专利名称：水位控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于半导体制造领域，涉及ー种水位控制装置。
背景技术：
在半导体集成电路的各个制造エ艺中，常需要用到各种液体。通常使用超纯水来清洗晶片及エ件；对于多种有机杂质或无机杂质还需要进行化学清洗，如对于硅片表面污染，需要用有机溶剂、碱液、合成洗涤剂等清洗有机杂质，用盐酸、硫酸、硝酸等无机酸清洗无机杂质；在抛光エ艺中需用到铬离子抛光液、铜离子抛光液等进行化学机械抛光；在扩散エ艺中还常用到液态掺杂源，如硼酸三甲酷，三氯氧磷，三氯化磷等；在光刻エ艺中使用显影液；在化学腐蚀エ艺中要用到腐蚀液等。在生产过程中，这些液体通过液体供应箱和输送管路输送至各个生产设备以供使用。实际使用过程中，为了保证生产正常，稳定、充足的液体供应非常重要，因此实际使用过程中，需要对液体供应箱里的液体进行实时监测并使液体的水位維持在在一个恒定水平。现有技术中，液体供应箱的水位控制系统通常采用传感器，其利用传感器的探针及电极对水的感应并相应对管道控制阀门或水泵进行控制达到对液体供应箱内液体水位的控制。然而，实际使用时，影响液体供给的因素非常多，其中还包括多种不能由人为进行控制的不确定因素，当传感器控制系统失灵时，会出现液体供应箱内液体流干而没有补给的情况，使生产线上出现液体断供，导致エ艺的失败，对生产造成很大影响并带来经济损失。
实用新型内容鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供ー种水位控制装置，用于解决现有技术中液体供应箱内液体流干使生产线上液体出现断供导致エ艺失败的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供ー种水位控制装置，该水位控制装置包括一设有进液口和出液ロ的第一收容腔体以及装设于该第一收容腔体内的水位控制件；所述水位控制件包括固定于所述第一收容腔体底部的第二收容腔体、位于所述第ニ收容腔体内的活塞、一端固定在活塞上、另一端穿通所述第二收容腔体顶部与一浮标连接的连接杆以及贯通所述浮标并固定于所述第一收容腔体底部的至少ー根固定导杆；所述进液ロ与所述第二收容腔体连通。可选地，所述连接杆通过设于所述第二收容腔体顶部的ー开ロ穿通所述第二收容腔体。可选地，所述开ロ的面积大于所述连接杆的横截面积。可选地，所述连接杆上设有螺纹并通过与所述螺纹相配合的至少ー个螺母固定于所述浮标上。可选地，所述活塞与所述浮标相対的一面上设有ー密封圏。可选地，所述进液ロ与所述第二收容腔体的底部或侧壁连通。[0011 ] 可选地，所述第二收容腔体为圆柱体或方形柱体。[0012]可选地，所述浮标在水平面上的投影为圆形、椭圆形、三角形、多边形或不规则图形。可选地，所述第二收容腔体通过焊接的方式或紧固件固定于所述第一收容腔体底部。可选地，所述固定导杆通过焊接、卡固的方式或紧固件固定于所述第一收容腔体底部。如上所述，本实用新型的水位控制装置，具有以下有益效果:能自动往液体供应箱内注入液体达到预设水位，并在液体使用过程中能自动补给使液体保持在预设水位，避免液体供应箱内液体流干而没有补给使生产线上出现液体断供导致エ艺失败的问题，減少不必要的浪费，提高生产效率。
图1显示为本实用新型的水位控制装置中的水位控制件在开ロ打开时的示意图。图2显示为本实用新型的水位控制装置在自动注入液体时的剖面示意图。图3显示为本实用新型的水位控制装置中的水位控制件在开ロ关闭时的示意图。图4显示为本实用新型的水位控制装置在保持水位时的剖面示意图。元件标号说明110第一收容腔体111进液ロ112出液 ロ120水位控制件121第二收容腔体122活塞123浮标124连接杆125固定导杆126开ロ127螺母128密封圈
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。请參阅图1至图4。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所掲示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所掲示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。本实用新型的水位控制装置包括第一收容腔体和装设于该第一收容腔体内的水位控制件。所述第一收容腔体用于储存和供应相应生产线上所需液体，所述水位控制件用于控制所述第一收容腔体内的液体的水位。首先，请參阅图1，显示为本实用新型的水位控制装置中的水位控制件在开ロ打开时的示意图。如图所示，所述水位控制件120包括第二收容腔体121、位于所述第二收容腔体121内的活塞122、一端固定在活塞122上、另一端穿通所述第二收容腔体121顶部与一浮标123连接的连接杆124以及贯通所述浮标123的至少ー根固定导杆125。具体的，所述连接杆124通过设于所述第二收容腔体121顶部的ー开ロ 126穿通所述第二收容腔体121。所述开ロ 126的面积大于所述连接杆124的横截面积，即所述开ロ126与所述连接杆124之间有一空间，以利于液体从此空间注入所述第一收容腔体。具体的，所述浮标123可固定于所述连接杆124的不同位置，其中不同位置对应不同的预设水位。所述浮标123与连接杆124的固定方式可为螺纹与螺母相配合，本实施例中，所述连接杆124上设有螺纹，所述连接杆124通过该螺纹及与该螺纹相配合的两个螺母127固定于所述浮标123上，两个螺母127分别位于所述浮标123的上方和下方，避免浮标沿着连接杆124上下移动。需要指出的是，所述浮标123与连接杆124的固定方式并不限于螺纹与螺母相配合，在其它实施例中，也可以为其它固定方式，如所述连接杆124上设有至少ー个锯齿，所述浮标123的材料具有弾性，可通过所述锯齿卡固于连接杆124的不同位置。具体的，所述浮标123可沿着贯通其的至少ー根固定导杆125随水位的变化上下自由移动，本实施例中，固定导杆125的数量为2根。所述浮标123随液体水位上下移动时，可通过固定于其上的连接杆124带动所述活塞122上下移动。所述活塞122与所述浮标123相対的一面上还设有一密封圈，当所述活塞122上升到与所述浮标123接触时，所述密封圈可防止液体继续从所述开ロ 126流出。具体的，所述第二收容腔体121的形状没有限制，优选为圆柱体或方形柱体，本实施例中为圆柱体。所述浮标在水平面上的投影的的形状也没有限制，可为圆形、椭圆形、三角形、多边形或不规则图形等，本实施例中优选为圆形。所述浮标采用低密度的材料制成，使其始終能够浮于液面上方。再请參阅图2，显示为本实用新型的水位控制装置在自动注入液体时的剖面示意图。如图所示，所述水位控制件120的第二收容腔体121固定在所述第一收容腔体110的底部，其固定方式可为焊接的方式，也可以为通过紧固件如螺丝和螺母的配合而固定。本实施例中优选为焊接的方式，使所述第一收容腔体110与所述第二收容腔体121的底部之间紧密接触，达到较好的密封效果，避免液体通过所述第二收容腔体121的底部泄露。所述固定导杆125也固定于所述第一收容轻体110的底部，可通过焊接、卡固的方式固定，也可通过紧固件固定。所述固定导杆125的形状不限，本实施例中所述固定导杆125的形状优选为圆柱体，其与所述第一收容腔体110之间的连接方式优选为通过螺纹连接，具体方式为所述第一收容腔体110底部与所述固定导杆125接触的位置设有凹槽，凹槽内部设有第一螺纹，同时固定导杆125底部侧壁也设有与所述凹槽内的螺纹相配合的第二螺纹，通过旋转可将固定导杆125固定于第一收容腔体110底部的所述凹槽内(此固定方式未详细图示)。具体的，所述第一收容腔体设有进液ロ 111和出液ロ 112，其中，所述进液ロ 111与所述第二收容腔体121连通。所述进液ロ 111可位于所述第一收容腔体110的底部或侧部，相应地，所述进液ロ 111与所述第二收容腔体121的底部或侧壁连通。本实施例中，所述进液ロ 111设置于所述述第一收容腔体110的底部，与所述第二收容腔体121的底部连通。使用中，所述浮标123浮于所述第一收容腔体110内的液体上方，当液体未达到预设水位时，活塞122未达到所述第二收容腔体121的顶部，液体从进液ロ 111流入第二收容腔体121内，并通过第二收容腔体121顶部的开ロ 126注入到第一收容腔体110内，使液体水位上升。只要未达到预设水位，所述开ロ 126将一直开启，液体将不断通过所述开ロ 126自动注入到第一收容腔体110内。如上所述，预设水位可通过将浮标123固定于连接杆124上的不同位置来实现。然后请參阅图3，显示为本实用新型的水位控制装置中的水位控制件在开ロ关闭时的示意图。如图所示，此时活塞122达到所述第二收容腔体121的顶部，所述开ロ 126被堵住，同时密封圈128可加强密封的效果，达到使所述开ロ 126关闭的目的。最后请參阅图4，显示为本实用新型的水位控制装置在保持水位时的剖面示意图。如图所示，当浮标123随着液体上升到预设水位时，所述活塞122也同时到达所述第二收容腔体121的顶部，使所述开ロ 126关闭，液体停止注入到所述第一收容腔体110内。而一旦所述第一收容腔体110内的液体通过所述出液ロ 112流出被消耗，液体水位将下降，浮标123也随之下降，使活塞122离开所述第二收容腔体121的顶部，开ロ 126将重新开启，液体注入到所述第一收容腔体110内。如此往复循环，液体消耗了将会自动补给，到达预设水位后停止注入，液体始终维持在预设水位，保证了生产线上的连续不断供应。综上所述，本实用新型的水位控制装置能根据浮标固定在连接杆上位置预先设定水位，并自动往液体供应箱内注入液体达到预设水位，并在液体使用过程中自动补给使液体保持在预设水位，保证连续供应，避免生产线上出现液体断供导致エ艺失败的问题，減少不必要的浪费，提高生产效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所掲示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
权利要求1.ー种水位控制装置，其特征在于:该水位控制装置包括一设有进液口和出液ロ的第一收容腔体以及装设于该第一收容腔体内的水位控制件；所述水位控制件包括固定于所述第一收容腔体底部的第二收容腔体、位于所述第二收容腔体内的活塞、一端固定在活塞上、另一端穿通所述第二收容腔体顶部与一浮标连接的连接杆以及贯通所述浮标并固定于所述第一收容腔体底部的至少ー根固定导杆；所述进液ロ与所述第二收容腔体连通。
2.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述连接杆通过设于所述第二收容腔体顶部的一开ロ穿通所述第二收容腔体。
3.根据权利要求2所述的水位控制装置，其特征在于:所述开ロ的面积大于所述连接杆的横截面积。
4.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述连接杆上设有螺纹并通过与所述螺纹相配合的至少ー个螺母固定于所述浮标上。
5.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述活塞与所述浮标相対的一面上设有ー密封圈。
6.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述进液ロ与所述第二收容腔体的底部或侧壁连通。
7.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述第二收容腔体为圆柱体或方形柱体。
8.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述浮标在水平面上的投影为圆形、椭圆形、三角形或多边形。
9.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述第二收容腔体通过焊接的方式或紧固件固定于所述第一收容腔体底部。
10.根据权利要求1所述的水位控制装置，其特征在于:所述固定导杆通过焊接、卡固的方式或紧固件固定于所述第一收容腔体底部。
专利摘要本实用新型提供一种水位控制装置，包括一设有进液口和出液口的第一收容腔体以及装设于该第一收容腔体内的水位控制件；所述水位控制件包括固定于所述第一收容腔体底部的第二收容腔体、位于所述第二收容腔体内的活塞、一端固定在活塞上、另一端穿通所述第二收容腔体顶部与一浮标连接的连接杆以及贯通所述浮标并固定于所述第一收容腔体底部的至少一根固定导杆；所述进液口与所述第二收容腔体连通。本实用新型的水位控制装置能根据浮标固定在连接杆上的位置预先设定水位，并自动注入液体，液体被消耗时能够自动补给并保持在预设水位，保证连续供应，避免生产线上出现液体断供导致工艺失败的问题，减少不必要的浪费，提高生产效率。
文档编号G05D9/02GK202956669SQ201220564739
公开日2013年5月29日 申请日期2012年10月30日 优先权日2012年10月30日
发明者许亮 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司