专利名称：一种液氮冷头控温装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种控温冷头装置，尤其是一种使用液氮循环作为冷头降温方式的装置。
背景技术：
冷头一般是作为低温捕集器用于捕集真空室中的污染，主要放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。所以低温控制是冷头技术的一项关键技术。目前市面上常见的冷头，大都是传统的氦压缩机搭冷头的结构。而目前大规模使用的国产氦压缩机的性能不是很稳定性，在温控技术上存在一定的风险，而国外进口的氦压缩机价格比较高昂，使用和维护的费用都比较贵，所以从性价比上来看，用氦压缩机来实 现冷头的降温功能的可行性越来越小。所以，目前亟需一种既能够稳定控温，性价比又高的装置。
实用新型内容实用新型目的针对现有技术的不足，我们经过长期的实践摸索，创造了一种液氮冷头控温装置。技术方案为了实现上述实用新型目的，本实用新型所采用的技术方案为一种液氮冷头控温装置，包括冷头、液氮罐、液氮进口和液氮出口，在液氮罐的上端设有隔稳屏蔽层，所述隔稳屏蔽层和液氮罐之间设有一组加热组件。所述的加热组件为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。液氮罐采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。有益效果本实用新型与现有技术相比，其有益效果是1、使用循环液氮的液位高度来实现温度控制，效果明显且易于操作；2、运用液氮来实现温控的性价比较高，大幅度节约了成本；3、电加热器采用PID方式控制，可控性较高。
附图为本实用新型一种液氮冷头控温装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图，通过一个最佳实施例，对本技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。如图所示，一种液氮冷头控温装置，包括冷头I、液氮罐6、液氮进口 4和液氮出口5，在液氮罐6的上端设有隔稳屏蔽层2，所述隔稳屏蔽层2和液氮罐6之间设有一组加热组件3。加热组件3为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。所述的液氮罐6采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。实际工作的时候，冷头I固定在液氮罐6上，通过打开液氮阀门的开 关，控制低温液氮的液量来达到冷头降温的目的，当冷头I需要升温的时候，则通过加热组件3来实现。
权利要求1.一种液氮冷头控温装置，包括冷头(I)、液氮罐￠)、液氮进口(4)和液氮出口(5)，其特征在于在液氮罐(6)的上端设有隔稳屏蔽层(2)，所述隔稳屏蔽层⑵和液氮罐(6)之间设有一组加热组件(3)。
2.根据权利要求I所述的一种液氮冷头控温装置，其特征在于所述的加热组件(3)为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。
3.根据权利要求I所述的一种液氮冷头控温装置，其特征在于所述的液氮罐(6)采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。
专利摘要本实用新型公开了一种液氮冷头控温装置，包括冷头、液氮罐、液氮进口和液氮出口，在液氮罐的上端设有隔稳屏蔽层，所述隔稳屏蔽层和液氮罐之间设有一组加热组件。加热组件为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。液氮罐采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。这套装置有以下几点好处，使用循环液氮的液位高度来实现温度控制，效果明显且易于操作；运用液氮来实现温控的性价比较高，大幅度节约了成本；电加热器采用PID方式控制，可控性较高。
文档编号G05D23/19GK202522942SQ20122013440
公开日2012年11月7日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者戴建新 申请人:常熟市虞华真空设备科技有限公司