专利名称：能源节约和全球气体排放监测的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子装置的制造，更具体地涉及提高电子装置制造系统的效率的系统和方法。
背景技术：
辅助生产层(sub-fab)装备不具有用于能源消耗和/或能源节约的监测数据。发明人相信美国和全世界的法规会最终将要求使用者报告由工具以及整个工厂的基线(baseline)CO2和全球温室气体(GWG)的排放。发明人还相信半导体代工厂(fab)的拥有者和/或经营者会希望收集这样的数据以供内部使用。例如，目前用于在工具层面精确地测量实时工厂化学物排放的工业范例是非常昂贵耗时的、并需要大量的成套装备和技术专家。如产业联盟提出的，用于预测对于限定的工 厂类型或生产类别群组的一般工厂排放的统计模型已被证明很大程度(例如20%-400%)偏离实际的工厂排放。发明人认为碳交易价值或环境伤害评定/可能由法规征收的罚金将会使得基于这样高的不确定性进行这样的评定很困难。发明人还相信，以每个工具或整个工厂为基础报告的工厂整体排放将需要由经认证的方法和经认证的技术人员所收集的数据。这种特征将是非常昂贵且在技术上有困难。每个工具的排放值随着配方和支持装备参数的调整而改变。为了确保在过去经认证的工厂在未来可以继续控制排放，生产设施和生产厂(foundry)通常必须进行工艺和支持装备调整。为了精确地测量特定成套装备的排放，必须使得适当的排放物取样口(sample port)可以用于测量在处理工具和减除(abatement)之后的输出。工厂排气道位置(factory stacklocations)也需要具有适当的取样口。实现规定的成套分析工具以及工业认可的协议和方法是非常昂贵的。排放特征化(emissions characterization)是非常耗时的且必须在多个处理周期中进行，以保证可精确地代表工厂排放的在统计上显著的数据。考虑精确性和可重复性的数据分析需要由专家和/或经认证的化学工程师来收集并解释数据。对每个数据组，计量(metrology)工具组需要证明文件、认证和校准(calibration)。进行这种测量的第三方公司需要一个月或以上来安排，并需要一个月或以上来收集解释数据并写出报告。由于担心生产损失和工厂受扰乱，很难安排数天的访问时间(每个工具)以在生产条件下收集排放测量结果。全球的各个位置、区域和国家具有不同的管制排放要求。许多要求包括由可信的计量支持的每日、每季和/或每年的累计报告。地方水处理厂对输入净水厂的水各有不同的最低要求，使用者的排放物必须被认证达到这些要求。
发明内容
本文提供用于增强控制、监测和记录电子装置制造系统的引入化学物和功率使用以及排放的方法和设备。在一些实施例中，根据本发明的集成辅助生产层系统可以监测辅助生产层装备的能源使用。对于系统，工具可以进入许多不同深度的能源节约模式中，例如空闲(浅层能源节约，其中生产装备可以在数秒内恢复至正常生产而不影响质量或产量)、睡眠(深层能源节约，其中生产装备可以在数分钟内恢复)、或休眠(非常深层能源节约模式，其中生产装备会需要数小时来恢复，以不影响质量或产量)。在一些实施例中，对于功率和能源消耗，系统可以监测并显示辅助生产层内的所有气体排放，以及Semi S23方法报告CO2当量((^equivalent)排放。系统可以监测来自处理工具和辅助生产层装备的所有排出物处理气体以及能源使用。基于已知的破坏去除效率(Destruction RemovalEfficiencies),系统可以计算系统的实际气体和CO2当量排放,列表显示随着时间的这些排放、并在被要求时报告这些排放。系统还可以监测所有内部能源使用，并还为内部能源使用提供当量CO2排放。在一些实施例中，用于提供半导体制造工具的能源使用统计的设备可以包括控制器，控制器确定一个或多个制造系统辅助生产层的能源使用测量组、并报告能源使用测量组。
在一些实施例中，用于提供半导体制造工具的能源使用统计的系统可以包括一个或多个控制器，控制器确定一个或多个制造系统辅助生产层的能源使用测量组；并向远程服务器报告能源使用测量组；其中远程服务器对来自一个或多个控制器的能源使用测量进行聚合(aggregate)并提供经聚合的能源使用报告。在一些实施例中，用于提供半导体生产工具的能源使用统计的方法可以包括确定耦合至控制器的一个或多个制造系统辅助生产层的能源使用测量组；以及报告能源使用测量。本发明的其它和进一步的实施例将于下文描述。
本发明的实施例已在上文中简短概述并将在下文中详细描述，通过参照附图中示出的本发明的示例性实施例可以理解本发明的实施例。但是应当注意，附图仅示出本发明的典型实施例，因此不应当认为是对本发明范围的限制，因为本发明可以容许有其它等效的实施例。图I是根据本发明的一些实施例的用于操作电子装置制造系统辅助生产层的系统的示意图。图2是根据本发明的一些实施例的用于电子装置制造系统中的集成辅助生产层系统的不意图。
图3A至图3C示出根据本发明的一些实施例的集成辅助生产层系统的示例性能源节约计。图4是根据本发明的一些实施例的用于操作电子装置制造系统辅助生产层的控制器的框图。图5是示出根据本发明的一些实施例的用于操作电子装置制造系统辅助生产层的方法的流程图。为了便于了解，尽可能地使用相同的附图标记来标明共同出现在各图式中的相同的组件。附图并未按比例绘制并且为清晰起见可被简化。需考虑一个实施例的组件和特征可以有益地结合于其它具体实施例中，而不需要进一步详述。
具体实施例方式本发明的实施例为辅助生产层提供改进的控制系统，改进的控制系统可以有利地列表显示并报告具有集成辅助生产层控制系统的电子装置制造系统的能源使用和能源节约。在一些实施例中，根据本发明的集成辅助生产层系统可以监测辅助生产层装备的能源使用，并且在工具进入空闲模式时总计系统的能源节约。在一些实施例中，系统可以监测并显示辅助生产层内的所有气体排放以及CO2当量排放。辅助生产层可以包括辅助装置，例如，减除工具、AC(交流)功率分配器、主真空泵、备用真空泵、水泵、冷凝器(chillers)、热交换器、处理冷却水供应和传输系统、电力供应和传输系统、惰性气体排放处、阀、装置控制器、洁净干燥空气供应和传输系统、环境空气供应和传输系统、惰性气体供应和传输系统、燃料供应和传输系统、触摸屏幕、处理逻辑控制器、试剂(reagent)供应和传输系统等。使用该装备导致辅助生产层通常利用大量的能源和其它资源、需要更多维护、并产生大量的废热(waste heat)，这导致有害的环境影响。 所有这些对于半导体代工厂经营者来说是非常昂贵的。辅助生产层装备一般被设计成在高产能模式(“高能量模式”)中连续地运行并且已经在高产能模式(“高能量模式”)中连续地运行，以减少辅助生产层遭遇来自处理室的不能完全减除的最严重情况排出物负荷的可能性。冷凝器和泵可在最大功率消耗下运行，以确保处理室所需要的适当流动和冷却能力。排气管线温度控制可在最大能源消耗下进行，以确保可以有最大的供热或散热能力，即便处理和惰性气体流以及室压力的需求可以从最小变动至最大。因为一些或许多单独的辅助生产层部件或部件附加的处理工具的高能源消耗和不佳的功率因数(power factor)，这种辅助生产层装备设计会是有效的但效率低。在共同拥有的美国专利申请案序号No. 12/365, 894中提供具有适合如在此描述般修改并使用的集成辅助生产层的电子装置制造系统的示例，该申请的申请人是DanielO. Clark等人、申请日为2009年2月4日、且名称为“Methods and Apparatus forOperating an Electronic Device Manufacturing System”，该申请通过引用整体结合于本说明书中。图I是用于根据本发明的一些实施例的用于操作电子装置制造系统辅助生产层的系统100的示意图。系统100可以包括可以经由通信连接106连接至处理工具104的处理工具控制器102。处理工具控制器102可以是适合控制处理工具104操作的任何微型计算机、微处理器、逻辑电路、硬件和软件的组合等。例如，处理工具控制器102可以是个人计算机、塔式服务器、单板计算机(single board computer)、和/或紧凑型PCI (Compact PCI)等。处理工具104可以是需要辅助生产层支持系统的排放减除和/或其它资源的任意电子装置制造处理工具。通信连接104(以及本文描述的任何其它通信连接)可以是硬接线式(hardwired)或无线式，且可以使用任何适合的通信协议，例如SECS/GEM、HSMS、OPCjP /或设备网(Device-Net)。处理工具控制器102可以借助于通信连接110连接至辅助生产层前端控制器108。辅助生产层前端控制器108可以是适合控制辅助生产层辅助系统/装置104的任意微型计算机、微处理器、逻辑电路、硬件和软件的组合等。例如，处理工具控制器108可以是个人计算机、塔式服务器、单板计算机、和/或紧凑型PCI (Compact PCI)等。
辅助生产层前端控制器108可以转而经由通信连接120、122、124和126分别连接至辅助生产层辅助系统/装置112、114、116和118。辅助生产层辅助系统/装置可以各自具有控制器(未示出)，例如可编程逻辑控制器(PLC)。可替换地，辅助生产层前端控制器108可以对任意或全部辅助生产层辅助系统/装置执行低阶PLC控制器的功能。虽然图示了四个辅助生产层辅助系统/装置，应当注意的是，多于或少于四个辅助生产层辅助系统/装置可以被连接至辅助生产层前端控制器108。辅助生产层辅助系统/装置可以包括减除工具、AC(交流)功率分配器、主真空泵、备用真空泵、水泵、冷凝器、热交换器、处理冷却水供应和传输系统、水回收和/或处理系统、电力供应和传输系统、惰性气体排放处、阀、装置控制器、洁净干燥空气供应和传输系统、环境空气供应和传输系统、惰性气体供应和传输系统、燃料供应和传输系统、触摸屏幕、处理逻辑控制器、试剂供应和传输系统等。在操作时，处理工具控制器102可以通过操作一个或多个机器人、门、泵、阀、等离子体产生器、电源等来控制处理工具104。如上所述，处理工具控制器102可以持续不断地注意处理工具104的每个腔室和处理工具104整体的状态和资源需求。处理工具控制器102可以访问数据库(未示出)，处理工具控制器102可以使用数据库来计算腔室(未示出)和处理工具104整体的资源需求。此外，处理工具控制器102可以连接至辅助生产层中的仪 器(未示出)，处理工具控制器102可以从该仪器计算辅助生产层系统和/或装置的资源需求。可替换地，辅助生产层前端控制器108可以连接至辅助生产层中的仪器(未示出)，并可以计算辅助生产层系统和/或装置的资源需求，并将关于辅助生产层系统和/或装置的资源需求的信息提供给处理工具控制器102。处理工具控制器102可以将这样的资源需求传达给辅助生产层前端控制器108，辅助生产层前端控制器108可以转而经由通信连接119、120、122、124和126通过操作泵、开关阀、电源和/或其它硬件以控制一个或多个辅助生产层辅助系统/装置112、114、116和118。以此方式，操作辅助生产层装备需要的能量可以被减少至一水平，该水平提供充足的资源以安全地有效率地操作处理工具104并且将从处理工具104流出的排放完全减除。“充足的资源”代表可以避免负面影响处理工具104(和/或处理工具的产量和/或效率)的最小资源量加上最小所需资源以上的任意附加资源量，以提供期望的安全性和/或误差裕度(margin)。辅助生产层装备的管理可以包括在低功率状态下操作辅助生产层装备的一个或多个组件(例如泵、冷凝器、管线加热器等)以节省能源和排放的需求。可以在辅助生产层装备的特定组件不被使用时、或者在辅助生产层装备能够在低功率状态下操作而在不影响系统性能时，进入该低功率状态。例如，在生产处理的不同步骤中，多种辅助生产层设备组件会不需要，并因而可以根据多少时间之后会需要该组件而被置于睡眠、空闲、休眠或关闭状态。节省功率的低功率状态的示例包括空闲状态、睡眠状态以及休眠状态。这三个节省功率状态的主要差异在于持续期间以及能量消耗。较空闲模式为更深层次的功率节省(例如睡眠或休眠)需要更长的时间以从能源节约模式中回复，以实现完全生产而不影响生产处理的质量和产量(yield)。将处理室和相关的辅助生产层装备回复至最佳已知方法(Best Known Method，BKM)温度和压力可以根据从与辅助生产层装备和处理室的功率节省状态相关的BKM腔室条件的偏离程度而花费数秒、数分钟或数小时。空闲状态通常持续数秒，睡眠状态通常持续数分钟，而休眠状态通常持续数小时。在这些条件下的能源节约操作条件由处理工具控制器102或辅助生产层前端控制器108预先确定。这些能源节约操作条件是平台、腔室、以及处理专用的。处理工具102以及相关的制造系统辅助生产层可以根据操作需要而具有各种不同的功率配置。例如，功率配置可以存在以下情况处理工具处于关闭状态，而各种气体流动和减除系统以完全能力操作以在完成生产操作之后执行停机操作。为了本发明，术语“低功率配置”代表处理工具102和/或制造系统辅助生产层的一个或多个组件受到一个或多个控制器指示而在功率节省模式下操作时的任意状态，例如在特定处理配方步骤中或非生产空闲操作模式(例如上文所述的空闲、睡眠和休眠状态)或关闭状态期间内的不同的能源消耗等级。在进入低功率配置之前，处理工具控制器102或辅助生产层控制器108验证处理工具104能够在低功率配置下操作。在进入低功率空闲、睡眠或休眠的节省模式之前，处理工具控制器102或辅助生产层控制器108验证处理室中没有水、且在短时间内将不需要支持装备的处理室。来自处理工具的特定信息(例如状态变量ID(SVID)和收集到的事件ID(CEID))(例如气体名称和流动、腔室状态、配方和批量(lot)开始/停止等)将被监测， 以确保系统在结束低功率模式时可以进入稳定就绪状态。处理工具控制器102或辅助生产层控制器108还验证进入或退出低功率配置将不会对腔室下次启动时使用的第一个晶片产生任何不利的影响。处理工具控制器102或辅助生产层控制器108可以按照各种方式使得辅助生产层装备进入低功率配置。在一些实施例中，通过手动要求(例如通过使用者使用处理工具控制器102上的界面来选择低功率选项)来触发进入低功率配置。在一些实施例中，基于与处理工具关联的暂停触发器(time out trigger)来触发低功率配置(例如,受制于上文列举的对进入低功率配置的要求，处理工具在预定的期间无动作后自动地进入低功率配置)。在一些实施例中，工厂控制器128发送指示辅助生产层装备进入低功率配置的指令。在一些实施例中，集成辅助生产层系统与成套“开放平台(open platform)”装备进行通信，以对生产应用提供处理工具的较低碳足迹操作。例如，图2示出这样的系统的一个非限制性构造，示出具有减除模块、冷却水模块、泵模块、远程AC(交流)电源盒、不间断电源(UPS)以及控制模块的紧凑集成系统。开放平台有利地适应客户的装备偏好，并达到最低环境足迹、最佳技术性能、最高产量和最低购置成本。例如，这样可配置的辅助生产层系统可以在紧凑单元内包括一个或多个减除单元、真空泵、冷凝器、用于各种系统的互连、和设施布置，该紧凑单元经由集成辅助生产层控制器(例如上述辅助生产层前端控制器108)与一个或多个处理工具同步。此外，在此描述的能量控制系统还可以被运用于具有分散的组件(例如，不像图2般是紧凑配置的)的现有或新型的设施中。集成辅助生产层可以运用信号和控制能力以管理例如泵以控制处理室排气和压力、管理冷凝器或加热器以控制对于处理最佳的腔室或组件温度(工具专用的最佳已知方法(BKM))、以及管理最适于处理工具排放要求的减除工具(例如，基于对特定配方的设定点(setpoint)控制的根据处理配方的能源节约)。选择性地,本地A/C、处理冷却水、空气处理器、化学物输送系统、驱气气流、功率调节、机柜排气气流、本地热能交换(thermal crossexchange)等可以由集成辅助生产层控制器管理。根据本发明的集成辅助生产层系统可以监测辅助生产层装备的能源使用，并且当工具进入空闲模式或任意其它低能源生产操作模式时对系统的能源节约进行总计。在一些实施例中，系统可以监测并显示在辅助生产层内所有的气体排放以及CO2当量GWG排放或能源消耗。系统可以监测来自处理工具和辅助生产层装备的所有排放物处理气体和能源使用。基于已知的DRE，系统可以计算系统排放、列表显示随着时间的系统排放、并在被要求时报告系统排放。系统还可以监测所有内部能源使用，并还可以为内部能源使用提供当量CO2排放。系统可以包括实时排放传感器以监测并验证CO2排气排放，且能够基于对于(排放和能源消耗已于先前被特征化的)处理的操作表格来报告排放。在一些实施例中，系统100还包括工厂控制器128。工厂控制器128选择性地连接至辅助生产层前端控制器108和/或处理工具控制器102。工厂控制器选择性地通过 HSMS (E37)、SECS II/GEM(E5/E30)与辅助生产层前端控制器进行通信。工厂控制器108将能源节约状态信息发送至处理工具控制器102和辅助生产层前端控制器108，并从处理工具控制器102和辅助生产层前端控制器108接收能源节约状态信息。对于处理工具104和辅助生产层系统112至118，在从更深层次的能源节约模式进入全生产状态时通常需要额外的回复时间。为了保证不影响第一衬底的质量、产量或产率，工厂控制器128管理工厂调度操作，以确保最佳性能和能源节约。当在延长的时间期间中不需要辅助生产层装备时，工厂控制器128引导装备进入较深层次的能源节约模式，例如“睡眠”或“休眠”操作模式。当需要辅助生产层装备时，工厂控制器128在实际使用之前开始将辅助生产层装备从深层次能源节约操作模式中回复的处理，以不影响生产处理。本发明的实施例可以因此提供以下各项中的一个或多个碳足迹数据收集器和报告；基于总排出气体和DRE所计算出的碳足迹；基于设施使用(电力、水等)计算出的碳足迹；基于配方步骤的时间映射(time mapped)碳足迹；基于对来自配方的每个步骤的排出物所测量到的实时排放的碳足迹报告；基于合格的排放测量、并且对先前测量的来自配方的每个步骤的排出物所计算的碳足迹报告；以及每个工具或整个成套工具的报告。例如，在一些实施例中，集成辅助生产层系统监测并显示辅助生产层工具组的所有气体排放、以及CO2当量排放。利用Semi S23抱怨方法(complaint method)来计算并报告能源节约。在一些实施例中，通过测量利用如上所述的低功率配置的处理工具的功率消耗、并将在低功率配置期间的功率利用与没有受益于低功率配置选项的处理工具的功率消耗相比较，来计算能源节约。还参照图5讨论测量处理工具的能源节约的处理。系统监测来自处理工具的所有排出物处理气体，并且根据DRE测量来计算系统的碳或CO2排放当量。在一些实施例中，可以对每个成套工具提供实时和/或累积当量CO2排放报告。在沉积、清洁、空闲模式以及待机期间来自处理室的排放显著变化。工厂工具的利用可以根据工具不同而变化，并且可以低至20%或是高至95%。本发明提供的数据收集和分析可对于处理模式和正常运行时间(uptime)精确地调节累积的和瞬时映射的排放和能源消耗报告。由集成辅助生产层系统监测工具消耗，所以工具消耗还被包括在CO2当量报告中。本发明的具体实施例使用实时排放传感器，以确认工具操作达到特定的性能或符合对已发布配方的经认证排放结果的参照数据库。将累积或实时度量报告连接至已发布的最佳已知方法(BKM)及配方、或来自装备的实时排放传感器和反馈信号，表示在精确度和可靠性上显著的改进。本发明自动调整排放报告以说明正常运行时间和各种操作模式水平(高、低和空闲)。报告可以是简单的随着时间或即时的总共累积。报告可以是简单的累积的或即时的CO2当量计、或详尽且纪录时间的数据文件或电子表格。图3A至图3C示出根据本发明的一些实施例的集成辅助生产层系统的示例性能源节约计，该能源节约计可以显示来自集成辅助生产层系统的操作的能源节约结果。图4示出根据本发明的一些实施例的用以提高电子装置制造系统的效率的示例性控制器400。在一些实施例中，控制器400被实施为可以操作以对一个或多个辅助生产层的能源使用执行数据收集、处理和报告的计算机。控制器400包括中央处理器(CPU) 402、多个支持电路404以及存储器406。尽管参照具有CPU、支持电路以及存储器的计算机来讨论控制器400的本示例性实施例，但是在本领域技术人员将理解，控制器400可以按照各种方式实现，包括专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)、片上系统(SOC)等。控制器400的各种实施例还可以被集成于处理工具控制器102或辅助生产层前端控制器108中，并具有本领域已知的相应输入/输出接口。支持电路404可以包括显示装置和其它电路，以支持CPU 402的功能。这些电路可以包括时钟电路、缓存、电源、网卡、视频电路等。 存储器406可以包括只读存储器、随机存取存储器、可移动存储器、磁盘驱动器、光学驱动机和/或其它形式的数字储存器。存储器406配置成储存操作系统408、功率使用数据处理模块410、控制器模块412以及排放数据表414。操作系统408执行对控制器400的一般操作进行控制，包括促进各种处理、应用和模块的执行以控制一个或多个制造系统辅助生产层。控制器模块412操作以促进一个或多个制造系统辅助生产层的控制和操作。虽然参照用于控制一个或多个制造系统辅助生产层的控制器400来示出本发明的本示例性实施例，但是本领域技术人员将理解，在此讨论的功率管理和数据计算操作可以由为收集数据而联接至制造系统辅助生产层但与控制器400分开并远离的系统来执行。功率使用数据处理模块410操作以从一个或多个制造系统辅助生产层接收数据，并计算一个或多个制造系统辅助生产层的功率使用。在一些实施例中，接收到的数据包括来自各个辅助生产层的传感器信息。在一些实施例中，接收到的数据包括来自控制器模块412的信息，该信息描述一个或多个制造系统辅助生产层的当前操作状态。功率使用数据处理模块410通过将制造系统辅助生产层的当前功率使用与制造系统辅助生产层的峰值功率消耗进行比较，来计算一个或多个制造系统辅助生产层的功率使用。可以对特定时刻、特定时间帧期间、或处理工具的累计值计算功率使用统计。在一些实施例中，功率使用统计是根据每个处理化学物的预定破坏去除效率而运算，且在减除处理完成后报告该化学物的累计排放统计。可以在单独处理工具中或累加性的由生产线或整个工厂产生化学物消耗统计报告和减除后排放统计报告。在一些实施例中，预定破坏去除效率是根据预定排放测量标准而计算出，例如Semi S23和/或Semi/EPA排放报告标准。在一些实施例中,通过将当前功率消耗与功率使用数据表414进行比较来计算出功率使用统计。功率使用数据表414可以包括描述制造系统辅助生产层在峰值操作状态下的功率使用的数据。在一些实施例中，根据处理工具104和关联制造系统辅助生产层的配置来动态地产生功率使用数据表414。参考图5进一步描述功率使用数据处理模块414计算功率使用统计的方法。图5是示出根据本发明的一些实施例的用于操作电子装置制造系统辅助生产层的方法500的流程图。方法500开始于步骤502并进行至步骤504。在步骤504，方法500确定对一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量。如上所述，可以使用从生产辅助生产层接收到的传感器数据、从处理工具控制器102或辅助生产层控制器108接收到的控制器数据、或从根据描述处理工具104和相应制造系统辅助生产层的当前操作状态的信息的功率使用数据表414，来确定能源使用。在确定当前制造系统辅助生产层的能源使用之后，方法500进行至选择性步骤506，或在一些实施例中直接进行至步骤508。在选择性步骤506中，方法500确定在步骤504中确定的确定能源使用与基线能源使用配置之间的差异。基线能源使用配置描述没有受益于低功率能源使用配置的处理工具和相关辅助生产层的能源使用。使用确定比较，以表示由控制器在低功率配置下操作处理工具104和/或一个或多个辅助生产层的 能力所提供的总能源节约。在判断确定的能源使用和基线能源使用配置之间的差异后，方法500进行至步骤508。在一些实施例中，能源使用的差量(delta)还可以由外部装置进行测量并手动输入到系统中。在步骤508中，方法500报告能源使用测量。报告操作可以是选择性地以一个或多个不同的方式(如参考要素510、512和514描述的)执行。在要素510中，方法500在处理工具控制器上在本地显示能源使用测量。在一些实施例中，方法500可以利用耦合至控制器本身的显示屏。在一些实施例中，为了显示机器诊断数据的特定目的，方法500可以经由耦合至控制器的外部显示工具来显示数据。在要素512中，方法500可以在远程显示测量，例如经由特定使用于数据聚合和报告的远程显示器。在一些实施例中，为此目的，工厂控制器128用作远程显示器。远程服务器可以通过单独的制造系统辅助生产层、处理工具、工厂生产线、工厂基地等来聚合数据并产生报告。本领域技术人员可以理解，可以由各种不同方法来组织并展示这样的能源使用数据，例如在特定瞬间、经过一段时间、以及作为在处理工具或设施的使用寿命里的聚合。在要素514中，方法500可以发送能源使用测量至远程服务器。例如，测量可以被发送至公司总部以进行分析，或发送至政府机关以确保符合排放控制标准。在报告能源使用测量之后，方法500在步骤516处结束。虽然上文所述涉及本发明的实施例，但是在不背离本发明的基本范围的情况下，可以设计本发明的其它和进一步的实施例。
权利要求
1.一种用于提供半导体制造工具的能源使用统计的设备，所述设备包括 控制器，所述控制器 确定一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量；以及 报告所述一组能源使用测量。
2.根据权利要求I所述的设备，其中，所述控制器还构造成通过对所述一组能源使用测量与基线组能源使用测量进行比较来计算并报告能源节约。
3.根据权利要求I所述的设备，其中，所述能源使用测量代表所述一个或多个制造系统辅助生产层在低功率配置中的能源消耗。
4.根据权利要求I至3中任一权利要求所述的设备，其中，所述控制器是辅助生产层前端控制器。
5.根据权利要求I至3中任一权利要求所述的设备，其中，针对瞬时时间(instantaneous time)、时间巾贞、或所述制造工具的使用寿命当中的至少一者来报告所述能源使用测量。
6.根据权利要求I至3中任一权利要求所述的设备，还包括用于显示所述一组能源使用测量的显示装置。
7.根据权利要求I至3中任一权利要求所述的设备，其中，所述控制器还构造成向远程服务器报告所述一组能源使用测量。
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述远程服务器根据预定排放测量标准来提供排放追踪和报告。
9.一种用于提供半导体制造工具的能源使用统计的系统，所述系统包括 一个或多个控制器，所述一个或多个控制器 确定一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量；以及 向远程服务器报告所述一组能源使用测量；以及 其中，所述远程服务器对来自所述一个或多个控制器的所述能源使用测量进行聚合(aggregate)并提供经聚合的能源使用报告。
10.一种用于提供半导体制造工具的能源使用统计的方法，所述方法包括以下步骤 确定耦合至控制器的一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量；以及 报告所述能源使用测量。
11.根据权利要求10所述的方法，还包括以下步骤 通过对所述一组能源使用测量和基线组能源使用测量进行比较，来计算能源节约；以及 报告所述能源节约。
12.根据权利要求10或11所述的方法，还包括至少一个以下步骤 其中，所述能源使用测量代表所述一个或多个制造系统辅助生产层在低功率配置中的能源消耗；或 其中，针对瞬时时间、时间帧、或所述制造工具的使用寿命当中的至少一者来报告所述能源使用测量。
13.根据权利要求10或11所述的方法，还包括以下步骤显示所述一组能源使用测量。
14.根据权利要求10或11所述的方法，其中，向远程服务器报告所述一组能源使用测量。
15.根据权利要求10或11所述的方法，其中，所述报告所述能源使用测量的步骤还包括以下步骤以与预定排放测量标准一致的格式，来报告所述一组能源使用测量。
全文摘要
提供用于增强控制、监测和记录电子装置制造系统的引入化学物和功率使用以及排放的方法和设备。在一些实施例中，集成辅助生产层系统可以监测辅助生产层装备的能源使用。对于系统，工具可以进入许多不同深度的能源节约模式中，例如空闲(浅层能源节约，其中生产装备可以在数秒内恢复至正常生产而不影响质量或产量)、睡眠(深层能源节约，其中生产装备可以在数分钟内恢复)、或休眠(其中生产装备会需要数小时来恢复，以不影响质量或产量)。在一些实施例中，系统可以监测并显示在辅助生产层内的所有气体排放，以及Semi S23方法报告CO2当量排放。系统可以监测来自处理工具和辅助生产层装备的排出物处理气体以及能源使用。
文档编号G05B19/418GK102667643SQ201080051805
公开日2012年9月12日 申请日期2010年11月16日 优先权日2009年11月16日
发明者丹尼尔·O·克拉克, 优瑟夫·A·罗勒迪, 杰伊·J·俊, 肖恩·柯若弗德, 达娜·特里布拉, 马克西米·凯耶尔 申请人:应用材料公司