专利名称：整合与自动化作业的方法及系统的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种半导体制作工艺整合的方法及系统，且特别是有关于一种整合与自动化作业的方法及系统。
此外，在目前所使用的Advantest系统10之中，测试所产生的结果是在全部的测试告一个段落后才输入到整体服务器100的数据库中。换句话说，测试结果的分析必须在多批的产品经过测试，并且将测试结果逐一输入到数据库之后，才能开始进行。如此一来，测试结果的分析时间会遭到延迟，而制作工艺合格率改善的时机也会被延后。
发明内容
有鉴于此，本发明提出一种整合与自动化作业的方法及系统。其使得参数的输入极为简易且不易出错，整体参数设定所需的时间可以缩短许多。另外，每一批号的产品在操作完成之后，操作的结果会立即被储存到数据库中以供分析人员对操作结果进行分析，对于制作工艺合格率的改善也大有帮助。
本发明提出一种整合与自动化作业的系统，此系统具有人机接口、整体服务器与机台。其中，人机接口用以选择/输入包含产品编号的多个默认值。整体服务器储存参数与操作程序，并根据由前述人机接口所输入的默认值来取出相对应的部分参数与操作程序。机台提供一个储存区，此储存区对应于不同的批号配置有不同的工作路径。这些工作路径分别储存由整体服务器所取得的参数与操作程序。而此机台根据操作程序操作所得的结果则会实时储存至整体服务器与此工作路径中。
在本发明的一个较佳实施例中，整体服务器包括了一个程序服务器与一个中央数据库。程序服务器储存前述的操作程序，并根据所输入的默认值由这些操作程序中选取其一以输出至机台。中央数据库则储存机台进行操作所得的结果。此外，整体服务器还可以包括一个程序代码数据库。此程序代码数据库提供对应于默认值的程序代码至工作路径中。
此外，本发明还提供一种整合与自动化作业的方法。在此方法中，首先根据输入的部分预定值而自整体服务器中取得相对应的多个参数，之后再将这些参数加载至依产品批号不同而不同的工作路径下。在根据这些参数执行操作之后，操作所得的结果会依照由此方法所产生的标头档所提供的形式填入档案中，如此则操作所得的结果就可以形成一个操作结果档。而在每一批号的产品完成操作时，这个操作结果档就会被实时传送至工作路径与整体服务器中。
在本发明的一个较佳实施例中，当操作需要比对程序代码时，更将此程序代码自前述的整体服务器中加载至工作路径内。此外，加载程序代码时更比对所加载的程序代码的检查和(checksum)是否正确。再者，在本发明的另一个较佳实施例中，当操作完成后还需比对由整体服务器加载至工作路径中的数据是否曾被更动，若这些数据于操作过程中曾被更动的话，就需要重新进行操作。
综上所述，本发明通过输入少数的默认值而从数据库中取得详细的参数，因此可以大幅降低输入所需的时间，并且可以减少输入错误的产生。此外，由于操作所得的结果依照标头档中所指定的格式而成，所以分析者可以根据本身的需求来设计标头档，借此可以轻易让分析者得以掌握最适合的信息。而在每一批号的产品完成操作之后就立刻将操作结果传送到数据库中的动作，还可以减少分析人员等待数据时所空费的时间，使得制作工艺的改善可以更为实时，对于合格率的增加也将有极大的助益。
为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明。
图1绘示的是公知技术所使用的Advantest系统的架构方块图；图2绘示的是根据本发明的一较佳实施例的系统的架构方块图；图3绘示的是根据本发明的一较佳实施例的整合与自动化作业的方法的步骤流程图；图4A-图4G绘示的是根据本发明的另一较佳实施例的整合与自动化作业的方法的图形接口。标号说明10Advantest系统20系统100，200整体服务器102，210人机接口104，220Advantest机台106，230测试座202程序服务器204中央数据库206程序代码数据库225储存区2250，2252工作路径S300-S320本发明的一较佳实施例的步骤请参照图2，其绘示的是依照本发明一较佳实施例的系统的架构方块图。在本实施例中，系统20包括了一个整体服务器200，一个人机接口210、Advantest机台220与测试座230。其中，测试座230接受Advantest机台220的控制以进行测试操作。在开始测试之前，操作员可通过人机接口210选择/输入一到数个默认值。这些由人机接口210所输入的默认值会被用来从整体服务器200中取得与其相对应的参数与测试程序。而这些从整体服务器200中所取得的参数与测试程序，会被依照产品批号的不同而放入Advantest机台220的储存区225中的不同工作路径，如工作路径2250或2252之中。
必须要注意的是，虽然在本实施例中将整体服务器200分为专用以存放各种测试程序的程序服务器202，用以存放测试结果与测试所需参数的中央数据库204，以及用以储存只读存储器程序代码等程序代码数据的程序代码数据库206三个部分，然熟悉此技术者当知此并非为本发明的必要限制条件而可依环境所需自行调整数据的配置方式。
接下来将进一步以运作流程图与实际的图形接口来解说本发明所提供的系统的运作方式，而为了解说上的方便，将在提及硬件部分的时候沿用图2的标号，并在解说步骤时加注图3的标号以求得明确的对应关系。
请同时参照图2、图3与图4A-图4G。其中，图3绘示的是根据本发明的一较佳实施例的整合与自动化作业的方法的步骤流程图，而图4A-图4G则绘示了可表示根据本发明的一较佳实施例的整合与自动化作业的方法的步骤顺序的图形接口。在开始测试之前，由本发明提供的整合与自动化作业的方法会在人机接口210的地方显示出如图4A所示的图形，并借此进行后续的操作控制。由图4A中可以看出，在此较佳实施例中，在图形界面的上方包含了数个按钮，如加载程序(Load Program)、加载样式(Load Pattern)、批号开始(Lot Start)、批号结束(Lot End)、印出总结(Print Summary)与离开(Quit)。此外，在图形界面的中上部分则有用以显示各种状态，如目前状态(CurrentStatus)与批号状态(Lot Status)等的状态显示列。最后，在图形界面的中下部分则是手动输入指令的窗口。当然，熟悉此技术者当可根据本身的使用习惯而更动画面设计，在此处所显示的图形界面仅是举例之用，并无限制本发明范围的意图。
当测试员要开始进行测试的时候，首先必须要将Advantest机台220调整成测试时所需的状态。因此，在步骤S300之中，操作员首先必须通过人机界面210来输入一到数个默认值，如此方能使整体服务器200能根据这(些)默认值，分别从其内部的程序服务器202与中央数据库204之中取得测试时所需使用的测试程序与设定环境所需要的参数。若以图4A与图4B为例，当测试员要开始进行测试的时候，就必须先按下图4A中的“加载程序”按钮以唤出如图4B所示的选择/输入窗口。在此要说明的是，如图4B中所示的测试(Test)、产品形式(Product Type)、产品编号(Product Code)、测试模式(TestMode)、封装形式(Package Type)、测试速度(Speed)与程序名称(Program Name)等任何一项，都可以是前述步骤S300之中所输入的默认值，而其余非经测试员所输入的部分则可视为步骤S300之中所提及的参数。举例而言，当测试员选定产品形式为闪存(flash)时，产品形式(闪存)即可被视为前述的默认值。根据此一设定产品形式的默认值，中央数据库204会提供其内部与此种产品形式相关的产品编号表以供操作员于产品编号一栏做选择操作。在此种情况下，产品编号表中的各种产品编号就被视为前述的参数。而在产品编号被选定之后，中央数据库204就可以根据此一产品编号(此时产品编号被视为是前述的默认值)将其它相关数据，如测试模式、封装形式与程序名称等，提供至图形界面上以供选择。此时，这些测试模式、封装形式与程序名称等数据就被视为前述的参数。
当图4B上所示的数据域都选填完毕之后，操作员还可视情况选择一些配件的状态，如图4C与图4D两图所示。其中，图4C所示者为按下图4B下方的配件设定(Assy Setup)按钮时所产生的图形界面，且在此接口中会有一些预设或可加以选择的数据域以供选择之用。而若预设的字段值不对，或是可选择的数据中没有合适的选项，则操作员可通过按下图4C下方的人工设定(Manual Setup)按钮来达到自行输入的目的。在操作员按下图4C下方的人工设定按钮时，就会出现如图4D的图形界面，而操作员就可通过此图形界面来输入适当的字段值。
在主要参数(图4B所示的字段)与配件参数(图4C或图4D所示的字段)都设定完毕之后，操作员可以按下图4B中下方所示的环境准备(Prepare Env)的按钮。当按下此按钮之后，由图4B与图4C或图4D所取得的参数，以及由程序名称所指定的测试程序，将会分别被由中央数据库204与程序服务器202加载至Advantest机台220内的储存区225中(即图3所示的步骤S302)。这些参数与测试程序较佳的是以产品批号(Lot)为储存区域的分隔，换句话说，产品批号为1的测试产品所对应的参数与测试程序等数据可以放在工作路径2250之下，而产品批号为2的测试产品所对应的参数与测试程序等数据则可以放在工作路径2252之下。当这些参数与测试程序都被加载到储存区225之后(设若置放于工作路径2250之下)，Advantest机台220会先就参数与测试程序进行仿真测试，并在仿真测试完成无误之后以各种方式，如图4E所示的后景(background)中的test字样或警示声等，提示操作员进行下一步的动作。
之后，当操作员按下显示于图4A中的批号开始的按钮之后，在人机接口210上就会出现如图4F所示的窗口，而在这个窗口中的数据填写完毕之后，操作员就可按下完成(Done)的按钮以使Advantest机台220进行测试操作(若为重工(rework)，则要填写重工原因(reworkreason))。在此期间，某些产品，如闪存与罩幕式只读存储器(MaskROM)之类内部储存有程序代码的产品，在开始测试之前还需要先加载只读存储器程序代码(ROM Code)。因此，在本实施例中，于步骤S304激活测试之后会先侦测是否需要用到ROM Code。若需要用到ROM Code，则进入步骤S310以自程序代码数据库206中加载ROMCode到相对应的工作路径2250之下。在图形界面的部分，这一个工作可以由按下图4A中的加载样式按钮来达成。当按下加载样式的按钮之后，图形界面将会产生一个可以输入程序代码编号(ROM CodeNumber)与检查和(Checksum)的窗口。操作员可以在此输入程序代码编号与检查和，再由Advantest系统20从程序代码数据库206将对应的ROM Code下载到工作路径2250之下，并就检查和做检验，以避免下载时所可能产生的错误(如步骤S312)。
在此要特别加以说明的是，虽然在图3所示的实施例中将检查是否需要ROM Code的步骤(S306)放在激活测试(S304)之后，然熟悉此技术者当知，步骤S306实际上也可以在步骤S304之前产生。在这种状况下，其步骤流程会变更为将测试程序与参数加载至工作路径下(S302)，之后检查待测产品是否需要ROM Code(S306)。若不需要ROMCode则径行激活测试(S304)；而若需要ROM Code，则进行步骤S310与S312，并在确认ROM Code正确之后再激活测试(S302)。此外，虽然本实施例在ROM Code的检查和错误的情况下会停止测试，然熟悉此技术者当知此并非为唯一的解法，至少，在ROM Code的检查和错误的情况下，也可以使操作员重新输入ROM Code编号或检查码，直到检查成功为止。再者，当待测产品是罩幕只读存储器时，还可以不输入检查和。所以，图3所示的实施例也仅为举例之用，并非用以限定本发明的实施可能性，熟悉此技术者当可自行视情况调整其实施顺序。
在按下图4F中的完成按钮之后，系统20也同时进行标头档(header file)的产生操作。这个标头档是用来指定测试所得的结果的输出格式，且标头档可以是事先定义好的，也可以是通过人机接口210在测试之前或测试期间自行定义，熟悉此技术者当可选择最适用的方法以求取更佳的功效。
当测试完成之后，操作员可以按下图4A中所示的批号完成的按钮。当批号完成的按钮被按下之后，就会显示出如图4G所示的窗口，其中记载了一些基本的信息。此外，测试所得的结果也会在此时被依照标头档所定义的格式而输出成为一个测试结果档(步骤S308)。再者，系统也会检查先前由整体服务器200下载至工作路径2250之下的各个参数与测试程序等等档案是否曾被更动过(步骤S314)。若这些档案曾被更动过，表示在测试的过程中曾经有不正常的参数变动，而这样的变动极可能会导致测试结果产生错误。因此，当这些被从整体服务器200下载至工作路径2250的档案被发现曾在测试过程中被更动的话，整个测试程序就必须重新激活以避免错误结果的产生。
而若在步骤S314的检测当中没有发现档案曾被更动的迹象，则进入步骤S316以将先前产生的测试结果档同步而实时的储存到中央数据库204与工作路径2250之中。如此一来，在每个批号的产品完成测试操作之后，测试时所得的结果就可以立刻被引用来做为分析制作工艺好坏的数据。因此，合格率可以在比公知技术更短的时间内得到改良，受到不良制作工艺影响的产品也将可望大幅下降。
最后，若操作员按下图4A中所示的印出总结的按钮(步骤S318)，则系统20就可以透过打印机或显示器将测试结果显示出来。借此，操作员或分析师也可以轻易的得知测试结果。
综上所述，现将本发明的优点略述如下。本发明可以大幅降低输入所需的时间，并且可以减少输入错误的产生。此外，分析者可以根据本身的需求来设计标头档，借此轻易掌握最适合的信息。再者，还可以减少分析人员等待数据时所空费的时间，使得制作工艺的改善可以更为实时，对于合格率的增加也将有极大的助益。
虽然本发明已以较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何熟悉此技术者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定为准。
权利要求
1.一种整合与自动化作业的方法，其特征在于包括根据所输入的复数个预定值而自一整体服务器中取得相对应的复数个参数；将该些参数加载至一工作路径下，该工作路径依产品批号不同而不同；根据该些参数以执行操作；产生一标头档；将操作所得的结果填入由该标头档所提供的形式，形成一操作结果档；于每一批号的产品完成操作时，将该操作结果文件传送至该工作路径与该整体服务器中。
2.如权利要求1所述的整合与自动化作业的方法，其特征在于其中该些预定值还包括操作阶段、产品形式、操作模式、封装模式、操作速度与程序名称之一。
3.如权利要求1所述的整合与自动化作业的方法，其特征在于其中当操作需要比对一程序代码时，更将该程序代码自该整体服务器中加载至该工作路径内。
4.如权利要求3所述的整合与自动化作业的方法，其特征在于其中加载该程序代码时更比对所加载的程序代码的检查和是否正确。
5.如权利要求1所述的整合与自动化作业的方法，其特征在于其中当操作完成后，更比对由该整体服务器加载至该工作路径中的数据是否曾被更动，并在由该整体服务器加载至该工作路径中的数据于操作过程中曾被更动时，重新进行操作。
6.一种整合与自动化作业的系统，其特征在于包括一人机接口，用以选择/输入复数个默认值；一整体服务器，储存复数个参数与复数个操作程序，并根据由该人机接口所输入的该些默认值，取出该些参数中相对应的部分参数与该些操作程序之一；一机台，提供一储存区，该储存区对应于不同的批号配置有不同的一工作路径以储存由该整体服务器所取得的对应于该些默认值的部分参数与该些操作程序之一，该机台根据该操作程序操作所得的结果实时储存至该整体服务器与该工作路径中。
7.如权利要求6所述的整合与自动化作业的系统，其特征在于其中该机台更产生一标头文件，而该操作程序操作所得的结果根据该标头档所定的格式实时储存至该整体服务器与该工作路径中。
8.如权利要求6所述的整合与自动化作业的系统，其特征在于其中该整体服务器包括一程序服务器，储存该些操作程序，并根据该些默认值由该些操作程序中选取其一以输出至该机台；一中央数据库，储存由该机台以所选取的该操作程序进行操作所得的结果。
9.如权利要求6所述的整合与自动化作业的系统，其特征在于其中该整体服务器还包括一程序代码数据库，该程序代码数据库提供对应于该些默认值的一程序代码至该工作路径中。
10.一种整合与自动化作业的方法，其特征在于包括提供一工作列表以通过该工作列表输入复数个默认值，该些默认值包括产品编号、产品批号、操作阶段、产品形式、操作模式、封装模式、操作速度与程序名称中至少一者；提供一标头档以指定操作所得的一操作结果的一输出形式；根据该些默认值自一整体服务器中取得相对应的复数个参数及一操作程序，并将该些参数与该操作程序储存于对应于产品批号的一工作路径中；当操作的产品包含有一程序代码时，自该整体服务器中将该程序代码加载至该工作路径，并比较两者间的检查和以确保该程序代码正确；于每一产品批号完成操作后，将该操作结果依据该输出形式所指定的方式分别储存到该工作路径与该整体服务器中。
11.如权利要求10所述的整合与自动化作业的方法，其特征在于还包括将该操作结果依据该输出形式所指定的方式打印成报表。
全文摘要
一种整合与自动化作业的方法及系统。此整合与自动化作业的系统利用人机接口以选择/输入默认值，而整体服务器则储存参数与操作程序，并根据由人机接口所输入的默认值来取出相对应的部分参数与操作程序。此外，此系统所使用的机台尚提供一个储存区，而此储存区对应于不同的产品批号则配置有不同的工作路径。前述由整体服务器所取得的部分参数、操作程序以及操作所得的结果，都会被储存在此工作路径中。此外，操作所得的结果还会实时储存至整体服务器内。
文档编号G06F17/00GK1476044SQ02129848
公开日2004年2月18日 申请日期2002年8月15日 优先权日2002年8月15日
发明者唐山河, 胡志峰, 黄智盈, 茆世民 申请人:旺宏电子股份有限公司