专利名称：半导体设备的secs－ⅱ至xml资料转换方法及资料转换装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种资料的转换方法及资料转换装置，特别是涉及一种配合在半导体高阶过程控制过程中，将半导体设备产生的SECS讯息转换为XML资料的转换方法及资料转换装置。
背景技术：
目前半导体制程的半导体高阶过程控制(Advanced Process Control；APC)，大致可分为实时回馈调整及失误侦测与分类等技术，实时回馈调整是整合许多制造设备，主要是将制程的品质、状态等各种变量，透过预先建立的制程模式加以估算，并进行实时的线上回馈调整制程参数，来减少制程变异及提升半导体产品的良率。而失误侦测与分类是透过失误分类技术，来预测制造设备或组件的异常状态并加以分析其原因，以掌握制造设备状态，达成预测性维修的作用，因此，半导体高阶过程控制牵涉到如何控制制程步骤，而每个步骤需要不同的半导体设备加以配合。
在进行半导体高阶过程控制时，是以一种符合半导体设备通讯标准(SEMIEquipment Communications Standard；SECS)的语法，来进行相关讯息的交换，所谓的SECS语法，是由半导体设备及材料国际贸易协会(Semiconductor Equipment andMaterials International；SEMI)所制定的特定语言，SEMI将一般的SECS共分为三层GEM层、SECS-I层及SECS-II层，GEM(Generic Equipment Model)层负责半导体制造程序的管理，SECS-I层负责SECS讯息的传送接收型式，至于SECS-II层则负责将每道程序的状态和结果以SECS-II讯息的方式呈现。
SECS-II讯息又称为讯息流(stream)，主要区分为初级(primary)讯息，及依附于初级讯息的次级(secondary)讯息，以图1所示为范例来说明，在一自动化控制计算机101及半导体设备102之间传递有SECS-II讯息201、202，其中的讯息201是为初级讯息，也称为自动化控制计算机101对半导体设备102的请求(request)，而讯息202是为次级讯息，也称为半导体设备102对自动化控制计算机101的回复(reply)。初级讯息与次级讯息为具有相依性，在本范例中，讯息201中的S1，F3是请求半导体设备102提供具有SVID1-SVIDn等数值的状态报告，讯息202中S1，F4是半导体设备102传回的次级讯息，是以自动化控制计算机101所请求的顺序回复每一SVID请求值，而自动化控制计算机101必须以各项请求值的要求作出对应的响应或控制动作。
目前，所谓的延伸标记语言(Extensible Markup Language；XML)，主要为定义数据结构及处理信息的语法，已被广泛地应用在各层面，而XML主要是使用卷标(tag)、组件(element)、属性(attribute)以增加结构及定义至文件的文字基础(text-based)标定语言。以XML资料表示SECS讯息提供了许多相较于传统SECS讯息的优点，例如操作人员可以较易理解XML资料，其次，XML资料具有允许以非专用软件来处理交换信息的能力，在使用上更具有方便性及较大的弹性。
发明专利内容因此，本发明的目的，是提供一种将半导体设备产生的SECS-II讯息转换为XML资料的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法。
本发明的另一目的，是提供一种将半导体设备产生的SECS-II讯息转换为XML资料的资料转换装置。
本发明的再一目的，是提供一种包含有将半导体设备产生的SECS-II讯息转换为XML资料的转换方法的纪录媒体。
本发明的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，取得一SECS-II讯息并个别标定该SECS-II讯息所具有的复数SECS项目，分析所标定的各该SECS项目以抽取出感兴趣的SECS项目，接着判断所抽取的各该SECS项目之间的相依性，将具有相依性的该等SECS项目加以配对，结合所有配对后的该等SECS项目后，将其转换为XML资料。
本发明的资料转换装置，是电性连接于一自动化控制计算机及至少一半导体设备，该资料转换装置包含一电性连接于该自动化控制计算机及该半导体设备的接口处理单元、一自该接口处理单元暂存所接收的该等SECS-II讯息的缓存器，及一电性接于该缓存器的分析单元。
该接口处理单元用以传送该自动化控制计算机及该半导体设备所产生的复数SECS-II讯息，该分析单元自缓存器储存的该等SECS-II讯息标定该等SECS-II讯息所具有的复数SECS项目，且在其中将感兴趣的该等SECS项目抽取出来，在配对被抽取的该等SECS项目后，将其结合转换为XML资料。
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明图1是一示意图，说明一目前的自动化计算机及一目前的半导体设备之间传递有SECS-II讯息。
图2是一电路方块图，说明本发明的档案转接装置的一较佳实施例电性连接于一监视器、自动化控制计算机及半导体设备。
图3是一电路方块图，说明该较佳实施例包含的内部组件。
图4是一流程图，说明本发明的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法。
图5是一示意图，说明SECS-II讯息中的SECS项目。
图6是一示意图，说明各将SECS项目标记的代码显示在项次后的()之中。
图7是一示意图，说明SECS-II讯息中的SECS项目标定其依附性的范例。
图8是一示意图，说明由SECS-II讯息所组成的原始资料经转换后输出的XML数据的范例。
具体实施例方式
如图2所示，为本发明的资料转换装置5的一较佳实施例，是电性连接于一监视器50、一自动化控制计算机6及多组半导体设备7，其中的监视器50可用以浏览资料转换装置5将SECS-II讯息转换的XML资料。
如图3所示，资料转换装置5包含一电性连接于自动化控制计算机6及半导体设备7的接口处理单元51、一自接口处理单元51暂存所接收的该等SECS-II讯息的缓存器52，及一电性接于缓存器52的分析单元53。资料转换装置5的接口处理单元51主要是配合自动化控制计算机6及该等半导体设备7原有的RS232或TCP/IP接口来作转接，并用以作为SECS-II资料的传送，由于此部份并非本发明的重点，且为所属技术领域中具有通常知识者所能轻易完成，在此不再赘述，而必须说明的是，资料转换装置5也可借由接口处理单元51的扩充，以配合更多组的自动化控制计算机6及半导体设备7来作进一步的应用。
接口处理单元51撷取SECS-II讯息后储存于缓存器52中，而分析单元53的功能为由缓存器52储存的该等SECS-II讯息标定该等SECS-II讯息所具有的复数SECS项目，且在其中将感兴趣的该等SECS项目抽取出来，在配对被抽取的该等SECS项目后，将其结合转换为XML资料输出至监视器50来监控半导体设备7的各种状态。
至于本发明的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法的较佳实施例，可为一执行程序，储存在例如光盘或其它内存的纪录媒体中。
如图4所示，说明本发明的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法的转程过程，首先，在步骤501中，先撷取SECS-II讯息，接着在步骤502-503中，将SECS-II讯息解析出SECS项目，并将各SECS项目标定对应的代码，其方法是当SECS-II讯息具有n个SECS根项目时，则其中的该等SECS根项目的代码标记为A0-An-1，当第n个SECS根项目具有i个SECS子项目时，则其中的各该SECS子项目的代码标记为An-1.0-An-1.i-1。
如图5所示，为一SECS-II讯息范例，讯息301、302的结构为一具有SECS项目(Items)及项目列表(Lists of items)的实体，以本范例而言，讯息301中的S1，F3及讯息302中的S1，F4便是一种SECS项目，而跟随S1，F3及S1，F4<>之中的内容即为项目列表。以讯息301为例，使用上述的标定法时，是在S1，F3的SECS根项目401为＜L项，将其标记为代码A0，而以SECS项目403的<U4 VID>*Variable ID_n为例，当n＝4时，也就是<U4 VID>*Variable ID_4的部分，是依上述的规则将其标定为A0.3，其余的标定方式可以依序类推，如图6所示，为一具有更多层的SECS项目的SECS-II讯息，其中的各SECS项目标记的代码显示在项次后的()之中。
在将各标定对应的代码之后，接着如步骤504，分析是否感兴趣的SECS项目，若为感兴趣的SECS项目，则将感兴趣的SECS项目标定为项目名称An-1.*。如图5所示，假设讯息301、讯息302中的项目皆为感兴趣，则将其标定为S1F3A0.*及S1F3A0.*，至于不感兴趣的SECS项目则维持原标定方式及在步骤505将其移除。
在步骤506中，为比对各SECS项目之间是否具有相依性，并将具有依附性的被依附的该SECS项目标定为项目名称An-1.@。如图5所示，SECS项目403的<V>*StatusVariable Value_n，是依附于SECS项目402的<U4 VID>*Variable ID_n，因此标定其依附性的方式为S1F4A0.n依附于S1F3A0.@，@即表示SECS项目S1F4A0.n依附于SECS项目S1F3A0.n。至于无相依性的SECS项目则在步骤507将其移除。
如图7所示，为标定其依附性的另一范例，讯息305的SECS项目<V>*VariableValue-xm，是依附于讯息303中的SECS项目<U4 VID>*Variable ID_ym，是假设讯息305的SECS项目<U4 DATAID>*Report ID_x相等于讯息303中的SECS项目<U4 RPTID>*Report ID_y，也就是两者有相同的Report ID。其标定其依附性的方式为假设S6F11A0.2.*.0相等于S2F33A0.1.*.0时，S6F11A0.2.*.0依附于S2F33A0.1.*.1.@。必须说明的是，上述的各种标定法主要是将SECS项目区别区辨出来，因此其标定的代码不限于上述的方式，也可以是其它数字、字母或符号等。
如步骤508-509，将处理后具有相依性的SECS项目加以配对结合，最后产生XML资料。
如图8所示，是一由SECS-II讯息所组成的原始资料经转换后输出的XML数据的范例，主要是一搜集所有资料变量(data variable)的处理过程状态，并且已取得lot-id、recipe-id等生产资料，而讯息S1，F3为搜集设备状态的请求(selectedequipment status request；SSR)，讯息S1，F4为搜集设备状态的资料(selectedequipment status data；SSD)。
归纳上述，由于本发明的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，利用有次序的代码标定SECS-II讯息中的各SECS项目，接着分析所标定的各SECS项目以抽取出感兴趣的SECS项目，然后判断所抽取的各SECS项目之间的相依性，将具有相依性的该等SECS项目加以配对，最后结合所有配对后的该等SECS项目后，将其转换为XML资料，因此可以使用非限定的软件来处理交换信息的能力，而具有方便性及较大的弹性的优点。
权利要求
1.一种半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于包含下述步骤a)取得一SECS-II讯息并个别标定该SECS-II讯息所具有的复数SECS项目；b)分析所标定的各该SECS项目以抽取出感兴趣的SECS项目；c)判断所抽取的各该SECS项目之间的相依性，将具有相依性的该等SECS项目加以配对；及d)结合所有配对后的该等SECS项目后，将其转换为XML资料。
2.如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于步骤a)的标定方式是依据各该SECS项目所属层级而标记相对应的一代码。
3.如权利要求2所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于标记各该SECS项目的代码的方式，是当该SECS-II讯息具有n个SECS根项目时，则该等SECS根项目的代码标记为A0-An-1。
4.如权利要求3所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于当第n个SECS根项目具有i个SECS子项目时，则各该SECS子项目的代码标记为An-1.0-An-1.i-1。
5.如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于该半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法更包含步骤b-1)，将感兴趣的SECS项目标定为项目名称An-1.*。
6.如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法，其特征在于该半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法更包含步骤c-1)，将具有依附性的被依附的该SECS项目标定为项目名称An-1.@。
7.一种纪录媒体，其特征在于该纪录媒体包含有如权利要求1所述的半导体设备的SECS-II至XML资料转换方法。
8.一种资料转换装置，电性连接于一自动化控制计算机及至少一半导体设备，其特征在于该资料转换装置包含一接口处理单元，电性连接于该自动化控制计算机及该半导体设备，用以传送该自动化控制计算机及该半导体设备所产生的复数SECS-II讯息；一缓存器，自该接口处理单元暂存所接收的该等SECS-II讯息；及一分析单元，电性接于该缓存器，该分析单元自缓存器储存的该等SECS-II讯息标定该等SECS-II讯息所具有的复数SECS项目，且将感兴趣的该等SECS项目抽取出来，在配对被抽取的该等SECS项目后，将其结合转换为XML资料。
9.如权利要求8所述的资料转换装置，其特征在于该分析单元自缓存器储存的该等SECS-II讯息标定该等SECS项目的方式，是依据各该SECS项目所属层级而标记相对应的一代码。
10.如权利要求9所述的资料转换装置，其特征在于该分析单元标记各该SECS项目的代码的方式，是当该SECS-II讯息具有n个SECS根项目时，则该等SECS根项目的代码标记为A0-An-1。
11.如权利要求10所述的资料转换装置，其特征在于当第n个SECS根项目具有i个SECS子项目时，则该分析单元将各该SECS子项目的代码标记为An-1.0-An-1.i-1。
12.如权利要求8所述的资料转换装置，其特征在于该分析单元将感兴趣的SECS项目标定为项目名称An-1.*。
13.如权利要求8所述的资料转换装置，其特征在于该分析单元将具有依附性的被依附的该SECS项目标定为项目名称An-1.@。
14.如权利要求8所述的资料转换装置，其特征在于该接口处理单元是配合该自动化控制计算机及该半导体设备所具有的RS232或TCP/IP接口作资料的转换。
全文摘要
一种半导体设备的SECS－II至XML资料转换方法，主要是在一自动化控制计算机及至少一半导体设备之间，以一资料转换装置取得符合半导体设备通讯标准的SECS－II讯息，并个别标定该SECS－II讯息所具有的复数SECS项目，接着分析所标定的各该SECS项目以抽取出感兴趣的SECS项目，然后判断所抽取的各该SECS项目之间的相依性，将具有相依性的该等SECS项目加以配对，最后结合所有配对后的该等SECS项目，将其转换输出XML资料，用以监控半导体设备的各种状态。
文档编号G06F17/00GK1641627SQ20041000090
公开日2005年7月20日 申请日期2004年1月13日 优先权日2004年1月13日
发明者于文贞, 江国平, 谢政宏, 王俊义 申请人:巨路国际股份有限公司