混液槽流量控制装置的制作方法

本技术涉及半导体，特别是涉及一种混液槽流量控制装置。

背景技术：

1、在半导体生产设备中，清洗设备迭代更新。非单一化学品需要现在混液槽中先进行混合控温加热，化学品温度要求从常温到一百多度不等。

2、高温化学品混合时，混液槽温度高，热辐射至周围的电子控制设备，会导致流量不稳定，出现补液时流量偏差，进一步影响到混液槽各混合溶液的浓度，最终影响产品质量。

3、为解决上述问题，需要提出一种新型的混液槽流量控制装置。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种混液槽流量控制装置，用于解决现有技术中高温化学品混合时，混液槽温度高，热辐射至周围的电子控制设备，会导致流量不稳定，出现补液时流量偏差，进一步影响到混液槽各混合溶液的浓度，最终影响产品质量的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种混液槽流量控制装置，包括：

3、模组控制模块，包括输出气体压力控制单元和液体流量控制单元，其分别用于所述混液槽的气体流量以及液体流量的控制；

4、冷却气体输出模块，其输入端用于输入冷却气体，其输出端朝向于所述气体压力控制单元；

5、设于所述冷却气体输出模块输出端处的冷却气体控制模块，其由所述模组控制模块控制所述冷却气体的流通。

6、优选地，所述液体流量控制单元包括液体流量监控单元和液体流量调节单元。

7、优选地，所述液体流量监控单元包括流量计和流量转化器，所述流量计设置于液体流路上，所述流量转化器分别与所述模组控制模块和所述流量计电连接。

8、优选地，所述液体流量调节单元包括设置于液体流路上的气动阀以及设于所述气动阀上的电磁阀。

9、优选地，所述液体流量控制单元还包括设于液体流路上的温度检测装置。

10、优选地，所述温度检测装置为温度计。

11、优选地，所述冷却气体为氮气。

12、优选地，所述冷却气体输出模块的输入端为由机台中的氮气管路接出的连通管。

13、优选地，所述冷却气体控制模块为气体压力控制阀。

14、优选地，所述混液槽的气体流量由流量气动调节阀控制。

15、如上所述，本实用新型的混液槽流量控制装置，具有以下有益效果：

16、本实用新型能够防止过高的工作温度导致输出气体压力控制单元的工作稳定性降低，避免了流量不稳定，出现补液时流量偏差，进一步影响到混合溶液的浓度的问题，从而提高产品质量。

技术特征：

1.一种混液槽流量控制装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述液体流量控制单元包括液体流量监控单元和液体流量调节单元。

3.根据权利要求2所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述液体流量监控单元包括流量计和流量转化器，所述流量计设置于液体流路上，所述流量转化器分别与所述模组控制模块和所述流量计电连接。

4.根据权利要求2所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述液体流量调节单元包括设置于液体流路上的气动阀以及设于所述气动阀上的电磁阀。

5.根据权利要求1所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述液体流量控制单元还包括设于液体流路上的温度检测装置。

6.根据权利要求5所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述温度检测装置为温度计。

7.根据权利要求1所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述冷却气体为氮气。

8.根据权利要求7所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述冷却气体输出模块的输入端为由机台中的氮气管路接出的连通管。

9.根据权利要求1所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述冷却气体控制模块为气体压力控制阀。

10.根据权利要求1所述的混液槽流量控制装置，其特征在于：所述混液槽的气体流量由流量气动调节阀控制。

技术总结
本技术提供一种混液槽流量控制装置，包括模组控制模块，包括输出气体压力控制单元和液体流量控制单元，其分别用于混液槽的气体流量以及液体流量的控制；冷却气体输出模块，其输入端用于输入冷却气体，其输出端朝向于气体压力控制单元；设于冷却气体输出模块输出端处的冷却气体控制模块，其由模组控制模块控制冷却气体的流通。本技术能够防止过高的工作温度导致输出气体压力控制单元的工作稳定性降低，避免了流量不稳定，出现补液时流量偏差，进一步影响到混合溶液的浓度的问题，从而提高产品质量。

技术研发人员：同嘉轩,刘鹏,吴智翔
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：20240429
技术公布日：2024/12/19