专利名称：根据已接收的数据来选定光掩模的制造商的装置及其方法
技术领域：
本发明涉及半导体器件的订货系统，特别是涉及选定作为半导体器件用晶片的原版的光掩模的制造商的系统。
背景技术：
迄今为止，IC(集成电路)芯片制造厂商适应于客户的要求来制造各种IC芯片。在这样的IC芯片中，如果客户所要求的规格被变更，则布线图形也要变更。在IC芯片的制造工序中，要形成布线图形。此时，将在基板上用金属薄膜形成了遮光图形的光掩模作为原版来使用。IC芯片制造厂商向掩模厂商订货，由掩模厂商来制造该光掩模。
订货方的IC芯片制造厂商将关于先掩模的规格的信息存储在磁带中送给接受订货的掩模厂商，或以在线方式发送给接受订货的掩模厂商。掩模厂商根据送来的关于规格的信息作成制造光掩模用的制造数据。另外，订货方的IC芯片制造厂商将光掩模的数量、交货期限等的订货信息用电话传送给接受订货的掩模厂商，或以在线方式发送给接受订货的掩模厂商。
掩模厂商根据订货信息作成包含为了管理生产所必要的信息(制造优先顺序、产品编号、数量、发送目的地和交货期限等)和为了管理质量所必要的信息的管理数据。将已被作成的管理数据送给光掩模制造线。光掩模制造线根据制造数据和管理数据来制造光掩模。利用由制造数据控制的电子束曝光装置来制造光掩模。
特开平9-180980号公报公开了这样的IC芯片的制造系统。该系统是根据客户所要求的规格来变更布线图形的IC芯片的制造系统。系统包含输入终端、运算处理装置和制造线。购入IC芯片的客户使用输入终端。输入终端包含输入根据客户所要求的IC芯片的规格、数量等的信息的输入电路。运算处理装置包含根据已输入到输入终端中的信息来作成曝光工序中所必要的数据和IC芯片的生产管理和质量管理中所必要的数据的作成电路和将由作成电路已作成的数据传送给制造线的传送电路。制造线按照从运算处理装置已传送的数据来制造IC芯片。
按照该系统，从只由客户使用的输入终端来输入IC芯片的规格、数量等的信息。因而，与利用磁带和电话等各种方法来传送IC芯片的规格、数量等的信息的情况相比，可迅速且容易地进行信息处理。其结果，可容易地管理来自客户的订货的优先顺序。
该公报公开了传送电路将由作成电路已作成的数据按优先顺序传送给掩模厂商，但没有公开关于优先顺序的细节。在IC芯片制造厂商订购光掩模的情况下，存在决定接受订货厂商的多个要素。在制造IC芯片的工序中，光掩模的交货期限和品质对IC芯片的交货期限和品质有很大的影响。存在多个制造光掩模的掩模厂商。因此，从对交货期限和品质有很大影响的制造光掩模的多个厂商中选定某些厂商这一点，不是很容易的。根据人的判断进行的掩模厂商的选定不是很适当的。
发明内容本发明的目的在于提供能适当地选定制造光掩模的掩模厂商的选定装置及其方法。
本发明的另一目的在于提供能根据从掩模厂商接收到的信息适当地选定掩模厂商的选定装置及其方法。
本发明的再一目的在于提供适当地选定能遵守光掩模的交货期限的掩模厂商的选定装置及其方法。
本发明的又一目的在于提供适当地选定能实现光掩模的高品质的掩模厂商的选定装置及其方法。
本发明的又一目的在于提供根据多个要素来适当地选定掩模厂商的选定装置及其方法。
本发明的选定装置是选定光掩模的制造商的选定装置。选定装置包含与光掩模的制造商的计算机进行通信的通信电路；存储数据的存储电路；以及与通信电路和存储电路连接的、控制通信电路和存储电路的控制电路。控制电路包含对计算机发送包含光掩模的规格和交货期限的规格数据的电路；接收估算数据、使存储电路进行存储用的电路；使存储电路存储表示由制造商对光掩模已交货的实际业绩的交货数据用的电路；根据交货预定日和实际业绩修正交货预定日、使存储电路存储已被修正的交货预定日用的电路；以及根据交货期限和已被修正的交货预定日来选定光掩模的制造商的选定电路。
如果选定装置对制造商的计算机发送规格数据，则接收了规格数据的制造商根据规格和交货期限，作成包含光掩模的交货预定日的估算数据。将已被作成的估算数据发送给选定装置。选定装置存储制造商的光掩模的交纳实际业绩，从该交纳实际业绩和交货预定日计算已被修正的交货预定日。例如，如果存在过去延迟了交货期限的情况，则计算出使已接收的交货预定日延迟了规定日期的交货预定日。选定装置可根据已被修正的交货预定日和交货期限来选定制造商。由此，可根据选定掩模厂商时的最重要的要素、即交货期限来选定掩模厂商。
更为理想的是，选定电路包含选定制造光掩模的多个制造商的电路。控制电路还包含根据交货数据、对每个制造商计算关于期限的优先度的电路；以及根据关于期限的优先度、从由选定电路已选定的多个制造商中选定光掩模的制造商的电路。
选定装置根据交货数据，对每个制造商计算出关于期限的优先度，可从由选定电路已选定的多个掩模厂商中选定关于期限的优先度最高的掩模厂商作为接受订货的厂商。由此，可选定遵守交货期限的掩模厂商，可在规定的交货期限内收到光掩模。
更为理想的是，选定电路包含选定制造光掩模的多个制造商的电路。控制电路还包含从计算机接收表示制造商的与光掩模的制造有关的技术的技术数据、使存储电路进行存储用的电路；根据技术数据、对每个制造商计算关于技术的优先度的电路；以及根据技术的优先度、从由选定电路选定的多个制造商中选定光掩模的制造商的电路。
选定装置根据技术数据，对每个制造商计算出关于技术的优先度，可从由选定电路选定的多个掩模厂商中选定关于技术的优先度最高的掩模厂商作为接受订货的厂商。由此，可选定具有高技术的掩模厂商，可实现光掩模的高品质。
更为理想的是，选定电路包含选定制造光掩模的多个制造商的电路。控制电路还包含根据交货数据、对每个制造商计算关于期限的优先度的电路；从计算机接收表示制造商的与光掩模的制造有关的技术的技术数据、使存储电路进行存储用的电路；根据技术数据、对每个制造商计算关于技术的优先度的电路；以及根据关于期限的优先度和关于技术的优先度、从由选定电路选定的多个制造商中选定光掩模的制造商的电路。
计算关于期限的优先度的电路根据在对光掩模已交货的实际业绩中是否存在延迟了交货期限的实际业绩来计算关于期限的优先度。计算关于技术的优先度的电路根据表示与光掩模的制造有关的技术的技术数据来计算关于技术的优先度。根据由选定装置对于每个制造商已计算出的关于期限的优先度和关于技术的优先度，可从多个制造商中选定制造商。由此，可根据多个要素容易地选定掩模厂商。
依据本发明的另一方面的选定方法是选定光掩模的制造商的选定方法。选定方法包含对制造商的计算机发送包含光掩模的规格和交货期限的规格数据的步骤；接收估算数据并进行存储的步骤；由制造商准备表示对光掩模已交货的实际业绩的交货数据的步骤；根据交货预定日和实际业绩修正交货预定日、存储已被修正的交货预定日的步骤；以及根据交货期限和已被修正的交货预定日来选定光掩模的制造商的步骤。
如果对制造商的计算机发送规格数据，则接收了规格数据的制造商根据规格和交货期限，作成并发送包含光掩模的交货预定日的估算数据。在选定方法中，存储制造商的光掩模的交纳实际业绩，从该交纳实际业绩和交货预定日计算已被修正的交货预定日。例如，如果存在过去延迟了交货期限的情况，则计算出使已接收的交货预定日延迟了规定日期的交货预定日。在选定方法中，可根据已被修正的交货预定日和交货期限来选定制造商。由此，可根据选定掩模厂商时的最重要的要素、即交货期限来选定掩模厂商。
通过参照附图的后述的本发明的详细的说明，本发明的上述和其它的目的、特征、方面和优点会变得更加明白。
图1是本发明的实施例的掩模厂商选定系统的整体结构图。
图2是实现服务器的计算机的外观图。
图3是计算机的控制框图。
图4是表示从订货用计算机对服务器发送的订货记录数据的图。
图5是表示从设计用计算机对服务器发送的规格数据的图。
图6是表示从服务器对掩模厂商计算机发送的估算请求数据的图。
图7是表示从设计用计算机对服务器、从服务器对掩模厂商计算机发送的设计数据的图。
图8是表示从掩模厂商计算机对服务器发送的厂商数据的图。
图9是表示从掩模厂商计算机对服务器发送的交货数据的图。
图10是表示从掩模厂商计算机对服务器发送的投标数据的图。
图11是表示从服务器对掩模厂商计算机发送的订货数据的图。
图12是表示在固定盘中存储的订货记录数据库的图。
图13是表示在固定盘中存储的规格数据库的图。
图14是表示在固定盘中存储的交货期限优先度数据库的图。
图15是表示在固定盘中存储的技术优先度数据库的图。
图16是表示在固定盘中存储的接受订货优先度数据库的图。
图17是表示在固定盘中存储的价格优先度数据库的图。
图18是表示在固定盘中存储的综合评价数据库的图。
图19是表示在固定盘中存储的订货数据库的图。
图20是表示本发明的实施例中的交货期限优先度数据库更新处理的流程图。
图21是表示本发明的实施例中的技术优先度数据库更新处理的流程图。
图22是表示本发明的实施例中的接受订货优先度数据库更新处理的流程图。
图23是表示本发明的实施例中的价格优先度数据库更新处理的流程图。
图24是表示本发明的实施例中的订货处理的流程图。
具体实施例方式
以下，一边参照附图，一边说明本发明的实施例。在以下的说明和附图中，对于同一部件标以同一符号。这些部件的名称和功能也是相同的。因而，不重复进行对于这些部件的详细的说明。
参照图1，本实施例的掩模厂商选定系统包含制造光掩模的掩模厂商的计算机200；作成光掩模的订货数据、对服务器100发送的订货用计算机300；作成光掩模的设计数据、对服务器100发送的设计用计算机400；以及经网络500连接了这些计算机的服务器100。将多个掩模厂商的计算机200连接到网络500上。
服务器100存储从掩模厂商的计算机200接收到的数据。服务器100实现根据已存储的数据、从多个掩模厂商中选定接受光掩模订货的掩模厂商这样的掩模厂商选定功能。
通过在计算机中利用CPU(中央处理单元)执行规定的程序来实现本实施例的掩模厂商选定系统中的服务器100中的掩模厂商选定功能。
在图2中示出作为实现掩模厂商选定功能的服务器100的一例的计算机系统的外观。参照图2，该计算机系统包含具备FD(软盘)驱动装置106和CD-ROM(小型盘-只读存储器)驱动装置108的计算机102；监视器104；键盘110；以及鼠标112。
在图3中以框图形式示出该计算机系统的结构。如图3中所示，计算机102除了上述的FD驱动装置106和CD-ROM驱动装置108外，还包含互相以总线方式连接的CPU(中央处理单元)120；存储器122；固定盘124；以及与其它的计算机通信用的通信接口128。将FD116安装在FD驱动装置106中。将CD-ROM118安装在CD-ROM驱动装置108中。在这些FD116和CD-ROM118上存储了规定的程序。
如已说明的那样，通过计算机硬件和由CPU120执行的软件来实现具有掩模厂商选定功能的服务器100。一般来说，这样的软件在FD116、CD-ROM118等的记录媒体上作为程序被存储并流通，利用FD驱动装置106或CD-ROM驱动装置108等从记录媒体读取该软件，暂存在固定盘124上。再者，从固定盘124读出到存储器122上，利用CPU120来执行。
这些计算机的硬件本身是一般性的。计算机包含包含CPU的控制电路；存储电路；输入电路；输出电路；以及OS(操作系统)，具备执行程序的环境。在本发明中，使这样的计算机起到掩模厂商选定装置的功能。
由于图2和图3中示出的计算机本身的工作是众所周知的，故在此不重复进行其详细的说明。
参照图4，说明从订货用计算机300对服务器100发送的订货记录数据。订货记录数据包含包含表示该数据是订货记录数据的标记的标题；订货的光掩模的产品编号；订货的光掩模的数量；订货预定日；希望交货期限；以及附注。附注例如是「特急品」那样的数据。
参照图5，说明从设计用计算机400对服务器100发送的规格数据。规格数据包含包含表示该数据是规格数据的标记的标题；光掩模的产品编号；掩模设计数据文件名；基板尺寸；遮光膜；地址单元；元件尺寸精度；缺陷尺寸；缺陷密度；设计规则；以及图形形状。
参照图6，说明从服务器100对掩模厂商的计算机200发送的估算请求数据。估算请求数据包含包含表示该数据是估算请求数据的标记的标题；对掩模厂商进行估算的请求的光掩模的产品编号；数量；订货预定日；希望交货期限；附注；掩模设计数据文件名；基板尺寸；遮光膜；地址单元；元件尺寸精度；缺陷尺寸；缺陷密度；设计规则；以及图形形状。如图6中所示，估算请求数据包含在订货记录数据(图4)中包含的信息和在规格数据(图5)中包含的信息。
掩模厂商根据在估算请求数据(图6)中包含的基板尺寸等，可决定制造被请求了估算的光掩模用的制造装置。掩模厂商根据在估算请求数据中包含的元件尺寸精度等，可决定测定被请求了估算的光掩模用的测定装置。掩模厂商根据在估算请求数据中包含的缺陷尺寸和缺陷密度等，可决定检查被请求了估算的光掩模用的检查装置。
参照图7，说明从设计用计算机400对服务器100和从服务器100对掩模厂商的计算机200发送的设计数据。设计数据包含包含表示该数据是设计数据的标记的标题；掩模厂商名；产品编号；掩模设计数据文件名；以及掩模设计数据。
参照图8，说明从掩模厂商的计算机200对服务器100发送的厂商数据。厂商数据包含包含表示该数据是厂商数据的标记的标题；掩模厂商名；掩模厂商的地址；掩模厂商所拥有的制造装置的台数；掩模厂商所拥有的制造装置的种类；掩模厂商的数据处理技术；掩模厂商的处理不良情况的方法；表示掩模厂商是否能适应出口的数据；关于合作厂商的数据；以及掩模厂商的基板制造技术。
参照图9，说明从掩模厂商的计算机200对服务器100发送的交货数据。交货数据包含包含表示该数据是交货数据的标记的标题；交纳了光掩模的掩模厂商名；产品编号；订货日；希望交货期限；以及交货日。在后述的图11中示出的接收了订货数据的掩模厂商将交货数据发送给服务器100。接收了订货数据的掩模厂商根据规格制造掩模，在对订货方交纳已被制造的掩模时，对服务器100发送交货数据。
参照图10，说明从掩模厂商的计算机200对服务器100发送的投标数据。投标数据包含包含表示该数据是投标数据的标记的标题；掩模厂商名；产品编号；回答交货期限；以及回答价格。掩模厂商根据接收到的估算请求数据中包含的掩模的规格，判断制作难易程度，决定回答价格。根据与掩模规格对应的成品率来计算制作难易程度。根据基于接收到的估算请求数据中包含的掩模的规格的成品率和使用的装置的处理时间来计算回答交货期限。在使用的装置中，有掩模图形的描绘装置、缺陷检查装置和元件尺寸测定装置。处理时间是将这些描绘装置、缺陷检查装置和元件尺寸测定装置中的各自的处理时间相加后的时间。
参照图11，说明从服务器100对掩模厂商的计算机200发送的订货数据。订货数据包含包含表示该数据是订货数据的标记的标题；掩模厂商名；产品编号；数量；订货日；以及希望交货期限。对在发送了投标时间(图10)的掩模厂商中已被服务器100选定的掩模厂商发送订货数据。接收了订货数据的掩模厂商认可接受了光掩模的制造的订货这一情况。
参照图12，说明在实现本实施例的掩模厂商选定功能的服务器100的固定盘124上存储的订货记录数据库。在订货记录数据库中对每个光掩模的产品编号，存储其数量、订货预定日、希望交货期限和附注。根据从订货用计算机300对服务器100发送了的订货记录数据(图4)来作成订货记录数据库。
参照图13，说明在固定盘124上存储的规格数据库。在规格数据库中对每个光掩模的产品编号存储其掩模规格。掩模规格中存储了掩模数据文件名；基板尺寸；遮光膜；地址单元；元件尺寸精度；缺陷尺寸；缺陷密度；设计规则；以及图形形状。根据从设计用计算机400对服务器100发送的规格数据(图5)来作成规格数据库。掩模厂商可分别根据掩模规格中的基板尺寸和遮光膜等来确定掩模图形的描绘装置的规格，根据元件尺寸精度来确定元件尺寸测定装置的规格，根据缺陷尺寸和缺陷密度等来确定缺陷检查装置的规格。
参照图14，说明在固定盘124上存储的交货期限优先度数据库。在交货期限优先度数据库中对于每个光掩模的产品编号和掩模厂商存储上个月的交货状况和交货期限优先度。上个月的交货状况包含上个月的掩模订货日、希望交货期限、交货日以及根据希望交货期限和交货日计算出的交货期限完成率。
这样来计算交货期限完成率如果交货日是希望交货期限的前二日，则交货期限完成率为100％，如果交货日是希望交货期限的前一日，则交货期限完成率为90％，如果交货日是希望交货期限的当日，则交货期限完成率为80％，如果交货日是希望交货期限的次日，则交货期限完成率为50％，如果交货日是希望交货期限的次二日，则交货期限完成率为40％。在交货日是希望交货期限的前二日以前的情况下，交货期限完成率被计算为100％，在交货日是希望交货期限的次二日以后的情况下，交货期限完成率被计算为40％。
将交货期限优先度设定为与交货期限完成率相等。下面举例说明光掩模的产品编号为「MIS」、掩模厂商为「X」的情况。关于该掩模厂商「X」的产品编号「MIS」的上个月的交货状况是，订货日为2001年2月3日、希望交货期限为2001年2月14日、实际的交货日为2001年2月15日。由于交货日是希望交货期限的次日，故将交货期限完成率计算为50％、交货期限优先度为50％。
参照图15，说明在固定盘124上存储的技术优先度数据库。对于每个掩模厂商来说，技术优先度数据库包含技术优先度和优先度判断要素。优先度判断要素包含10个项目的要素。优先度判断要素包含掩模厂商的地址的要素；基于掩模厂商拥有的制造装置的台数的要素；基于掩模厂商拥有的制造装置的种类的要素；基于掩模厂商的数据处理技术的要素；基于在设计数据中存在不良情况时的掩模厂商的不良情况的处理方法的要素；基于在光掩模为出口形态时的掩模厂商是否能适应出口的要素；基于以合作方式进行晶片制造时的合作厂商的要素；以及关于掩模厂商的基板制造技术的要素。对于各自的要素，确定以10点为上限的点数。
关于涉及掩模厂商的地址的要素，从掩模厂商到作为光掩模的交货目的地的IC芯片的制造工厂的输送时间越短，确定为点数越高。
关于涉及制造装置的台数的要素，由于对于每种基板尺寸、遮光膜和掩模处理来说，其制造装置不同，故根据掩模的规格来决定能进行制造的装置。厂商拥有的这些制造装置越多，确定为点数越高。
关于涉及制造装置的种类的要素，由于光掩模的品质随制造装置的不同而异，对于拥有能制造高品质的掩模的装置的掩模厂商，确定为其点数高。
关于涉及数据处理技术的要素，有对每个掩模厂商来说其制造光掩模用的设计数据的加工方法不同的情况。元件尺寸的完成精度随数据加工方法的不同而异。对于在该数据处理技术方面良好的掩模厂商，确定为其点数高。
关于涉及不良情况处理的要素，在对掩模厂商发送的设计数据中存在不良情况时，有对每个掩模厂商其处理时间和方法不同的情况。对于能分析不良情况的内容、迅速地应对该不良情况的掩模厂商，确定为其点数高。
关于涉及出口的要素，在光掩模不仅在国内使用而且也在海外使用的情况下，对于在海外的售后服务方面良好的掩模厂商，确定为其点数高。
关于涉及合作厂商的要素，在多个IC芯片的制造厂商共同地进行1种晶片的制造的情况下，有由合作厂商指定掩模厂商的情况。对于作为合作厂商被指定的机会多的掩模厂商，确定为其点数高。
关于涉及基板制造技术的要素，有掩模厂商本身制造基板的情况。由于这样的掩模厂商在基板的制造方面其技术领先，故确定为其点数高。
在这些要素以外，存在关于2个项目的要素。对于技术优先度的判断要素的1个项目，分配10点，通过对关于10个项目的分配点相加，计算技术优先度(满点为100点)。
参照图16，说明在固定盘124上存储的接受订货优先度数据库。根据存储了订货计划数和订货预定数的订货计划数据库和从服务器100对掩模厂商的计算机200发送的订货数据(图11)来作成接受订货优先度数据库。
如图16中所示，在接受订货优先度数据库中，对每个掩模厂商存储某个月度的订货计划数、该月度的订货实际业绩数；订货预定数、{订货计划数-(订货实际业绩数+订货预定数)}和接受订货优先度。接受订货优先度是这样来确定的，如果{订货计划数-(订货实际业绩数+订货预定数)}为正，则接受订货优先度为100，如果{订货计划数-(订货实际业绩数+订货预定数)}为0，则接受订货优先度为75，如果{订货计划数-(订货实际业绩数+订货预定数)}为负，则接受订货优先度为25。例如，在掩模厂商为「X」的情况下，2000年3月度的订货计划为60个，订货实际业绩数为30个，订货预定数为25个。由上述的式得到的计算结果为5。因此，掩模厂商「X」的接受订货优先度被确定为100。在掩模厂商「W」的情况下，2000年3月度的订货计划数为90个，订货实际业绩数为90个，订货预定数为10个。由上述的公式得到的计算结果为-10。因此，掩模厂商「W」的接受订货优先度被确定为25。
对订货实际业绩数和订货预定数相加后的计算结果越低于订货计划数，该接受订货优先度就被确定为越高，越高于订货计划数，该接受订货优先度就被确定为越低。该接受订货优先度是选定接受掩模订货的掩模厂商用的优先度，以尽量满足已拟定的订货计划。
参照图17，说明在固定盘124上存储的价格优先度数据库。根据从掩模厂商的计算机200对服务器100发送的投标数据(图10)来作成价格优先度数据库。在价格优先度数据库中，对每个产品编号存储希望交货期限。在价格优先度数据库中，对每个产品编号和掩模厂商，存储回答交货期限、回答价格、修正交货期限和价格优先度。回答交货期限和回答价格分别与在投标数据(图10)中包含的回答交货期限和回答价格相对应。
根据回答交货期限，由服务器100来计算修正交货期限。根据交货期限优先度数据库(图14)的交货期限完成率来计算修正交货期限。在交货期限完成率为100％、90％和80％的情况下，将与回答交货期限相同的日期作为修正交货期限来计算。在交货期限完成率为50％的情况下，将比回答交货期限晚了2日的日期作为修正交货期限来计算。在交货期限完成率为40％的情况下，将比回答交货期限晚了4日的日期作为修正交货期限来计算。
由于图17中示出的掩模厂商「Y」、「Z」和「W」的情况下，交货期限完成率分别为80％、100％、80％，故分别将与回答交货期限相同的日期作为修正交货期限来计算。在图17中示出的掩模厂商「X」的情况下，由于上个月的交货期限完成率为50％，故将比回答交货期限「2001年3月30日」晚了2日的「2001年4月1日」作为修正交货期限来计算。
关于价格优先度，对于1个光掩模的产品编号，按回答价格的低的顺序重新排列发送了投标数据的掩模厂商，按该顺序确定价格优先度。如图17中所示，在光掩模的产品编号为「MIS」的情况下，从4家公司接收投标数据，按各自的回答价格的低的顺序，将价格优先度确定为100、75、50、25。
参照图18，说明在固定盘124上存储的综合评价数据库。根据交货期限优先度数据库(图14)、技术优先度数据库(图15)、接受订货优先度数据库(图16)和价格优先度数据库(图17)来作成综合评价数据库。通过对交货期限优先度、技术优先度、接受订货优先度和价格优先度进行加权相加计算出综合评价。例如，将交货期限优先度的加权系数设定为0.40，将技术优先度的加权系数设定为0.35，将接受订货优先度的加权系数设定为0.15，将价格优先度的加权系数设定为0.10。其结果，对于产品编号「MIS」的掩模厂商「X」的综合评价被计算为77.5，对于掩模厂商「Y」的综合评价被计算为83.3，对于掩模厂商「Z」的综合评价被计算为74.3，对于掩模厂商「W」的综合评价被计算为63.3。其结果，对于产品编号「MIS」的接受订货优先度为最高的厂商被计算为掩模厂商「Y」。
参照图19，说明在固定盘124上存储的订货数据库。在订货数据库中，对于每个光掩模的产品编号，存储该产品编号被订货了的掩模厂商、被订货的数量、订货日和希望交货期限。
参照图20，关于交货期限优先度数据库更新处理，由服务器100执行的程序具有以下那样的控制结构。
在步骤(以下，简称为S)100中，CPU120判断是否从掩模厂商的计算机200接受了交货数据(图9)。如果从掩模厂商的计算机200接收交货数据(在S100中为YES)，则处理转移到S102。如果不是这样的话(在S100中为NO)，则处理返回到S100，等待接收来自掩模厂商的计算机200的交货数据。
在S102中，CPU120根据在S100中已接收的交货数据，在交货期限优先度数据库(图14)中存储规定的数据。在S104中，CPU120判断现在日期是否到达了交货期限优先度数据库的统计日期。如果到达交货期限优先度数据库的统计日期(在S104中为YES)，则处理转移到S106。如果不是这样的话(在S104中为NO)，则处理返回到S100，等待接收交货数据。
在S106中，CPU120分别对各个产品编号和掩模厂商计算上个月度的交货期限完成率。在S108中，CPU120根据已计算的交货期限完成率，分别对各个产品编号和掩模厂商计算交货期限优先度。
在S110中，CPU120根据已计算的交货期限完成率和交货期限优先度，更新交货期限优先度数据库(图14)。
参照图21，关于技术优先度数据库更新处理，由服务器100执行的程序具有以下那样的控制结构。
在步骤200中，CPU120判断是否从掩模厂商的计算机200接受了厂商数据(图8)。如果从掩模厂商的计算机200接收厂商数据(在S200中为YES)，则处理转移到S202。如果不是这样的话(在S200中为NO)，则处理返回到S200，等待接收来自掩模厂商的计算机200的厂商数据。
在S202中，CPU120根据已接收的厂商数据，在技术优先度数据库(图15)中存储规定的数据。
在S204中，CPU120判断现在日期是否到达了技术优先度数据库的统计日期。如果到达技术优先度数据库的统计日期(在S204中为YES)，则处理转移到S206。如果不是这样的话(在S204中为NO)，则处理返回到S200，等待接收来自掩模厂商的计算机200的厂商数据。
在S206中，CPU120分别对各个掩模厂商计算优先度判断要素的点数。计算在图15中示出的优先度判断要素的各项目的点数(0～10点)。根据另外已被存储的每个优先度判断要素的点数表来进行该计算。在S208中，CPU120计算出对已计算的优先度判断要素的点数相加后的技术优先度。在S210中，CPU120根据已计算的优先度判断要素的点数和技术优先度，更新技术优先度数据库(图15)。
参照图22，关于接受订货优先度数据库更新处理，由服务器100执行的程序具有以下那样的控制结构。
在步骤300中，CPU120判断是否对掩模厂商的计算机200发送了订货数据(图11)。如果对掩模厂商的计算机200发送了订货数据(在S300中为YES)，则处理转移到S302。如果不是这样的话(在S300中为NO)，则处理返回到S300，等待到对掩模厂商的计算机200发送订货数据为止。
在S302中，CPU120根据在订货数据(图11)中包含的订货数量，存储接受订货优先度数据库(图16)的订货实际业绩数。在S304中，CPU120判断现在日期是否到达了接受订货优先度数据库的统计日期。如果现在日期到达统计日期(在S304中为YES)，则处理转移到S306。如果不是这样的话(在S304中为NO)，则处理返回到S300，每当对掩模厂商的计算机200发送订货数据时，存储接受订货优先度数据库(图16)的订货实际业绩数。
在S306中，CPU120从订货计划数据库(图16)读出订货计划数和订货预定数。在S308中，CPU120根据已读出的订货计划数和订货预定数以及在接受订货优先度数据库(图16)中存储的订货实际业绩数，对各个掩模厂商计算{订货计划数-(订货实际业绩数+订货预定数)}。在S310中，CPU120根据已计算出的结果，计算接受订货优先度。在S312中，CPU120根据已计算出的接受订货优先度，更新接受订货优先度数据库(图16)。
参照图23，关于价格优先度数据库更新处理，由服务器100执行的程序具有以下那样的控制结构。
在步骤400中，CPU120判断是否从掩模厂商的计算机200接收了投标数据(图10)。如果从掩模厂商的计算机200接收了投标数据(在S400中为YES)，则处理转移到S402。如果不是这样的话(在S400中为NO)，则处理返回到S400，等待接收来自掩模厂商的计算机200的投标数据。
在S402中，CPU120根据已接收的投标数据，在价格优先度数据库(图17)中存储回答交货期限和回答价格。在S404中，CPU120根据交货期限优先度数据库(图14)的上个月度的交货期限完成率，将价格优先度数据库(图17)的回答交货期限修正为修正交货期限。在S406中，CPU120在价格优先度数据库(图17)中存储已修正的修正交货期限。
在S408中，CPU120判断现在日期是否到达了价格优先度数据库的统计日期。如果现在日期到达统计日期(在S408中为YES)，则处理转移到S410。如果不是这样的话(在S408中为NO)，则处理返回到S400，每当从掩模厂商的计算机200接收投标数据时，存储回答交货期限和修正交货期限。
在S410中，CPU120根据回答价格(在S402中存储)，计算价格优先度。在S412中，CPU120根据已计算的价格优先度，更新价格优先度数据库。
参照图24，关于订货处理，由服务器100执行的程序具有以下那样的控制结构。
在步骤S500中，CPU120判断是否从订货用计算机300接收了订货记录数据(图4)。如果从订货用计算机300接收了订货记录数据(在S500中为YES)，则处理转移到S502。如果不是这样的话(在S500中为NO)，则处理返回到S500，等待接收来自订货用计算机300的订货记录数据。
在S502中，CPU120根据已接收的订货记录数据，作成订货记录数据库(图12)。
在步骤504中，CPU120判断是否从设计用计算机400接收了规格数据(图5)。如果从设计用计算机400接收了规格数据(在S504中为YES)，则处理转移到S506。如果不是这样的话(在S504中为NO)，则处理返回到S504，等待接收来自设计用计算机400的规格数据。
在S506中，CPU120根据已接收的规格数据，作成规格数据库(图13)。在S508中，CPU120判断现在日期是否到达了估算请求日期。估算请求日期预先被存储在服务器100中。如果现在日期到达估算请求日期(在S508中为YES)，则处理转移到S510。如果不是这样的话(在S508中为NO)，则处理返回到S500。
在S510中，CPU120根据订货记录数据库(图12)和规格数据库(图13)，作成估算请求数据(图6)。
在S512中，CPU120对掩模厂商的计算机200发送已作成的估算请求数据。在S514中，CPU120根据从掩模厂商的计算机200已接收的投标数据(图10)的回答交货期限和回答价格，更新价格优先度数据库(图17)。如果在该S514的处理之后、从S510中的处理算起经过规定的时间，则CPU120结束接收来自掩模厂商的计算机200的投标数据。
在S516中，CPU120检测到输入了订货的光掩模的产品编号的情况。在S518中，关于对已被输入的产品编号进行了投标的掩模厂商，CPU120从价格优先度数据库(图17)读出修正交货期限。此时，读出对该产品编号进行了投标的全部掩模厂商的修正交货期限。
在S520中，CPU120读出交货期限优先度数据库(图14)、技术优先度数据库(图15)、接受订货优先度数据库(图16)和价格优先度数据库(图17)的各优先度。
在S522中，CPU120根据已读出的交货期限优先度、技术优先度、接受订货优先度和价格优先度，计算对已被输入的产品编号进行了投标的掩模厂商的综合评价。在综合评价数据库(图18)中存储已被计算出的综合评价。
在S524中，CPU120对已被输入的产品编号，选定在价格优先度数据库(图17)中包含的修正交货期限满足希望交货期限的掩模厂商并且是综合评价最高的掩模厂商为接受订货的厂商。
在S526中，CPU120对已选定的掩模厂商的计算机200发送订货数据(图11)和设计数据(图7)。在S528中，CPU120更新订货数据库(图19)。
下面说明基于以上那样的结构和流程图的服务器100的工作。
掩模厂商根据从服务器100已发送的订货数据来制造光掩模。如果掩模厂商对已被制造的光掩模进行交货，则掩模厂商的计算机200对服务器100发送交货数据(图9)。服务器100接收交货数据(在S100中为YES)，根据已接收的交货数据，更新交货期限优先度数据库(图14)(S102)。
如果到达交货期限优先度数据库的统计日期(在S104中为YES)，则分别对各个产品编号和掩模厂商计算上个月度的交货期限完成率。根据已计算的交货期限完成率，分别对各个产品编号和掩模厂商计算交货期限优先度。在交货期限优先度数据库(图14)中存储已计算的交货期限完成率和交货期限优先度。
新的掩模厂商在发送投标数据之前，对服务器100发送厂商数据(图8)。已记录完的掩模厂商在增设了制造装置等的情况下，对服务器100发送厂商数据(图8)。服务器100接收厂商数据(在S200中为YES)，根据已接收的厂商数据，更新技术优先度数据库(图15)(S202)。如果到达技术优先度数据库的统计日期(在S204中为YES)，则分别对各个掩模厂商计算优先度判断要素的点数。对各个掩模厂商，对已被计算的优先度判断要素的点数相加，计算出技术优先度(S208)。在技术优先度数据库(图15)中存储已被计算出的优先度判断要素的点数和技术优先度(S210)。
如果服务器100对掩模厂商的计算机200发送订货数据(图11)(在S300中为YES)，则根据在已被发送的订货数据中包含的订货数量，存储接受订货优先度数据库(图16)的订货实际业绩数。如果到达接受订货优先度数据库的统计日期(在S304中为YES)，则从订货计划数据库读出订货计划数和订货预定数(S306)。
根据已读出的订货计划数和订货预定数对各个掩模厂商计算{订货计划数-(订货实际业绩数+订货预定数)}(S308)。根据已计算出的结果，计算接受订货优先度(S310)。在接受订货优先度数据库(图16)中存储已被计算出的接受订货优先度(S312)。
从服务器100接受了估算请求数据的掩模厂商对服务器100发送包含回答交货期限和回答价格的投标数据。如果服务器100接收了投标数据(在S400中为YES)，则根据已接收的投标数据，在价格优先度数据库(图17)中存储回答交货期限和回答价格(S402)。
根据交货期限优先度数据库(图14)的上个月度的交货期限完成率，将回答交货期限修正为修正交货期限(S404)。在价格优先度数据库(图17)中存储已修正的修正交货期限(S406)。如果到达价格优先度数据库的统计日期(在S408中为YES)，则根据回答价格计算价格优先度(S410)。在价格优先度数据库(图17)中存储已被计算出的价格优先度(S412)。
如果光掩模的订货商确定订货规格，则从设计用计算机400对服务器100发送规格数据(图5)，从订货用计算机300对服务器100发送订货记录数据(图4)。如果服务器100从订货用计算机300接收了订货记录数据(在S500中为YES)，则根据已接收的订货记录数据，作成订货记录数据库(图12)(S502)。服务器100如果从设计用计算机400接收了规格数据(图5)(在S504中为YES)，则根据已接收的规格数据，作成规格数据库(图13)(S506)。
如果到达估算请求日期(在S508中为YES)，则根据订货记录数据库(图12)和规格数据库(图13)，作成估算请求数据(图6)(S510)。对掩模厂商的计算机200发送已作成的估算请求数据(S512)，接受了估算请求数据的掩模厂商的计算机200对服务器100发送包含回答交货期限和回答价格的投标数据。
服务器100从掩模厂商的计算机200接收投标数据，在价格优先度数据库(图17)中存储已接收的投标数据(S514)。如果结束投标、输入订货的产品编号(S516)，则关于对已被输入的产品编号进行了投标的掩模厂商，从价格优先度数据库(图17)读出修正交货期限(S518)。读出交货期限优先度数据库(图14)、技术优先度数据库(图15)、接受订货优先度数据库(图16)和价格优先度数据库(图17)的各优先度(S520)，关于对已被输入的产品编号进行了投标的掩模厂商，计算出综合评价(S522)。选定满足已被读出的修正交货期限的掩模厂商并且是综合评价最高的掩模厂商为接受订货的厂商(S524)。
参照图17和图18，在产品编号为「MIS」的情况下，4个掩模厂商进行了投标。在图17中示出各自的修正交货期限。关于掩模厂商「X」，由于修正交货期限是2001年4月1日，而希望交货期限是2001年3月30日，故修正交货期限不满足希望交货期限。因此，关于产品编号「MIS」，不对掩模厂商「X」发送订货数据。在其它3个掩模厂商中，综合评价最高的的厂商是掩模厂商「Y」。掩模厂商「Y」的修正交货期限满足了希望交货期限。因此，决定对掩模厂商「Y」进行产品编号「MIS」的订货。
对已被选定的掩模厂商的计算机200发送订货数据(图11)和图7中示出的设计数据(图7)(S524)，更新订货数据库(图19)(S526)。
再有，已说明了将交货期限优先度设定为与交货期限完成率相等，但不限定于此。例如，可利用使用了交货期限完成率的函数来设定交货期限优先度和与交货期限完成率无关地来设定交货期限优先度。
如上所述，本实施例的掩模厂商选定系统对每个掩模厂商根据上个月的交货期限完成率来计算交货期限优先度。该系统对每个掩模厂商根据厂商数据来计算技术优先度。该系统对每个掩模厂商计算将订货预定数加上了订货实际业绩数的数越未满足订货计划数就变得越高的交货期限优先度。该系统计算从掩模厂商计算机已发送的回答价格越低就变得越高的价格优先度。该系统根据上个月的交货期限完成率，从由掩模厂商计算机已接收的回答交货期限来计算修正交货期限。该系统选定满足希望交货期限的掩模厂商并且是综合地判断了交货期限优先度、技术优先度、接受订货优先度和价格优先度的综合评价为最高的掩模厂商为光掩模的接受订货的厂商。其结果，可根据对光掩模进行订货时的多个要素，容易地选定掩模厂商。
以上，参照附图详细地说明了本发明，但这些说明始终是例示性的，而不是在任何意义上来限定本发明，本发明的要旨和范围只由后附的权利要求书来限定，包含与权利要求的范围均等的意义和范围内的全部的变更。
权利要求
1.一种选定光掩模的制造商的选定装置，其特征在于上述选定装置包含与上述光掩模的制造商的计算机进行通信的通信电路；存储数据的存储电路；以及与上述通信电路和上述存储电路连接、控制上述通信电路和上述存储电路的控制电路，上述控制电路包含对上述计算机发送包含上述光掩模的规格和交货期限的规格数据的电路，接收了上述规格数据的上述制造商根据上述规格和上述交货期限，作成包含上述光掩模的交货预定日的估算数据，使用上述计算机对上述选定装置发送已被作成的上述估算数据，上述控制电路还包含接收上述估算数据、使上述存储电路进行存储用的电路；使上述存储电路存储表示由上述制造商对光掩模已交货的实际业绩的交货数据用的电路；根据上述交货预定日和上述实际业绩修正上述交货预定日、使上述存储电路存储上述已被修正的交货预定日用的电路；以及根据上述交货期限和上述已被修正的交货预定日来选定上述光掩模的制造商的选定电路。
2.如权利要求1中所述的选定装置，其特征在于上述选定电路包含选定制造上述光掩模的多个制造商的电路，上述控制电路还包含根据上述交货数据、对每个上述制造商计算关于期限的优先度的电路；以及根据关于上述期限的优先度、从由上述选定电路已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的电路。
3.如权利要求1中所述的选定装置，其特征在于上述选定电路包含选定制造上述光掩模的多个制造商的电路，上述控制电路还包含从上述计算机接收表示上述制造商的与上述光掩模的制造有关的技术的技术数据、使上述存储电路进行存储用的电路；根据上述技术数据、对每个上述制造商计算关于技术的优先度的电路；以及根据上述技术的优先度、从由上述选定电路已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的电路。
4.如权利要求1中所述的选定装置，其特征在于上述选定电路包含选定制造上述光掩模的多个制造商的电路，上述控制电路还包含使上述存储电路存储表示对上述制造商订货的上述光掩模的订货计划的数据和表示订货实际业绩的数据用的电路；根据表示上述订货计划的数据和表示上述订货实际业绩的数据、对每个上述制造商以上述订货实际业绩越没有完成上述订货计划就变得越高的方式计算计划完成用的优先度的电路；以及根据上述计划完成用的优先度、从由上述选定电路已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的电路。
5.如权利要求1中所述的选定装置，其特征在于上述估算数据还包含上述光掩模的估算价格，上述选定电路包含选定制造上述光掩模的多个制造商的电路，上述控制电路还包含根据上述估算价格、对每个上述制造商计算关于价格的优先度的电路；以及根据关于上述价格的优先度、从由上述选定电路已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的电路。
6.一种选定光掩模的制造商的选定装置，其特征在于上述选定装置包含与上述光掩模的制造商的计算机进行通信用的通信装置；存储数据用的存储装置；以及与上述通信装置和上述存储装置连接、控制上述通信装置和上述存储装置用的控制装置，上述控制装置包含对上述计算机发送包含上述光掩模的规格和交货期限的规格数据用的装置，接收了上述规格数据的上述制造商根据上述规格和上述交货期限，作成包含上述光掩模的交货预定日的估算数据，使用上述计算机对上述选定装置发送已被作成的上述估算数据，上述控制装置还包含接收上述估算数据、使上述存储装置进行存储用的装置；使上述存储装置存储表示由上述制造商对光掩模已交货的实际业绩的交货数据用的装置；根据上述交货预定日和上述实际业绩修正上述交货预定日、使上述存储装置存储上述已被修正的交货预定日用的装置；以及根据上述交货期限和上述已被修正的交货预定日来选定上述光掩模的制造商的选定装置。
7.如权利要求6中所述的选定装置，其特征在于上述选定装置包含选定制造上述光掩模的多个制造商的装置，上述控制装置还包含根据上述交货数据、对每个上述制造商计算关于期限的优先度的装置；以及根据关于上述期限的优先度、从由上述选定装置已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的装置。
8.如权利要求6中所述的选定装置，其特征在于上述选定装置包含选定制造上述光掩模的多个制造商的装置，上述控制装置还包含从上述计算机接收表示上述制造商的与上述光掩模的制造有关的技术的技术数据、使上述存储装置进行存储用的装置；根据上述技术数据、对每个上述制造商计算关于技术的优先度的装置；以及根据上述技术的优先度、从由上述选定装置已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的装置。
9.如权利要求6中所述的选定装置，其特征在于上述选定装置包含选定制造上述光掩模的多个制造商的装置，上述控制装置还包含使上述存储装置存储表示对上述制造商订货的上述光掩模的订货计划的数据和和表示订货实际业绩的数据用的装置；根据表示上述订货计划的数据和和表示上述订货实际业绩的数据、对每个上述制造商以上述订货实际业绩越没有完成上述订货计划就变得越高的方式计算计划完成用的优先度的装置；以及根据上述计划完成用的优先度、从由上述选定装置已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的装置。
10.如权利要求6中所述的选定装置，其特征在于上述估算数据还包含上述光掩模的估算价格，上述选定装置包含选定制造上述光掩模的多个制造商的装置，上述控制装置还包含根据上述估算价格、对每个上述制造商计算关于价格的优先度的装置；以及根据关于上述价格的优先度、从由上述选定装置已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的装置。
11.一种选定光掩模的制造商的选定方法，其特征在于上述选定方法包含对上述制造商的计算机发送包含上述光掩模的规格和交货期限的规格数据的步骤，接收了上述规格数据的上述制造商根据上述规格和上述交货期限，作成包含上述光掩模的交货预定日的估算数据，使用上述制造商的计算机发送已被作成的上述估算数据，上述选定方法还包含接收上述估算数据并进行存储的步骤；由上述制造商准备表示对光掩模已交货的实际业绩的交货数据的步骤；根据上述交货预定日和上述实际业绩修正上述交货预定日、存储上述已被修正的交货预定日的步骤；以及根据上述交货期限和上述已被修正的交货预定日来选定上述光掩模的制造商的步骤。
12.如权利要求11中所述的选定方法，其特征在于选定上述制造商的步骤包含选定制造上述光掩模的多个制造商的步骤，上述选定方法还包含根据上述交货数据、对每个上述制造商计算关于期限的优先度的步骤；以及根据关于上述期限的优先度、从在选定上述多个制造商的步骤中已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的步骤。
13.如权利要求11中所述的选定方法，其特征在于选定上述制造商的步骤包含选定制造上述光掩模的多个制造商的步骤，上述选定方法还包含准备表示上述制造商的与上述光掩模的制造有关的技术的技术数据的步骤；根据上述技术数据、对每个上述制造商计算关于技术的优先度的步骤；以及根据关于上述技术的优先度、从在选定上述多个制造商的步骤中已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的步骤。
14.如权利要求11中所述的选定方法，其特征在于选定上述制造商的步骤包含选定制造上述光掩模的多个制造商的步骤，上述选定方法还包含准备表示对上述制造商订货的上述光掩模的订货计划的数据和和表示订货实际业绩的数据的步骤；根据表示上述订货计划的数据和和表示上述订货实际业绩的数据、对每个上述制造商以上述订货实际业绩越没有完成上述订货计划就变得越高的方式计算计划完成用的优先度的步骤；以及根据上述计划完成用的优先度、从在选定上述多个制造商的步骤中已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的步骤。
15.如权利要求11中所述的选定方法，其特征在于上述估算数据还包含上述光掩模的估算价格，上述选定步骤包含选定制造上述光掩模的多个制造商的步骤，选定上述制造商的方法还包含根据上述估算价格、对每个上述制造商计算关于价格的优先度的步骤；以及根据关于上述价格的优先度、从在选定上述多个制造商的步骤中已选定的多个制造商中选定上述光掩模的制造商的步骤。
全文摘要
本发明的课题是一种选定掩模厂商的方法,该方法包含下述步骤:存储从掩模厂商接收到的投标数据的步骤(S514);根据上个月的交货期限完成率、将已接收的投标数据中包含的回答交货期限修正为修正交货期限的步骤;存储关于交货期限的优先度、关于技术的优先度、关于交货的优先度和关于价格的优先度的步骤;如果输入订货的产品编号,就读出对已被输入的产品编号进行了投标的每个掩模厂商的修正交货期限的步骤(S518);根据多个优先度、计算出每个掩模厂商的综合评价的步骤(S522);以及选定满足修正交货期限的掩模厂商并且是综合评价最高的掩模厂商为接受订货的厂商的步骤(S524)。
文档编号G06Q30/06GK1376999SQ01142429
公开日2002年10月30日 申请日期2001年11月28日 优先权日2001年3月28日
发明者森正芳, 菊田裕子 申请人:三菱电机株式会社