，热退火机台104a、104b、104c和104d群集分析所输出的群集分析参数为1/M不是l/4，而是1/3。又若，仅删除机台104b的测量数据序列中的1个不合格评分"1"，同时删除机台104c的测量数据序列中的1个不合格评分"1"，热退火机台104a、104b、104c和104d群集分析所输出的群集分析参数为1/M仍为1/4。在此情形下必需选择数值最大者1/3做为群集分析参数，在与其它群集分析参数进行排序。然后请参考步骤S4，将每一群集中的每一机台的测量数据序列输入连续性分析模块203之中进行连续性分析，借以输出一个连续性分析参数212。首先根据每一群集中的每一机台的测量数据序列中彼此相邻的评分的连续性，来输入数个判别系数。在本发明的较佳实施例之中，判别测量数据序列中彼此相邻的评分的连续性的方式，是借助将彼此相邻的两个评分相加再除以二，借以输出一组判别系数。接着，剔除非整数部分，再将其余的判别系数加总。然后根据加总数值输出每一机台的连续性分析参数212。例如相邻的评分"1"和"1"时，其所输出的判别系数为1;相邻的评分"0"和"1"时，其所输出的判别系数为0.5;相邻的评分"0"和"0"时，其所输出的判别系数为0。加总后的数值越大表式此一机台的测量数据序列中彼此相邻的评分的连续性越高。在本发明的较佳实施例的中，连续性参数212为判别系数的加总数值。但在本发明的其它实施例之中，连续性分析参数212，是将判别系数的加总数值，与一个预设的加总数值-连续性分析参数对照表进行对比，之后以对比的数值输出。另外，在本发明的其它实施例之中，连续性分析参数212可以借助下述数学式直接计算而得。以下提供数个数学方程式计算式来计算连续性参数Cl:方程式l:14^(a,.，a》=1当",="y=1否则^(^,";.)=0其中P表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而a,代表给定测据序列中第i个评分。方程式2:/e"g//2(/7)—1S2(a,.,a》=1当",#ay否则&(",，)二0其中P表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而ai代表一给定;数据序列中第i个评分。方程式3:C,=1—!'=1s3(",/，w)=产'w—/+1其中P表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而a,代表给定测量数15据序列中第i个评分。方程式4:C4=~^-/e"g晰p)-1=1当",,=-5当,"乂其中P表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而ai代表给定测量数据序列中第i个评分。且值得注意的是其中&的默认值1或-5，可以是操作人员所预设的任何实数。然后请参考步骤S5，将连续性分析参数212输入选择器207，依据续性分析参数212的大小，对已经过一次群集排序的每一群集中的每一个机台再进行细部的排序，根据所有机台的排序结果决定出最有可能造成产品不合格的机台。排在越前头的机台表示其产生不合格品的机率较为集中，且不合格品发生的次数也越连续，故越有可能是造成产品不合格的不良机台或潜在的问题机台。当制作流程出现问题时，工程人员可以在短时间之内找出造成产品损坏或成品率下降的问题机台，来迸行故障排除。另外工程人员平时仅需要通过对产品的历史测量数据的实时分析，可以及时对潜在的问题机台做出预警。由上述本发明较佳实施例可知，本发明的技术特征采用产品的历史测量数据为基础，参考每一产品的制作流程路径，将通过某一台机台的产品历史测量数据排序。再对排序后的产品历史测量数据进行连续性分析以及群集分析，借助检视通过此一机台的历史测量数据的连续性与群集性，判别并找出最有可能造成产品不合格的机台或工作站。因此运用本发明的优点是不需要耗时费力的制作流程实实验，即可快速地检测出实际的不良机台，更可以通过对产品的历史测量数据的实时分析，在16产品大量损坏或成品率下降之前，及时反应制作流程状况对潜在的不良制作流程机台做出预警，借以解决公知技术因制作流程监测不当所导致的产品质量不合格等问题。当然，本发明还可有其他多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。权利要求1、一种制作流程机台的侦错方法，用以检测制作流程中造成数个产品发生不良的至少一机台，其特征在于，该制作流程侦错方法包括获取每一该产品的最终测量数据；根据每一该产品的制作流程路径，将该产品的最终测量数据，依照通过该机台的时间先后顺序加以排列，借以赋予每一该机台一测量数据序列；根据每一该机台的制作流程属性进行一群集分析，将该测量数据序列区分成数个群集，并对每一该群集输出一群集参数；根据该群集参数进行一第一排序；对每一该群集中的每一该机台的该测量数据序列，进行一连续性分析，借以对该群集中的每一该机台输出一连续性分析参数；以及再依据该连续性分析参数对每一该群集中的该机台进行一第二排序，根据该机台的一排序结果决定出最有可能造成该产品不合格的该机台。2、根据权利要求l所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，该产品的最终测量数据是借助功能性判别方法所得到的数个评分，且该评分是借助分辨该产品的最终质量的"合格"或"不合格"，所产生的"0"或"1"的数值。3、根据权利要求2所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，该连续性分析包括根据每一该机台的该测量数据序列中彼此相邻的该评分的连续性来输出数个判别系数；将该判别系数进行加总输出一加总数值；根据该加总数值输出该机台的该连续性分析参数；以及比较每一该机台的该测量数据序列所输出的该连续性分析参数。4、根据权利要求3所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，该判别系数的输出，是将彼此相邻的两个该评分相加再除以二，并剔除非整数部分，而该连续性参数为该判别系数的该加总数值。5、根据权利要求3所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，输出该连续性分析参数的步骤包括将该加总数值与预设的一加总数值-连续性分析参数对照表进行比对；以及根据比对结果输出该连续性参数。6、根据权利要求2所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，输出该连续性分析参数的步骤包括采用下述数学式直接计算该连续性分析参数^((3!.,a》=1当a!.=a)=1其中p表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而^代表一给定测量数据序列中第i个评分。7、根据权利要求2所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，输出该连续性分析参数的步骤包括采用下述数学式直接计算该连续性分析参数c2:c2"—~^-=1当",.否贝1>2(",，"》=0其中P表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而ai代表一给定测量数据序列中第i个评分。8、根据权利要求2所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，输出该连续性分析参数的步骤包括采用下述数学式直接计算该连续性分析参数<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中P表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而ai代表一给定测量数据序列中第i个评分。9、根据权利要求2所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，输出该连续性分析参数的步骤包括采用下述数学式直接计算该连续性分析参数C4:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中P表示具有评分"0"或"1"测量数据序列，而ai代表一给定测量数据序列中第i个评分。10、根据权利要求2所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，该群集分析包括依据每一该机台的制作流程属性将该测量数据序列区分成数个群集区；根据每一该群集中每一该机台的该测量数据序列，来计算曾造成该产品发生不合格的该机台的一总数；根据每一群集所计算的每一该总数输出该群集分析参数；以及根据该群集分析参数对该群集进行排序。11、根据权利要求10所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，在该群集分析前，还包括一噪音过滤程序，将该评分中不具代表性的部分加以剔除，该噪音过滤程序包括提供一噪音容忍标准；以及根据该噪音容忍标准，剔除该测量数据序列至少一个中的至少一评分。12、根据权利要求10所述的制作流程机台的侦错方法，其特征在于，该测量数据序列的至少一个中剔除至少一评分，会使该群集分析产生数个数值，选择最大数值作为该群集分析参数。13、一种制作流程机台的侦错系统，用以检测制作流程中造成数个产品发生不合格的至少一机台，其特征在于，该制作流程侦错系统包括一数据排序装置，根据每一该产品的制作流程路径，将每一该产品的最终测量数据，依照通过该机台的时间先后顺序加以排列，借以赋予每一该机台一测量数据序列；一群集分析模块，根据每一该机台的制作流程属性及该测量数据序列进行一群集分析，将该测量数据序列区分成数个群集，并对每一该群集输出一群集参数，且进行排序；一连续性分析模块，对每一该群集中的每一该机台的该测量数据序列，进行一连续性分析，借以对该群集中的每一该机台输出一连续性分析参数；以及一比较器，依据该连续性分析参数对每一群集中的机台进行排序，根据该些机台的一排序结果决定出最有可能造成该产品不合格的该机台。全文摘要本发明公开了一种制作流程机台的侦错方法与侦错系统，用以检测制作过程中造成产品发生不合格的机台，此一侦错方法包括下述步骤首先获取每一个产品的最终测量数据，接着，根据每一个产品的制作过程路径，将这些产品的最终测量数据，依照每一个产品通过这些机台的时间先后顺序加以排列，借以赋予每一机台一组测量数据序列，再依据每一些机台的制作过程属性进行群集分析，借以输出一个群集分析参数并排序，对群集中的每一机台的测量数据序列进行连续性分析，借以输出一个连续性分析参数，并进行排序，之后根据排序决定出有可能造成产品不合格的机台。文档编号G05B19/048GK101470422SQ200710160690公开日2009年7月1日申请日期2007年12月29日优先权日2007年12月29日发明者曾新穆,林威成申请人:创点科技股份有限公司