一种气体控制系统及其方法
【专利摘要】本发明公开了一种气体控制系统及方法，该气体控制系统包括：机台设备，用于在需要液体时，生成第一控制信号，在不需要液体时，生成第二控制信号；控制器，与机台设备连接，用于接收第一控制信号及第二控制信号；液体供应系统，分别与机台设备的进液管道及控制器连接，并与一气体源装置及一液体源装置连接，当液体供应系统接收到第一控制信号后，执行第一控制信号，获得来自气体源装置的气体，以保持液体供应系统中的液体压力符合预设条件，同时将来自液体源装置的液体通过进液管道供给机台设备；当液体供应系统接收到第二控制信号后，执行第二控制信号，以使气体不能进入液体供应系统，并停止提供液体给机台设备。
【专利说明】一种气体控制系统及其方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及自动控制领域，特别涉及一种气体控制系统及其方法。
【背景技术】
[0002]液体脉冲缓冲器适用于一种应用在半导体、微电子、太阳能等行业的工艺流程中需要间歇、安全、稳定的供应化学品等液体到使用机台的化学品供应系统中。
[0003]而现有技术中的液体脉冲缓冲器本身是依靠持续供给稳定压力的气体来稳定经过缓冲器的液体的压力的。化学品供应系统每天24小时需要多次较短时间的供应化学品到生产设备，因此，所有的设备都必须处于开机状态。
[0004]本申请发明人在实现本申请实施例技术方案的过程中，至少发现现有技术中存在如下技术问题:
[0005]由于所有的设备都必须处于开机状态，所以，存在着液体脉冲缓冲器的进气口会一直处于开启状态，缓冲器内的流体的微小颤动都将导致缓冲器的风囊来回震荡使得进气口需要不停的供气给缓冲器，而这部分气体却从缓冲器的出气口排出，导致极大的浪费的技术问题；
[0006]由于存在上述技术问题，缓冲器的风囊会长期震荡，还会导致风囊变形而损坏缓冲器。
【发明内容】
[0007]本申请实施例提供一种气体控制系统，可以解决现有技术中化学品供应系统的液体脉冲缓冲器的进气口会一直处于开启状态，缓冲器内的流体的微小颤动都将导致缓冲器的风囊来回震荡使得进气口需要不停的供气给缓冲器，而这部分气体却从缓冲器的出气口排出，导致极大的浪费的技术问题的技术问题。
[0008]为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种气体控制系统，该气体控制系统包括:
[0009]机台设备，用于在需要液体时，生成第一控制信号，以及在不需要所述液体时，生成第二控制信号；
[0010]控制器，与所述机台设备连接，用于接收所述第一控制信号及所述第二控制信号;
[0011]液体供应系统，分别与所述机台设备的进液管道及所述控制器连接，所述液体供应系统还分别与一气体源装置及一液体源装置连接，其中:
[0012]当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备；
[0013]当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号后，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备。[0014]优选地，所述气体控制系统还包括:
[0015]一阀控制箱，分别与所述控制器、所述液体供应系统以及所述机台设备连接，所述阀控制箱具有与所述机台设备相对应的阀门；
[0016]其中，当所述阀控制箱接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，以使所述阀门处于开启状态，当所述阀控制箱接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述阀门处于关闭状态。
[0017]优选地，所述控制器具体为可编程逻辑输入输出控制板。
[0018]优选地,所述液体供应系统具体包括:
[0019]液体脉冲缓冲器，具有一进气口、进液口、出液口 ；
[0020]进气控制装置，分别与所述气体源装置、所述进气口连接；
[0021]进液控制装置，分别与所述液体源装置、所述进液口连接；
[0022]液体输出装置，分别与所述出液口、所述机台设备连接；
[0023]其中，当所述进液控制装置接收到所述第一控制信号后，通过执行所述第一控制信号，将所述液体源装置中的液体通过所述进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，再通过所述出液口输送到所述液体输出装置，所述液体输出装置再将所述液体输送到所述机台设备，同时，所述进气控制装置会控制所述进气口打开，以使所述气体源装置中的气体输送到所述液体脉冲缓冲器内，以保持所述液体脉冲缓冲器内的液体压力符合所述预设条件；
[0024]当所述进液控制装置接收到所述第二控制信号后，通过执行所述第二控制信号，所述进液控制装置停止将所述液体通过所述进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，同时，所述进气控制装置会控制所述进气口关闭，以使所述气体不能进入所述液体脉冲缓冲器内。
[0025]优选地，所述进气控制装置具体为一电磁阀，通过所述电磁阀的通电与断电来控制所述液体脉冲缓冲器上的进气口的打开与关闭。
[0026]优选地，所述进气控制装置还包括:
[0027]一流量监控装置，连接在所述进气控制装置与所述进气口之间，用于监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置是否损坏。
[0028]相应地，本申请实施例还提供一种气体控制方法，应用于一气体控制系统中，所述气体控制系统包括:机台设备，与所述机台设备连接的控制器，与所述机台设备的进液管道及所述控制器分别连接的液体供应系统，所述液体供应系统还分别与一气体源装置及一液体源装置连接，所述气体控制方法包括:
[0029]在所述机台设备在需要液体时，生成第一控制信号，以及在不需要所述液体时，生成第二控制信号；
[0030]所述控制器接收所述第一控制信号及所述第二控制信号；
[0031]当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备；
[0032]当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备。
[0033]优选地，所述控制器接收所述第一控制信号及所述第二控制信号之后，所述方法还包括:通过一分别与所述控制器、所述液体供应系统以及所述机台设备连接的阀控制箱来控制所述阀控制箱上与所述机台设备相对应的阀门的开启与关闭，具体为当所述阀控制箱接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，以使所述阀门处于开启状态，当所述阀控制箱接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述阀门处于关闭状态。
[0034]优选地，所述控制器接收所述第一控制信号及所述第二控制信号具体为:
[0035]可编程逻辑器件控制的输入输出控制板来接收所述第一控制信号及所述第二控制信号。
[0036]优选地，所述当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备具体为:
[0037]所述液体供应系统的进液控制装置接收到所述第一控制信号后，通过执行所述第一控制信号，将所述液体源装置中的液体通过所述液体供应系统的液体脉冲缓冲器上的进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，再通过所述液体脉冲缓冲器上的出液口输送到所述液体供应系统的液体输出装置，所述液体输出装置再将所述液体输送到所述机台设备，同时，所述液体供应系统的进气控制装置控制所述液体脉冲缓冲器上的进气口打开，以使所述气体源装置中的气体输送到所述液体脉冲缓冲器内，以保持所述液体脉冲缓冲器内的液体压力符合所述预设条件。
[0038]优选地，所述当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备具体为:
[0039]所述液体供应系统的进液控制装置接收到所述第二控制信号后，通过执行所述第二控制信号，所述进液控制装置停止将所述液体通过所述液体脉冲缓冲器上的进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，同时，所述液体供应系统的进气控制装置会控制所述液体脉冲缓冲器上的进气口关闭，以使所述气体不能进入所述液体脉冲缓冲器内。
[0040]优选地，所述进气控制装置控制所述进气口打开以及控制所述进气口关闭，具体为:通过一电磁阀的通电以及断电来控制所述进气口的打开以及关闭。
[0041]优选地，在所述当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体之后，所述方法还包括:
[0042]通过一连接在所述进气控制装置与所述进气口之间的流量监控装置监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置是否损坏。
[0043]本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点:
[0044]1、由于采用了根据机台设备的实际需求，在缓冲器内的液体不输送时，缓冲器的进气口自动关闭的技术手段，解决了现有技术中化学品供应系统的液体脉冲缓冲器的进气口一直处于开启状态时，缓冲器内的流体的微小颤动都将导致缓冲器的风囊来回震荡使得进气口需要不停的供气给缓冲器，而这部分气体却从缓冲器的出气口排出，导致极大的浪费的技术问题，因此，具有缓冲器的进气口不受内部液体震荡而导致进气口持续进气造成的气体浪费，同时还能在需要缓冲器液体输送时能正常起到缓冲液体压力的作用的技术效果O[0045]2、由于采用了上述的技术手段，因而可以避免因缓冲器内及其后部管道内液体的震荡导致供给缓冲器的气体的浪费，并且减小因液体震荡导致缓冲器内部风囊的长时间来回震荡达到机械疲劳造成风囊损坏的危险，从而提高缓冲器的使用寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0046]图1为本申请实施例中一种气体控制系统的结构示意图；
[0047]图2为本申请实施例中液体供应系统的结构示意图；
[0048]图3为本申请实施例中机台设备生产第一控制信号时，所示气体控制方法的具体流程图；
[0049]图4为本申请实施例中机台设备生产第二控制信号时，所示气体控制方法的具体流程图。
【具体实施方式】
[0050]本申请实施例通过提供一种气体控制系统，解决了化学品供应系统的液体脉冲缓冲器的进气口 一直处于开启状态时，缓冲器内的流体的微小颤动都将导致缓冲器的风囊来回震荡使得进气口需要不停的供气给缓冲器，而这部分气体却从缓冲器的出气口排出，导致极大的浪费的技术问题。
[0051]本申请实施例的技术方案为解决上述技术问题，总体思路如下:
[0052]在现有的气体控制系统中的液体脉冲缓冲器的进气口上连接一进气控制装置，当气体控制系统中的机台设备发出“需要液体”的信号到控制器后，控制器会将接收到的“需要液体”信号发送到液体供应系统，液体供应系统接收到“需要液体”信号后，该液体供应系统中的进液控制装置会启动运行，将一液体源装置中的液体通过液体脉冲缓冲器上的进液口输送到液体脉冲缓冲器中，同时，该液体供应系统中的进气控制装置会控制液体脉冲缓冲器上的进气口打开，并将一气体源装置中的气体输送到该液体脉冲缓冲器中。基于同样的原理，当气体控制系统中的机台设备发出“不需要液体”的信号到控制器后，控制器会将接收到的“不需要液体”信号发送到液体供应系统，液体供应系统接收到“不需要液体”信号后，该液体供应系统中的进液控制装置会停止运行，停止输送液体源装置中的液体到液体脉冲缓冲器中，同时，所述进气控制装置会控制液体脉冲缓冲器上的进气口关闭，停止输送气体源装置中的气体到液体脉冲缓冲器中。
[0053]通过采用本申请实施例中的技术方案，在缓冲器前端的进液控制装置运行时控制缓冲器上的进气口打开以给气，在缓冲器前端的进液控制装置停止运行时控制缓冲器上的进气口关闭以停止给气，从而就能实现对液体脉冲缓冲器上的进气口是否进气的控制。这样就避免了进气口长期给气导致缓冲器的气囊长期处于震荡状态造成风囊使用寿命缩短，以及不必要的能量浪费。
[0054]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
[0055]本申请实施例提供的一种气体控制系统的结构如图1所示，具体包括:
[0056]机台设备101,用于在需要液体时,生成第一控制信号，以及在不需要所述液体时，生成第二控制信号；[0057]控制器102，与所述机台设备101连接，用于接收所述第一控制信号及所述第二控制信号；
[0058]液体供应系统103，分别与所述机台设备101的进液管道及所述控制器102连接，所述液体供应系统103还分别与一气体源装置105及一液体源装置106连接，其中:
[0059]当所述液体供应系统103接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置105的气体，以保持所述液体供应系统103中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置106的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备 101 ；
[0060]当所述液体供应系统103接收到所述第二控制信号后，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统103，并停止提供所述液体给所述机台设备101。
[0061]在具体的实施过程中，所述气体控制系统还包括阀控制箱104，分别与所述控制器102、所述液体供应系统103以及所述机台设备101连接，所述阀控制箱104具有与所述机台设备101相对应的阀门，其中，当所述阀控制箱104接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，以使所述阀门处于开启状态，当所述阀控制箱104接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述阀门处于关闭状态。
[0062]在具体地实施过程中，机台设备101 —般是应用在半导体、微电子、太阳能等行业内的设备，能够根据自身的实际需求发送相应的是否需要液体的信号，因此，此处的第一控制信号为机台设备101的“需要液体”信号，而第二控制信号为机台设备101的“不需要液
体”信号。
[0063]在具体地实施过程中，所述控制器102具体为可编程逻辑输入输出控制板。通过可编程逻辑控制器能够自动完成信号的接收以及将接收到的信号发送给相应的其他相关设备。
[0064]在具体实施过程中,所述液体供应系统103如图2所示,具体包括:
[0065]液体脉冲缓冲器1031，具有一进气口 10311、进液口 10312、出液口 10313 ；
[0066]进气控制装置1032，分别与所述气体源装置105、所述进气口 10311连接；
[0067]进液控制装置1033，分别与所述液体源装置106、所述进液口 10312连接；
[0068]液体输出装置1034，分别与所述出液口 10313、所述机台设备101连接；
[0069]其中，当所述进液控制装置1033接收到所述第一控制信号后，通过执行所述第一控制信号，将所述液体源装置106中的液体通过所述进液口 10312输送到所述液体脉冲缓冲器1031中，再通过所述出液口 10313输送到所述液体输出装置1034，所述液体输出装置1034再将所述液体输送到所述机台设备101，同时，所述进气控制装置1032会控制所述进气口 10311打开，以使所述气体源装置105中的气体输送到所述液体脉冲缓冲器1031内，以保持所述液体脉冲缓冲器1031内的液体压力符合所述预设条件；
[0070]当所述进液控制装置1033接收到所述第二控制信号后，通过执行所述第二控制信号，所述进液控制装置1033停止将所述液体通过所述进液口 10312输送到所述液体脉冲缓冲器1031中，同时，所述进气控制装置1032会控制所述进气口 10311关闭，以使所述气体不能进入所述液体脉冲缓冲器1031内。
[0071]在具体实施过程中，所述进气控制装置1032可以为一电磁阀，该电磁阀具体为一单电控常闭电磁阀，通过所述单电控常闭电磁阀的通电与断电来控制所述液体脉冲缓冲器1031上的进气口 10311的打开与关闭；进气控制装置1032还可以是一可编程逻辑器件，通过该逻辑器件实现对进气口 10311的打开与关闭的控制。以上对于本申请实施例中进气控制装置1032的举例并不用于限制所述进气控制装置1032的范围，凡是能够实现对所述进气口 10311打开与关闭的控制的装置都应包含在本申请要求保护的范围内。
[0072]而在具体的实施过程中，所述进液控制装置1033具体可以为容积泵，通过该容积泵将液体源装置106中的液体输送到液体脉冲缓冲器1031中，进液控制装置1033还可以为叶片泵，与容积泵起同样作用，用于将液体源装置106中的液体输送到液体脉冲缓冲器
1031中，以上对于本申请实施例中进液控制装置1033的举例并不用于限制所述进液控制装置1033的范围，凡是能够实现对将液体源装置106中的液体输送到液体脉冲缓冲器1031中的装置都应包含在本申请要求保护的范围内。
[0073]在具体实施过程中，所述液体供应系统103还包括:
[0074]一流量监控装置，连接在所述进气控制装置1032与所述进气口 10311之间，用于监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置1032是否损坏。更具体地，该流量监控装置为一气体流量表，能够监测单位时间内流进液体脉冲缓冲器1031中的气流量，当该气流量的值在一个固定值上下小幅变化时则说明流进液体脉冲缓冲器1031中的气流正常，而由于进气口会在进液控制装置1033停止运行时关闭，因此，气体流量表监测到的气流量会在进液控制装置1033停止运行变为零，在进液控制装置1033运行时恢复正常，所以监测到的气流量值也可以用于检测前段的进气控制装置1032是否损坏。比如当监测到的气流量值为100ml/min时,若后续的气流量值为95ml/min, 102ml/min时,贝U说明进气正常，而当检测到的气流量值有为接近于零的情况时，则说明进气控制装置1032正常，否则，则说明进气控制装置1032已损坏。本申请实施例并不限制所述流量监测装置的具体范围，只要能够实现监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置1032是否损坏的监测装置都应包含在本申请要求保护的范围内。
[0075]相应地,本申请实施例还提供与所述气体控制系统相对应的气体控制方法,所述气体控制系统包括:机台设备101，与所述机台设备连接的控制器102，与所述机台设备101的进液管道及所述控制器102分别连接的液体供应系统103，所述液体供应系统103还分别与一气体源装置105及一液体源装置106连接，所述方法包括两种情况，为了便于理解，下面将分别予以说明，第一种情况是机台设备101在需要所述液体供应系统103供给液体时，其具体步骤如图3所述，包括:
[0076]步骤301:所述机台设备101在需要液体时，生成第一控制信号，该第一控制信号实际为“需要液体”信号；
[0077]在所述机台设备101需要所述液体供应系统103供给液体，进而生成“需要液体”的第一控制信号后，所述方法进入步骤302:所述控制器102接收所述第一控制信号；在具体的实施过程中，所述气体控制系统还包括一阀控制箱104，分别与所述控制器102、所述液体供应系统103以及所述机台设备101连接，所述阀控制箱104具有与所述机台设备101相对应的阀门，因此，当所述控制器102接收到第一控制信号后，会将所述第一控制信号发送给所述阀控制箱104以及液体供应系统103，该阀控制箱104接收到所述第一控制信号后，会执行该第一控制信号，控制与发出“需要液体”信号的机台设备101相对应的阀门处于开启状态，这样，液体就能通过打开的阀门输送到发出“需要液体”信号的机台设备101中。
[0078]在控制器102接收到所述第一控制信号并将该信号发送给所述阀控制箱104，以及液体供应系统103后，所述方法进入步骤303:当所述液体供应系统103接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置105的气体，以保持所述液体供应系统103中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置106的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备101 ；
[0079]在具体实施过程中，所述液体供应系统103的具体结构如图2所示，由于本申请实施例对此已做详细说明，因此在此不再赘述。
[0080]而在具体的实施过程中，步骤303的详细过程为:当液体供应系统103中的所述进液控制装置1033接收到所述第一控制信号后，通过执行所述第一控制信号，将所述液体源装置106中的液体通过所述进液口 10312输送到所述液体脉冲缓冲器1031中，再通过所述出液口 10313输送到所述液体输出装置1034，所述液体输出装置1034再通过阀控制箱104中与发送第一控制信号的机台设备101相对应的阀门将所述液体输送到所述机台设备101中，同时，所述进气控制装置1032会控制所述进气口 10311打开，以使所述气体源装置105中的气体输送到所述液体脉冲缓冲器1031内，以保持所述液体脉冲缓冲器1031内的液体压力符合所述预设条件。
[0081]在具体实施过程中，在所述当所述液体供应系统103接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置105的气体之后，所述的气体控制方法还包括:
[0082]通过一连接在所述进气控制装置1032与所述进气口 10311之间的流量监控装置监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置1032是否损坏。
[0083]在具体实施过程中，所述流量监控装置为一气体流量表，能够监测单位时间内流进液体脉冲缓冲器1031中的气流量，当该气流量的值在一个固定值上下小幅变化时则说明流进液体脉冲缓冲器1031中的气流正常，而由于进气口会在进液控制装置1033停止运行时关闭，因此，气体流量表监测到的气流量会在进液控制装置1033停止运行变为零，在进液控制装置1033运行时恢复正常，所以监测到的气流量值也可以用于检测前段的进气控制装置1032是否损坏。比如当监测到的气流量值为100ml/min时，若后续的气流量值为95ml/min, 102ml/min时，则说明进气正常，而当检测到的气流量值有接近于零的情况时，则说明进气控制装置1032正常，否则，则说明进气控制装置1032已损坏。当然，所述的流量监控装置并不仅限于气体流量表，还可以为一气体报警装置，当气流量的波动在一预设的范围内时则，说明流进液体脉冲缓冲器1031中的气流正常，否则发出报警声，说明进气不正常，而如果不能检测到气流量的波动值时，则说明进气控制装置1032已损坏。比如，气流量为100ml/min、95ml/min, 102ml/min时，而假设预设的波动范围为±5ml/min,贝U说明流进液体脉冲缓冲器1031中的气流正常，当检测到的气流量的波动范围一直为零时，则说明进气控制装置1032已损坏。本申请实施例并不限制所述流量监测装置的具体范围，只要能够实现监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置1032是否损坏的监测装置都应包含在本申请要求保护的范围内。
[0084]而另一种情况是机台设备不需要液体时，该方法的具体步骤如图4所述，包括:
[0085]步骤401:所述机台设备101在不需要液体时，生成第二控制信号，该第一控制信号实际为“不需要液体”信号；
[0086]在所述机台设备101不需要所述液体供应系统103供给液体，进而生成“不需要液体”的第二控制信号后，所述方法进入步骤402:所述控制器102接收所述第二控制信号；在具体的实施过程中，所述气体控制系统还包括一阀控制箱104，分别与所述控制器102、所述液体供应系统103以及所述机台设备101连接，所述阀控制箱104具有与所述机台设备101相对应的阀门，因此，当所述控制器102接收到第二控制信号后，会将所述第二控制信号发送给所述阀控制箱104以及液体供应系统103，该阀控制箱104接收到所述第二控制信号后，会执行该第二控制信号，控制与发出“不需要液体”信号的机台设备101相对应的阀门处于关闭状态，这样，液体供应系统103就不能供给相应的机台设备101液体了。
[0087]在控制器102接收到所述第一控制信号并将该信号发送给所述阀控制箱104，以及液体供应系统103后，所述方法进入步骤403:当所述液体供应系统103接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统103，并停止提供所述液体给所述机台设备101 ；
[0088]在具体实施过程中，所述液体供应系统103的具体结构如图2所示，由于本申请实施例对此已做详细说明，因此在此不再赘述。
[0089]而在具体的实施过程中，步骤403的详细过程为:当所述进液控制装置1033接收到所述第二控制信号后，通过执行所述第二控制信号，所述进液控制装置1033停止将所述液体通过所述进液口 10312输送到所述液体脉冲缓冲器1031中，同时，所述进气控制装置
1032会控制所述进气口 10311关闭，以使所述气体不能进入所述液体脉冲缓冲器1031内。
[0090]通过图3和图4所示的方法，就能实现在缓冲器前端的进液控制装置1033运行时控制缓冲器上的进气口 10311打开以给气，在缓冲器前端的进液控制装置1033停止运行时控制缓冲器上的进气口 10311关闭以停止给气，从而就能实现对液体脉冲缓冲器1031上的进气口 10311是否进气的控制。
[0091]在具体实施过程中，图3和图4所示的方法中所述制器102接收所述第一控制信号及所述第二控制信号具体为:通过可编程逻辑器件控制的输入输出控制板来接收所述第一控制信号及所述第二控制信号。
[0092]而在具体实施过程中，图3和图4所示的方法中的所述进气控制装置1032控制所述进气口 10311打开以及控制所述进气口 10311关闭为通过一电磁阀的通电以及断电来控制所述进气口的打开以及关闭。该电磁阀具体为一单电控常闭电磁阀，通过所述单电控常闭电磁阀的通电与断电来控制所述液体脉冲缓冲器1031上的进气口 10311的打开与关闭；或者通过一可编程逻辑器件实现对进气口 10311的打开与关闭的控制。以上对于本申请实施例中进气控制装置1032的举例并不用于限制所述进气控制装置1032的范围，凡是能够实现对所述进气口 10311打开与关闭的控制的装置都应包含在本申请要求保护的范围内。
[0093]而在具体的实施过程中，图3和图4所示的方法中的所述进液控制装置1033具体可以为容积泵，通过该容积泵将液体源装置106中的液体输送到液体脉冲缓冲器1031中；或者可以为叶片泵，与容积泵起同样作用，用于将液体源装置106中的液体输送到液体脉冲缓冲器1031中，以上对于本申请实施例中进液控制装置1033的举例并不用于限制所述进液控制装置1033的范围，凡是能够实现对将液体源装置106中的液体输送到液体脉冲缓冲器1031中的装置都应包含在本申请要求保护的范围内。[0094]通过本申请实施例中的一个或多个技术方案，可以实现如下技术效果:
[0095]1、由于采用了根据机台设备的实际需求，在缓冲器内的液体不输送时，缓冲器的进气口自动关闭的技术手段，解决了现有技术中化学品供应系统的液体脉冲缓冲器的进气口一直处于开启状态时，缓冲器内的流体的微小颤动都将导致缓冲器的风囊来回震荡使得进气口需要不停的供气给缓冲器，而这部分气体却从缓冲器的出气口排出，导致极大的浪费的技术问题，因此，具有缓冲器的进气口不受内部液体震荡而导致进气口持续进气造成的气体浪费，同时还能在需要缓冲器液体输送时能正常起到缓冲液体压力的作用的技术效果O
[0096]2、由于采用了上述的技术手段，因而可以避免因缓冲器内及其后部管道内液体的震荡导致供给缓冲器的气体的浪费，并且减小因液体震荡导致缓冲器内部风囊的长时间来回震荡达到机械疲劳造成风囊损坏的危险，从而提高缓冲器的使用寿命。
[0097]在此说明书中，本发明已参照其特定的实施例作了描述，但是，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种气体控制系统，其特征在于，所述气体控制系统包括: 机台设备，用于在需要液体时，生成第一控制信号，以及在不需要所述液体时，生成第二控制信号； 控制器，与所述机台设备连接，用于接收所述第一控制信号及所述第二控制信号；液体供应系统，分别与所述机台设备的进液管道及所述控制器连接，所述液体供应系统还分别与一气体源装置及一液体源装置连接，其中: 当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备； 当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号后，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备。
2.如权利要求1所述的气体控制系统，其特征在于，所述气体控制系统还包括: 一阀控制箱，分别与所述控制器、所述液体供应系统以及所述机台设备连接，所述阀控制箱具有与所述机台设备相对应的阀门； 其中，当所述阀控制箱接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，以使所述阀门处于开启状态，当所述阀控制箱接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述阀门处于关闭状态。
3.如权利要求1所述的气体控制系统，其特征在于，所述控制器具体为可编程逻辑输入输出控制板。
4.如权利要求1所述的气体控制系统，其特征在于，所述液体供应系统具体包括 液体脉冲缓冲器，具有一进气口、进液口、出液口 ； 进气控制装置，分别与所述气体源装置、所述进气口连接； 进液控制装置，分别与所述液体源装置、所述进液口连接； 液体输出装置，分别与所述出液口、所述机台设备连接； 其中，当所述进液控制装置接收到所述第一控制信号后，通过执行所述第一控制信号，将所述液体源装置中的液体通过所述进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，再通过所述出液口输送到所述液体输出装置，所述液体输出装置再将所述液体输送到所述机台设备，同时，所述进气控制装置会控制所述进气口打开，以使所述气体源装置中的气体输送到所述液体脉冲缓冲器内，以保持所述液体脉冲缓冲器内的液体压力符合所述预设条件； 当所述进液控制装置接收到所述第二控制信号后，通过执行所述第二控制信号，所述进液控制装置停止将所述液体通过所述进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，同时，所述进气控制装置会控制所述进气口关闭，以使所述气体不能进入所述液体脉冲缓冲器内。
5.如权利要求4所述的气体控制系统，其特征在于，所述进气控制装置具体为一电磁阀，通过所述电磁阀的通电与断电来控制所述液体脉冲缓冲器上的进气口的打开与关闭。
6.如权利要求4所述的气体控制系统，其特征在于，所述进气控制装置还包括: 一流量监控装置，连接在所述进气控制装置与所述进气口之间，用于监控进气是否正常以及监测所述进气控制装置是否损坏。
7.一种气体控制方法，应用于一气体控制系统，其特征在于，所述气体控制系统包括:机台设备，与所述机台设备连接的控制器，与所述机台设备的进液管道及所述控制器分别连接的液体供应系统，所述液体供应系统还分别与一气体源装置及一液体源装置连接，所述方法包括: 所述机台设备在需要液体时，生成第一控制信号，以及在不需要所述液体时，生成第二控制信号； 所述控制器接收所述第一控制信号及所述第二控制信号； 当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备； 当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备。
8.如权利要求7所述的气体控制方法，其特征在于，所述控制器接收所述第一控制信号及所述第二控制信号之后，所述方法还包括: 通过一分别与所述控制器、所述液体供应系统以及所述机台设备连接的阀控制箱来控制所述阀控制箱上与所述机台设备相对应的阀门的开启与关闭，具体为当所述阀控制箱接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，以使所述阀门处于开启状态，当所述阀控制箱接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述阀门处于关闭状态。
9.如权利要求7所述的气体控制方法，其特征在于，所述控制器接收所述第一控制信号及所述第二控制信号具体为: 可编程逻辑器件控制的输入输出控制板来接收所述第一控制信号及所述第二控制信号。
10.如权利要求7所述的气体控制方法，其特征在于，所述当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号时，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备，具体为: 所述液体供应系统的进液控制装置接收到所述第一控制信号后，通过执行所述第一控制信号，将所述液体源装置中的液体通过所述液体供应系统的液体脉冲缓冲器上的进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，再通过所述液体脉冲缓冲器上的出液口输送到所述液体供应系统的液体输出装置，所述液体输出装置再将所述液体输送到所述机台设备，同时，所述液体供应系统的进气控制装置控制所述液体脉冲缓冲器上的进气口打开，以使所述气体源装置中的气体输送到所述液体脉冲缓冲器内，以保持所述液体脉冲缓冲器内的液体压力符合所述预设条件。
11.如权利要求1所述的气体控制方法，其特征在于，所述当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号时，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备，具体为: 所述液体供应系统的进液控制装置接收到所述第二控制信号后，通过执行所述第二控制信号，所述进液控制装置停止将所述液体通过所述液体脉冲缓冲器上的进液口输送到所述液体脉冲缓冲器，同时，所述液体供应系统的进气控制装置会控制所述液体脉冲缓冲器上的进气口关闭，以使所述气体不能进入所述液体脉冲缓冲器内。
12.如权利要求10或11所述的气体控制方法，其特征在于，所述进气控制装置控制所述进气口打开以及控制所述进气口关闭，具体为:通过一电磁阀的通电以及断电来控制所述进气口的打开以及关闭。
13.如权利要求10所述的气体控制方法，其特征在于，在所述当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体之后，所述方法还包括: 通过一连接在所述进气控制装置与所述进气口之间的流量监控装置监控进气是否正常以及监测所述进气 控制装置是否损坏。
【文档编号】G05B19/04GK103941598SQ201310021589
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2013年1月21日 优先权日:2013年1月21日
【发明者】李成 申请人:北大方正集团有限公司, 深圳方正微电子有限公司