专利名称：对产品进行在线检测的方法以及装置的制作方法
对产品进行在线检测的方法以及装置
技术领域：
本发明涉及集成电路工艺设备管理与监测领域，尤其涉及对产品进行在线检测的
方法以及装置。背景技术：
在集成电路工艺线上，为了实施包括光刻、注入、沉积等复杂的平面工艺，需要用到大量的工艺机台。为了保证工艺线的正常运行，需要采用一套专用的在线监测程序对工艺线上所采用的机台进行在线监控，在发现机台发生异常的情况下，及时检修，以保证产品的良率。 现有技术中的在线监控程序，通常是根据某一批产品数量，抽取一定比例的产品进行检测，从而反映出某一机台的工作情况。例如在一批产品的生产过程中，在某一步骤(例如离子注入)实施完毕后，需要抽取30%的样品进行质量检测，以监控该步骤的产品良率。 上述选取样品的工作通常由计算机程序完成。计算机程序会对每批样品的编号和加工进度进行跟踪记录，并在收到测试命令后，根据抽取比例抽取样品编号。而工程师负责将选出的样品编号所对应的样品进行测试。但是在实际的生产中，一项工艺可能是由多个机台实施，满足这样条件的机台不妨称之为"平行机台"，而样品被送至平行机台中的哪个机台进行加工要根据实际情况随机确定。仍以离子注入为例，例如在有五台离子注入机参与某一批次产品的生产的情况下，由于只对其中30%的产品进行检查，因此有可能在前十次的检测中，所抽选的产品都是用第一至第四台离子注入机中的某一台完成的。在这种情况下，如果第五台离子注入在此时不幸发生故障，那么在这十次测试中是无法被发现的，要一直等到碰巧检测的样品是由第五台离子注入机加工的情况下，才能发现此机台的故障。并且由于样品进入哪个机台加工的随机性导致我们无法预见检测样品恰好是由第五台离子注入机加工的事件将在何时发生。因此现有技术中，由于平行机台的存在，每个机台在何时被检测是随机发生的，因此有可能在某段时间内某个出故障的机台从未被检测，从而导致该批次产品总体的良率下降。 为避免上述情况的发生，当前业界通常通过良率工程师的经验人为地判断产品状态，调整不同产品的检测样品组合。这种人为的调整完全凭借工程师的经验，并不是一种可靠的解决此问题的方法。而增加检测比例可以减少上述情况发生的可能性，但是增加了测试的频率就会相应的增加测试成本，并且延长了工艺周期。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，提供一种对产品进行在线检测的方法以及装置，可以在工艺线生产产品的过程中避免某个或者某些机台长时间内得不到检测的情况，从而提高产品的良率。 为了解决上述问题，本发明提供了一种对产品进行在线检测的方法，包括如下步骤(a)在产品进入机台进行加工之后，在该产品的档案文件中写入与该机台唯一对应的机台标签；(b)在工艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤，在流程文件中采用检测标签对该检测步骤进行标注，所述检测标签与所述机台标签唯一对应；(c)在按照工艺流程文件进行产品加工至检测步骤时，检查流程文件中此步骤是否被所述检测标签进行标注，如此检测步骤已被标注，则做出检测指令，将具有与所述检测标签所对应的机台标签的档案文件所对应的产品送检。
作为可选的技术方案，进一步包括如下步骤(d)为机台设定工作量限额；(e)记
录机台的工作量，当机台累积工作量达到工作量限额时，开始执行步骤(a) (c)，以及步
骤(f) ;(f)在执行步骤(a) (c)的同时将机台的累积工作量记录清零，重复步骤(e)。 作为可选的技术方案，所述工作量限额是指机台累计加工产品的次数。 作为可选的技术方案，所述工作量限额是指机台的累计工作时间。 作为可选的技术方案，采用所述方法对一条生产线上的两个或者两个以上的相同
机台进行监控。 作为可选的技术方案，用于对集成电路工艺线进行监控。 本发明还提供了一种对产品进行在线检测的装置，包括如下模块机台标签写入模块，用于在产品进入机台进行加工之后，在该产品的档案文件中写入与该机台唯一对应的机台标签；检测标签写入模块，用于根据机台标签写入模块所提供的机台信息，在工艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤，在流程文件中采用检测标签对该检测步骤进行标注，所述检测标签与所述机台标签唯一对应；检测指令发出模块，用于在按照工艺流程文件进行产品加工至检测步骤时，检查流程文件中此步骤是否被所述检测标签进行标注，如此检测步骤已被标注，则做出检测指令，将具有与所述检测标签所对应的机台标签的档案文件所对应的产品送检。 作为可选的技术方案，进一步包括如下模块检测周期设定模块，用于为机台设定
工作量限额；检测周期监控模块，用于记录机台的工作量，当机台累积工作量达到工作量限
额时，开始启用机台标签写入模块、检测标签写入模块以及检测指令发出模块；工作记录复
位模块，用于在执行开始启用机台标签写入模块、检测标签写入模块以及检测指令发出模
块的同时，将机台的累计工作量记录清零，重新启动检测周期监控模块。 作为可选的技术方案，所述工作量限额是指机台累计加工产品的次数。 作为可选的技术方案，所述工作量限额是指机台的累计工作时间。 作为可选的技术方案，采用所述装置对一条生产线上的两个或者两个以上的相同
机台进行监控。 作为可选的技术方案，用于对集成电路工艺线进行监控。 本发明的优点在于，采用的是针对机台的检测方法而不是现有技术中针对样品的检测方法。当一条生产线上某种机台的数目为两个或者两个以上，即存在平行机台的情况下，采用上述方法对平行机台进行监控，可以避免某个或者某些机台长时间内得不到检测，从而提高产品的良率。
附图1为本发明提供的对产品进行在线检测的方法的具体实施方式
的实施步骤示意图； 附图2为本发明提供的对产品进行在线检测的装置的具体实施方式
的装置结构 示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明提供的对产品进行在线检测的方法以及装置的具体实施 方式做详细说明。 首先结合附图给出本发明提供的对产品进行在线检测的方法的具体实施方式
进 行说明。 本具体实施方式
所述之方法用于对产品进行在线检测。工业产品在生产过程中， 通常需要采用工艺流程文件来记录该产品的加工工艺步骤，在生产的全部过程中，需要根 据此工艺流程文件确定每个步骤应该执行何种动作。生产过程中还通常具有产品档案文 件，用于记录所有与此产品有关的工艺细节以及其他信息，以备生产过程中随时查阅。本具 体实施方式中所述之方法通过对上述两个文件的读取和写入，实现在生产过程中对产品进 行及时而严密的在线检测。 附图1为本具体实施方式
的实施步骤示意图，包括步骤S110，为机台设定工作量 限额；步骤S120，记录机台的工作量，当机台累积工作量达到工作量限额时，开始执行步骤 S130 S150，以及步骤S160 ;步骤S130，在产品进入机台进行加工之后，在该产品的档案文 件中写入与该机台唯一对应的机台标签；步骤S140，在工艺流程文件中寻找一可以对该机 台的加工结果进行检测的检测步骤，在流程文件中采用检测标签对该检测步骤进行标注， 所述检测标签与所述机台标签唯一对应；步骤S150，在按照工艺流程文件进行产品加工至 检测步骤时，检查流程文件中此步骤是否被所述检测标签进行标注，如此检测步骤已被标 注，则做出检测指令，将具有与所述检测标签所对应的机台标签的档案文件所对应的产品 送检；步骤S160，在执行步骤S130 S150的同时将机台的累计工作量记录清零，重复步骤 S120。 采用上述方法监控机台的情况下，被监控的机台会在生产产品的过程中得到有规
律的检测，不会发生长时间内得不到检测的情况，从而提高产品的良率。 上述方法可以看作是针对机台的检测方法而不是现有技术中针对样品的检测方
法。在一条生产线上某种机台只有一个的情况下，采用上述方法和采用现有技术中针对样
品的检测方法均可以达到监控机台的目的。而当一条生产线上某种机台的数目为两个或者
两个以上，即存在平行机台的情况下，采用上述方法对平行机台进行监控，可以避免某个或
者某些机台长时间内得不到检测。因此在采用上述方法对机台进行监控时，可以首先对生
产线上的机台进行分类，对平行机台采用本具体实施方式
中所述的方法以避免漏检，而对
单一机台，可以采用本具体实施方式
中的方法，也可以采用现有技术中的方法进行监控。 上述方法可以仅对某一个或者某几个容易发生故障的机台实施，以实现对这些机
台的重点监控，从而提高成品率。 步骤S110、S120以及S160是可选步骤，用于控制机台按照预先设定的工作量限额 进行检测。 下面以光刻机在晶圆表面形成图形为例，对上述方法中所述的步骤S110至步骤S160中所述的内容进行详细叙述。 例如步骤S110至步骤S160中所述之机台为光刻机。首先执行步骤SllO，为光刻 机设定工作量限额。所述工作量限额为10次。光刻机工作一次将对一盒共25片晶圆进行 光刻。 本具体实施方式
是对光刻机进行工作量限额设置，因此所述工作量限额是指光刻 机累计加工产品的次数。而对于其他的设备而言，所述工作量限额也是指机台的累计工作 时间。例如对于注入设备而言，可以将工作量限额设定为100小时。 执行步骤S120，考察光刻机的工作量，当光刻机工作达到10次时，开始执行步骤 S130 S150，以及步骤S160。即光刻机的工作量累计达到10次，进行一次检测。
对于以累计工作时间作为工作量限额的情况下，此步骤为累计工作时间达到设定 的时限(例如100小时)的情况下，开始进行一次检测。 执行步骤S130，在晶圆进入光刻机进行加工之后，在该盒晶圆的档案文件中写入 与该光刻机唯一对应的机台标签。于本实施例中，假设所述该盒晶圆的编号为Lot IO，所述 机台标签为LOOl。 在晶圆生产的过程中，每一盒晶圆均有相应的档案文件，用于记录所有与此盒晶 圆有关的工艺细节以及其他信息，以备查阅。本步骤中，将机台标签LOOl写入此档案文件， 则在后续的步骤中，可以通过阅读档案文件发现此盒晶圆Lot 10的档案文件具有所述机 台标签L001。 执行步骤S140，在工艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检 测步骤，在流程文件中采用检测标签T001对该检测步骤进行标注，所述检测标签T001与所 述机台标签L001唯一对应。 所述工艺流程文件是用于记载晶圆加工信息的文件，其中记载了晶圆从裸片到产 品所要实施的所有工艺步骤以及检测步骤，从中可以发现每个机台的加工结果可以在哪个 检测步骤中进行检测。 对于光刻而言，可以在显影之后进行的图形检测步骤中对光刻的结果进行检测，
因此在工艺流程文件中写入检测标签T001以标示该图形检测步骤之项目。 步骤S150，在按照工艺流程文件进行产品加工至图形检测步骤时，检查流程文件
中此步骤是否被所述检测标签T001进行标注，如此检测步骤已被标注，则做出检测指令，
将具有与所述检测标签T001所对应的机台标签L001的档案文件所对应的编号为Lot 10
的一盒晶圆送检。 步骤S160，在执行步骤S130 S150的同时将光刻机的累计工作量记录清零，重复 步骤S120。 此步骤用于保证可采用此方法对机台以一定的次数或者时间周期进行循环往复 的定期检测。 本具体实施方式
中所述步骤的实施，可以保证所述光刻机可以在每进行十次光刻 之后，进行一次检查，因此一旦此光刻机发生问题，可以在十次光刻之内发现并进行维修， 从而提高该批次产品的良率。 下面结合附图对本发明所述对产品进行在线检测的装置的具体实施方式
进行说 明。
附图2所示为本具体实施方式
的装置结构示意图，包括
检测周期设定模块210，用于为机台设定工作量限额。 检测周期监控模块220，用于记录机台的工作量，当机台累积工作量达到工作量限
额时，开始启用机台标签写入模块、检测标签写入模块以及检测指令发出模块。 所述工作量限额是指机台累计加工产品的次数或者机台的累计工作时间。 机台标签写入模块230，用于在产品进入机台进行加工之后，在该产品的档案文件
中写入与该机台唯一对应的机台标签。 检测标签写入模块240，用于根据机台标签写入模块230所提供的机台信息，在工
艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤，在流程文件中采用检
测标签对该检测步骤进行标注，所述检测标签与所述机台标签唯一对应； 检测指令发出模块250，用于在按照工艺流程文件进行产品加工至检测步骤时，检
查流程文件中此步骤是否被检测标签写入模块240中所标注的检测标签进行标注，如此检
测步骤已被标注，则做出检测指令，将具有与所述检测标签所对应的机台标签的档案文件
所对应的产品送检。 工作记录复位模块260，用于在执行开始启用机台标签写入模块230、检测标签写 入模块240以及检测指令发出模块250的同时，将机台的累计工作量记录清零，重新启动检 测周期监控模块220。 检测周期设定模块210、检测周期监控模块220以及工作记录复位模块260是本设 备的可选组件，用于控制机台按照预先设定的检测周期进行检测。 上述装置可以用作对一条生产线上的两个或者两个以上的相同机台进行监控。
上述装置可以用于对集成电路工艺线中的机台进行监控。 关于上述装置的工作原理以及各个组件之间的关系，可以参考前面对产品进行在 线检测的方法的具体实施方式
中的叙述。 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人 员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为 本发明的保护范围。
权利要求
一种对产品进行在线检测的方法，其特征在于，包括如下步骤(a)在产品进入机台进行加工之后，在该产品的档案文件中写入与该机台唯一对应的机台标签；(b)在工艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤，在流程文件中采用检测标签对该检测步骤进行标注，所述检测标签与所述机台标签唯一对应；(c)在按照工艺流程文件进行产品加工至检测步骤时，检查流程文件中此步骤是否被所述检测标签进行标注，如此检测步骤已被标注，则做出检测指令，将具有与所述检测标签所对应的机台标签的档案文件所对应的产品送检。
2. 根据权利要求1所述的对产品进行在线检测的方法，其特征在于，进一步包括如下 步骤(d) 为机台设定工作量限额；(e) 记录机台的工作量，当机台累积工作量达到工作量限额时，开始执行步骤(a) (c)，以及步骤(f);(f) 在执行步骤(a) (c)的同时将机台的累积工作量记录清零，重复步骤(e)。
3. 根据权利要求2所述的对产品进行在线检测的方法，其特征在于，所述工作量限额 是指机台累计加工产品的次数。
4. 根据权利要求2所述的对产品进行在线检测的方法，其特征在于，所述工作量限额 是指机台的累计工作时间。
5. 根据权利要求1或2所述的对产品进行在线检测的方法，其特征在于，采用所述方法 对一条生产线上的两个或者两个以上的相同机台进行监控。
6. 根据权利要求1或2所述的对产品进行在线检测的方法，其特征在于，用于对集成电 路工艺线进行监控。
7. —种对产品进行在线检测的装置，其特征在于，包括如下模块机台标签写入模块， 用于在产品进入机台进行加工之后，在该产品的档案文件中写入与该机台唯一对应的机台 标签；检测标签写入模块，用于根据机台标签写入模块所提供的机台信息，在工艺流程文件 中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤，在流程文件中采用检测标签对该 检测步骤进行标注，所述检测标签与所述机台标签唯一对应；检测指令发出模块，用于在按照工艺流程文件进行产品加工至检测步骤时，检查流程 文件中此步骤是否被所述检测标签进行标注，如此检测步骤已被标注，则做出检测指令，将 具有与所述检测标签所对应的机台标签的档案文件所对应的产品送检。
8. 根据权利要求7所述的对产品进行在线检测的装置，其特征在于，进一步包括如下 模块检测周期设定模块，用于为机台设定工作量限额；检测周期监控模块，用于记录机台的工作量，当机台累积工作量达到工作量限额时，开 始启用机台标签写入模块、检测标签写入模块以及检测指令发出模块；工作记录复位模块，用于在执行开始启用机台标签写入模块、检测标签写入模块以及 检测指令发出模块的同时，将机台的累计工作量记录清零，重新启动检测周期监控模块。
9. 根据权利要求8所述的对产品进行在线检测的装置，其特征在于，所述工作量限额是指机台累计加工产品的次数。
10. 根据权利要求8所述的对产品进行在线检测的装置，其特征在于，所述工作量限额 是指机台的累计工作时间。
11. 根据权利要求7或8所述的对产品进行在线检测的装置，其特征在于，采用所述装 置对一条生产线上的两个或者两个以上的相同机台进行监控。
12. 根据权利要求7或8所述的对产品进行在线检测的装置，其特征在于，用于对集成 电路工艺线进行监控。
全文摘要
一种对产品进行在线检测的方法，包括如下步骤(a)在产品进入机台进行加工之后，在该产品的档案文件中写入与该机台唯一对应的机台标签；(b)在工艺流程文件中寻找一可以对该机台的加工结果进行检测的检测步骤进行标注；(c)进行至被写入标签的检测步骤时，做出检测指令。本发明还提供了一种对产品进行在线检测的装置。本发明的优点在于，采用的是针对机台的检测方法而不是现有技术中针对样品的检测方法。当一条生产线上某种机台的数目为两个或者两个以上，即存在平行机台的情况下，采用上述方法对平行机台进行监控，可以避免某个或者某些机台长时间内得不到检测，从而提高产品的良率。
文档编号G05B19/418GK101738992SQ20081020277
公开日2010年6月16日 申请日期2008年11月14日 优先权日2008年11月14日
发明者吕秋玲, 杨健, 阎海滨, 陈思安 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司