基板处理系统内的保护带的制作方法

本公开内容涉及保护带（guardband），并且特定而言涉及基板处理系统中的保护带。

背景技术：

1、可以通过使用制造设备执行一个或多个制造处理来生产产品。例如，基板处理设备可用于通过基板处理操作来生产基板。将生产具有特定属性的产品。与基板制造处理相关联地监测传感器数据。

技术实现思路

1、下文是公开内容的简化概要，以提供对本公开内容的一些方面的基本了解。此概要不是本公开内容的广泛概述。此概要既不旨在标识本公开内容的关键或重要元素，也不旨在描绘本公开内容的特定实施方式的任何范围或权利要求的任何范围。此概要的唯一目的是以简化形式呈现本公开内容的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。

2、在本公开内容的一个方面中，一种方法，包含：识别包含多个数据点的跟踪数据，跟踪数据与经由基板处理系统生产具有满足阈值的属性值的基板相关联。方法进一步包含：基于跟踪数据确定保护带限值（guardband limit）之外的动态可接受区域。方法进一步包含：基于保护带限值之外的动态可接受区域，促使执行与基板处理系统相关联的校正动作。

3、在本公开内容的一个方面中，一种方法，包含：识别包含多个数据点的跟踪数据，跟踪数据与经由基板处理系统生产基板相关联。方法进一步包含：比较跟踪数据与保护带限值之外的可接受区域。方法进一步包含：响应于跟踪数据的一个或多个数据点位于可接受区域之内，基于跟踪数据更新保护带限值之外的可接受区域。基于跟踪数据的至少一部分在保护带限值之外的可接受区域之外来执行与基板处理系统相关联的校正动作。

4、在本公开内容的一个方面中，一种非暂时性计算机可读取储存介质，其上储存指令，指令在被执行时导致处理装置执行操作，操作包含：识别包含多个数据点的跟踪数据，跟踪数据与经由基板处理系统生产具有满足阈值的属性值的基板相关联。操作进一步包含：基于跟踪数据确定保护带限值之外的动态可接受区域。操作进一步包含：基于保护带限值之外的动态可接受区域，促使执行与基板处理系统相关联的校正动作。

技术特征：

1.一种方法，包含以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述跟踪数据包含第一部分与发生在所述第一部分之后的第二部分，其中所述动态可接受区域与和所述基板处理系统相关联的漂移或噪声中的一个或多个相关联。

3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述保护带限值之外的所述动态可接收区域的步骤包含以下步骤：利用包含所述跟踪数据的数据输入训练机器学习模型，以生成经训练的机器学习模型，所述经训练的机器学习模型指示所述保护带限值之外的所述动态可接受区域。

4.根据权利要求1所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：基于在所述动态可接收区域内的输入数据调整所述保护带限值。

5.根据权利要求1所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：对所述跟踪数据的部分进行水平扭曲而不进行垂直扭曲，以忽略异相因子且同时保留垂直噪声。

6.根据权利要求1所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：垂直地且水平地缩放所述跟踪数据的部分，以忽略幅度变化和配方终点。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述动态可接受区域是在所述保护带限值的第一部分中的第一值，并且是在所述保护带限值的第二部分中的第二值。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述跟踪数据包含历史跟踪数据与模拟跟踪数据，所述模拟跟踪数据是通过将漂移、振荡、噪声或尖峰中的一个或多个应用至所述历史跟踪数据来生成的。

9.根据权利要求1所述的方法，其中促使执行所述校正动作的步骤包含以下步骤：

10.一种方法，包含以下步骤：

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述跟踪数据包含第一部分与发生在所述第一部分之后的第二部分，其中所述可接受区域的所述更新是基于与所述基板处理系统相关联的漂移或噪声中的一个或多个。

12.根据权利要求10所述的方法，其中在所述保护带限值之外的所述可接受区域与经训练的机器学习模型相关联，所述经训练机器学习模型是利用包含一段时间内的历史跟踪数据的数据输入来训练的。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述数据输入进一步包含模拟跟踪数据，所述模拟跟踪数据是通过将漂移、振荡、噪声或尖峰中的一个或多个应用至所述历史跟踪数据来生成的。

14.根据权利要求10所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：对所述跟踪数据的部分进行水平扭曲而不进行垂直扭曲，以忽略异相因子且同时保留垂直噪声。

15.根据权利要求10所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：垂直地且水平地缩放所述跟踪数据的部分，以忽略幅度变化和配方终点。

16.根据权利要求10所述的方法，其中所述可接受区域是在所述保护带限值的第一部分中的第一值，并且是在所述保护带限值的第二部分中的第二值。

17.根据权利要求10所述的方法，其中比较所述跟踪数据与所述保护带限值之外的所述可接受区域的步骤包含以下步骤：

18.一种非暂时性计算机可读取储存介质，其上储存指令，所述指令在由处理装置执行时使所述处理装置执行操作，所述操作包含：

19.根据权利要求18所述的非暂时性计算机可读取储存介质，其中所述跟踪数据包含第一部分与发生在所述第一部分之后的第二部分，其中所述动态可接受区域与和所述基板处理系统相关联的漂移或噪声中的一个或多个相关联。

20.根据权利要求18所述的非暂时性计算机可读取储存介质，其中确定所述保护带限值之外的所述动态可接收区域的步骤包含以下步骤：利用包含所述跟踪数据的数据输入训练机器学习模型，以生成经训练的机器学习模型，所述经训练机器学习模型指示所述保护带限值之外的所述动态可接受区域。

技术总结
一种方法，包含：识别包含多个数据点的跟踪数据，该跟踪数据与经由基板处理系统生产具有满足阈值的属性值的基板相关联。方法进一步包含：基于跟踪数据确定保护带限值之外的动态可接受区域。方法进一步包含：基于保护带限值之外的动态可接受区域促使执行与基板处理系统相关联的校正动作。

技术研发人员：吉米·伊斯坎达尔,李飞,詹姆斯·R·莫因
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/19