专利名称：计算机执行方法
技术领域：
本发明是有关于半导体制造，特别是有关于处理半导体产品设计定案交付(tape out)的方法与系统。
背景技术：
近年来，半导体集成电路(IC)快速发展随着IC材料与设计的技术进步，IC产品的电路设计也越来越精细复杂。然而这些进步同时也使得IC的制造加工日益复杂。例如，单一IC上可能必须包含数个不同的电路装置。当这些电路装置的大小降至次微米或深微米的阶段，IC的装置密度和功能密度都受到制程因素的限制。当制程日趋复杂之时，制程步骤的排程和控制也日趋复杂。
而且，当IC产业日趋成熟，制造IC产品所需执行的制程步骤，可能在不同的地点执行，其可能由单一厂商完成，或由多个具有不同制造专长的厂商协同完成。这种制造的方式使得IC制造的过程更加复杂，不同的制造厂商不仅可能位于不同的地理位置，其所在的时区也可能不同，这使得协同厂商之间的沟通更加困难。例如，由第一厂商(例如IC设计厂商)设计新的IC产品，由第二厂商(例如晶圆厂)依据该设计制造IC产品，再由第三厂商负责组装并测试该IC产品，再由第四厂商负责统合控制整个IC产品的制造，包括设计、制造、组装以及测试的进行。
不论IC产品的制造是在单一厂商或是由多个厂商协力完成，在IC产品制造过程中都需要各设计及制造单位之间频繁的沟通讨论与协调，例如在客户端设计的IC产品要进行制造时便需要多次的沟通协调才能依据设计数据正确地制造出对应的IC产品。例如，使用罩幕来制造如特殊应用集成电路(Application specificintegrated circuits，ASICs)或多方案晶圆(multi-projectwafers，MPWs)的IC产品的IC制造程序时，就需要设计端和制造端的密切沟通。在准备IC产品的罩幕设计数据(例如设计定案交付(tape out)数据)时，需要设计端和制造端的工程师共同参与。而客户端通常以数种不同的数据格式，来提供设计定案交付数据。这些不同的数据格式，使得设计定案交付的处理过程更加复杂，而需要进一步地以人工进行数据比对，以确认数据的正确性。
发明内容
本发明是有关于半导体制造，特别是有关于处理半导体产品设计定案交付(tape out)的方法与系统。
本发明提供一种计算机执行方法，其是用以接收集成电路设计定案交付(tape out)要求，并依据该要求产生定案交付数据。上述方法首先接收技术数据，其界定该定案交付要求所对应的技术。并加载与该技术对应的罩幕制具(mask tooling)样版及特殊技术数据(special technology information，STI)样版，其包含依据该接收数据而定的问题数据。该方法并接收金属层数据，其定义该设计的至少一金属层，并接收对应于该问题数据的回复数据。再依据该金属层数据及该回复数据，产生客制化(customize)的罩幕制具表格，并透过该客制化的罩幕制具表格，接收罩幕数据。继之，依据接收的该罩幕数据，产生至少一逻辑操作。
本发明所述的计算机执行方法，进一步依据该金属层数据及该回复数据，将该罩幕制具样版的至少一部分标示为无作用部分。
本发明所述的计算机执行方法，该标示步骤将该无作用部分反白，使得使用者无法更动该部分的无作用标示。
本发明所述的计算机执行方法，依据接收的该金属层数据，将该罩幕制具样版中显示的未使用的金属层标示为无作用，并依据该回复数据，将特殊技术数据样版中未使用的随选层(optionlayer)标示为无作用。
本发明所述的计算机执行方法，进一步接收客户端要求，并依据该要求将该客制化的罩幕制具表格中的作用层改设为无作用层。
本发明所述的计算机执行方法，进一步接收客户端要求，并依据该要求将该最后客制化的罩幕制具表格中的某些作用层改设为无作用层，或将该最后客制化的罩幕制具表格中的某些无作用层手动改设为作用层。
本发明所述的计算机执行方法，进一步从多个罩幕制具样版中选取该罩幕制具样版，其中该多个罩幕制具样版是对应于不同技术。
本发明所述的计算机执行方法，进一步依据该技术，在加载该罩幕制具样版之前产生该罩幕制具样版。
本发明所述的计算机执行方法，进一步依据该接收数据选取该特殊技术数据样版。
本发明所述的计算机执行方法，进一步依据该接收数据产生该特殊技术数据样版，其是借由将该技术特有的问题数据整合于该特殊技术数据样版中。
本发明所述的计算机执行方法，进一步依据预定的规则，确认接收的该技术数据、该金属层数据、该回复数据及该罩幕数据的至少一部分，以决定上述数据是否一致。
本发明所述的计算机执行方法，进一步建立多个罩幕层和该特殊技术数据样版中包含问题数据的关联数据。
本发明所述的计算机执行方法，进一步将该逻辑操作转换为对应的电路图案号码的逻辑操作。
上述处理方法是可以借由将储存于一计算机可读取储存媒体的计算机程序加载计算机装置中而实现。
本发明另提供一种储存媒体，所述储存媒体用以储存一计算机程序，上述计算机程序可加载于一计算机系统并且执行下述的数据处理方法，该方法是用以接收集成电路设计定案交付要求，并依据该要求产生定案交付数据，该方法包括接收技术数据，其界定该定案交付要求所对应的技术；依据该接收数据，加载对应的罩幕制具样版；接收金属层数据，其定义该设计的至少一金属层；依据该金属层数据，产生客制化的罩幕制具表格；透过该客制化的罩幕制具表格，接收罩幕数据；以及依据接收的该罩幕数据，产生至少一逻辑操作。
本发明还提供一种计算机执行方法，所述计算机执行方法是用以依据定案交付要求产生定案交付数据，该方法包括接收来自客户端的初始数据；依据该初始数据，加载对应的罩幕制具样版；依据该客户端提供的金属层数据以及提供给该客户端的问题数据对应的回复数据，产生客制化的罩幕制具表格；以及透过该客制化的罩幕制具表格从该客户端接收数据，并据以产生逻辑操作。
图1显示依据本发明实施例的方法的流程图；图2显示依据本发明实施例的虚拟IC制造系统的示意图；图3显示依据本发明实施例的定案交付要求环境的操作示意图；图4显示依据本发明实施例的罩幕制具样版的实施画面；图5显示依据本发明实施例的特殊技术数据样版的实施画面；图6显示依据本发明实施例的罩幕制具表格的实施画面；
图7显示依据本发明实施例的方法的流程图。
具体实施例方式
为了让本发明的目的、特征及优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图示图1至图7，做详细的说明。本发明说明书提供不同的实施例来说明本发明不同实施方式的技术特征。其中，实施例中的各元件的配置是为说明之用，并非用以限制本发明。且实施例中图式标号的部分重复，是为了简化说明，并非意指不同实施例之间的关联性。
在集成电路罩幕设计定案交付(tape out)的过程中，客户可能要填写许多种表格，例如罩幕制具(mask tooling)表格、晶圆厂服务要求表(foundry service request form，FSRF)、以及特殊技术数据(special technology information，STI)表格等。制造端中的类似如客服工程师或罩幕工程师等技术提供者，可能要协助将上述表格中的内容转换成定案交付(tape out)要求，使得能够据以产生客户要求的罩幕。
在类似如多项目晶圆(multi-project wafer，MPW)服务等生产制程中，制造端会为客户准备粗略的罩幕制具样版表格。此种预先准备的罩幕制具样版表格可以提供客户可得的整套罩幕相关数据以供选择，不过客户为了要提供其设计的特殊设定及数据等，仍旧需要填写罩幕制具表格、晶圆厂服务要求表、以及特殊技术数据表格等。
参见图1，其显示依据本发明实施例的方法的流程图。本发明实施例的方法100是用以接收集成电路设计定案交付(tape out)要求，并依据该要求产生定案交付数据。上述集成电路设计定案交付(tape out)是表示某一集成电路的设计数据库已经可以转换执行晶片制造的操作。方法100是使得当客户提出集成电路设计定案交付(tape out)要求时，可以在人力(工程师)介入的程度降至最低的情况下，依据该要求产生定案交付数据。本说明书中所述的客户，是指和定案交付有关或参与定案交付程序的任何使用者或程序。
在步骤S102中，接收来自客户端的初始数据。该客户在输入该初始数据之前，可以先使用任何认证辨识数据，来登入定案交付要求系统，例如使用者辨识码及密码等。该初始数据可以包括与某一目前订单相关的数据，例如公司名称、订单辨识码以及和该定案交付相关的技术数据。该技术数据可以界定该目前订单的至少一细节数据，例如该定案交付要求是属于0.13μm或0.18μm技术等。
在步骤S104中，依据步骤S102中接收的技术数据，选取并加载与该技术对应的罩幕制具(mask tooling)样版。如下文的所述的细节，该罩幕制具样版可以提供客户一个界面，使得其可以输入或选取和罩幕制具相关的数据例如罩幕层次码(layer code)、罩幕名称叙述、及/或逻辑操作。此种罩幕制具样版可以依据技术定义(例如该定案交付要求是属于0.13μm或0.18μm技术等)而系统性地产生。依据本发明实施例，该罩幕制具样版可以为数据超集合，而该客户可以从该样版中选取特定数据或另外输入相关数据。依据本发明另一实施例，加载该罩幕制具样版的罩幕数据可以为满足特定客户的需要而量身订做。因此，就某一特定技术而言，该罩幕制具样版中的某些项目可以具有默认值或是有多种选项。当有选项可供选择时，该客户可以从中选取信息；当某一项目没有符合客户需求的默认值时，或者该客户也可以在特定项目自行输入符合其需求的数据。
该方法亦可以加载及/或产生特殊技术数据(specialtechnology information，STI)样版，其包含依据该接收数据而定的问题数据，而该问题数据需由对应的客户端来提供回复数据。该问题数据可以依据该客户提供的该初始数据而产生或加载。如同罩幕制具样版一般，该特殊技术数据样版也可以是问题数据的超集合，而该客户仅需回复相关的问题，或者，该特殊技术数据也可以为特定客户的需求而量身订做。
在步骤S106中，依据该客户在该罩幕制具样版中加载的金属层数据，选取或产生客制化的罩幕制具表格。该金属层数据可用以将该罩幕制具表格中的罩幕数据加以客制化，其定义该设计的至少一金属层。例如，可以依据客户输入的数据来更新该罩幕制具表格中定义的顶通孔(top via)及金属层。为了消除或减少不必要的客户互动，可以将光学层间无须使用的金属罩幕移除或将其设定为无作用(inactive)。依据本发明实施例，当金属层罩幕和通孔罩幕配合使用时，可以依据客户输入的数据，将该金属层和通孔一起移除。
也可以依据客户提供的对应于该特殊技术数据样版中问题数据的回复数据，产生客制化的罩幕制具表格。该特殊技术数据样版的问题数据中，至少有一部分可以由制造端的工程师事先定义，以确定制造过程中需要的技术数据。每一个特殊技术数据的问题数据可以和至少一罩幕层相关，其是用以取得和该特定罩幕层相关的技术数据。该特殊技术数据的问题数据可以包括是否需要金属-绝缘体-金属(metal-insulator-metal，MIM)电容、是否需要静电放电防护布植(ESD Implantation)、及是否允许纯1.8V装置等。当可以使用选择性罩幕时，该问题数据的回复数据可以指示该客户的设计需要哪些选择性罩幕，以及哪些选择性罩幕是不需要的。
举例而言，客制化罩幕制具表格中，可以借由反白(grey out)等方式，将该罩幕制具样版的至少一部分标示为无作用(inactive)部分，以避免客户输入不必要的数据而徒增困扰，因此而简化了和客户之间的互动以及数据整合的作业。如果在罩幕制具表格中提供客户可供选择的选项，也可以将不需要的选项事先移除或将之设定为无作用，以避免客户误选了不适当的选项。该客制化罩幕制具表格产生的过程中，也可以依据客户对于该问题数据的回复数据，自动产生该罩幕制具表格中特定项目的适当值。
在步骤S108中，依据该客户在该罩幕制具表格中加载的数据，产生至少一逻辑操作。举例而言，该产生的逻辑操作可以如下所示114＝(((((((NP NOT NW)NOT(OD2 SIZING-0.03))NOTRHDMY)NOT VARDMY)SIZING 0.14)SIZING-0.28)SIZING0.14)上述逻辑操作可以由不同来源自动产生，包括厂商标准数据库、客户输入或是其结合。例如，可以借由该罩幕制具表格中的数据，从一数据库中选取一逻辑操作。另一个逻辑操作则是由客户输入，而还有另一个逻辑操作是动态产生。因此，可以依据该客户所提供的数据及/或从一定案交付(tape out)系统中所得到的数据，来产生和每一罩幕相关的偏差逻辑操作(bias logicaloperation)。
上述方法100可以用以延伸客户服务，使得客户可以自行要求定案交付过程的进行，亦即该定案交付要求对应的定案交付数据，可以在无须制造端工程师协助(或是仅需少许协助)的状况下完成。
参见图2，其显示依据本发明实施例的虚拟IC制造系统(虚拟晶圆厂)200，其提供一个可以让上述方法100实现的环境。制造系统200包含多个实体(如实体202及204)，其中各实体之间借由网络接口206连接之。每一实体可以和其它实体互动，并能够提供其它实体服务或接受其它实体的服务。网络接口206可以为单一网络结构，或包含多个网络结构(例如局域网络及因特网)，其可以包含有线及无线的网络设备。
实体202及204可以包含至少一计算机装置，例如个人计算机、个人数字助理、呼叫器及有线或无线电话等。实体202可以包含中央处理单元208、存储器单元210、输出输入装置212、以及外部界面214。中央处理单元208、存储器单元210、输出输入装置212以及外部界面214是借由总线系统216连接之。
内部实体202可以借由有线或无线连接218及/或中介网络220，而进一步与网络接口206连接。中介网络220可以为完整的网络或为区域性网络、企业内部网络、及/或因特网的子网络。内部实体202具有其地址或地址的集合(例如与网络接口206相关的媒体控制地址(MAC)及网络IP地址)，使得其可以被网络接口206及220所辨识。由于内部实体202可以和中介网络220连接，其中所包含的单元有时候可以和其它内部实体共享。因之，内部实体202的组态是非常有弹性的。而且，在某些情况中，可以提供服务器222，以支持多个内部实体的运作。依据另一实施例，一个或以上的服务器和计算机装置可以结合而成单一的实体。
依据本实施例，内部实体202是代表与生产最终产品(例如晶圆或IC装置)直接有关的实体。内部实体202可以为工程人员、客户服务人员、自动系统流程、设计或制造设备及与晶圆厂相关的设备，例如原物料、运送设备、组装设备或测试设备等。外部实体204可以为客户端、期货交易者或投资者、设计服务提供者以及其它与晶圆厂不直接相关或不在晶圆厂控制下的实体。每一实体可以和其它实体互动，并能够提供其它实体服务或接受其它实体的服务。
上述实体202及204是可以集中配置或分散配置，且其中某一实体可以包含于另一实体中。上述实体202及204中每一实体均可以对应一系统识别信息，用以控制其对于系统中各种数据的存取及使用权限。
虚拟晶圆厂200使得实体202及204可以就IC制造作业的相关事宜彼此互动，并可以互相提供及接受服务。依据本实施例，所谓IC制造作业的相关事宜包括来自客户的IC订单、与该订单对应的IC制造程序以及将该IC产品运送给该客户的过程，以及与上述程序相关的设计、制造、测试及运送的作业。尤其是内部实体202可以为工程人员、客户服务人员、自动系统流程、设计或制造设备及与晶圆厂相关的设备，例如原物料、运送设备、组装设备或测试设备等。举例而言，在设计端，客户实体204可以透过内部实体202，使用虚拟晶圆厂中与其产品设计相关的数据和工具。该工具可以用以执行良率提升分析、察看布局数据、以及得到其它相关的信息。在工程端，工程人员实体204可以与其它工程人员合作，以使用和试产制程、风险分析、品质及可靠度等相关的制造数据。在物流端(图未显示)，虚拟晶圆厂200则将制造状态、测试结果、订单处理、以及运送信息等信息提供给客户实体204。
虚拟晶圆厂200亦可以提供各实体之间的整合服务。该整合服务使得各实体之间执行的功能可以整合运作。例如，IC设计及测试设备实体、制造设备实体、和IC设计知识产权厂商实体之间的整合，可以使得制造设备实体中制造过程产生的数据可以回馈到IC设计及测试设备实体，并传送给IC设计知识产权厂商实体以供后续IC设计之用。
参见图3，其显示依据本发明实施例的定案交付(tape out)要求环境300，其是可以实现于前述的虚拟晶圆厂200中。依据本实施例，定案交付要求环境300中包含定案交付要求系统202、客户端204以及网络接口206。需要注意的是，在本实施例中，定案交付要求系统202、客户端204以及网络接口206是互相分离，然而在实施上，上述各部分可以结合或是更进一步地分离为多个单元。
定案交付要求环境300可以借由网络接口206接取之，其可以将罩幕制具样版、特殊技术数据样版、客制化罩幕制具表格，以及数据处理软件及硬件提供给客户端使用。依据本发明实施例，定案交付要求环境300包含技术主数据库302、罩幕层及偏差文件数据库304、罩幕制具样版数据库306以及特殊技术数据问题库308。在本实施例中，上述数据库是分离表示，然在实施上其也可以结合或是更进一步地分离为多个分离的数据库。上述数据库可以是任何计算机可存取的存储装置，其是所储存的数据是可以供定案交付要求系统202存取。数据库302至308中至少一个可以进一步包含规格数据及设计规则数据以供客户及工程师使用，该等数据也可以另行储存于其它装置中。另外，定案交付要求系统202也可以进一步包含一个以上的处理器，以提供接收和处理定案交付要求的各种功能。例如定案交付要求系统202可以包含用以一具各种不同标准(例如eXtensible MarkupLanguage(XML)及Hypertext Markup Language(HTML)等)动态产生文件数据的程序软件以及运算装置。
以下叙述的实施例，是描述在定案交付要求系统202和客户端204之间的数据流。在步骤S310中，客户端输入数据。该数据可以包含商业数据(例如公司数据、联络窗口数据、以及订单号码数据等)以及技术数据(例如有关于产品、技术等数据)。
定案交付要求系统202可以借由软件指令及/或工程输入等，来存取储存于数据库302至308中的数据。例如，在步骤S312中，定案交付要求系统202执行下列功能保存与每一种技术对应的罩幕制具(mask tooling)样版、维持可以用以确认数据及/或确定数据不兼容或不一致的确认规则、及建立罩幕层和技术问题数据之间对应关系。当相关的数据库更新时，可以同步更新这些确认规则，其亦可以由使用者手动定义或更新，或者当接收定案交付要求时，动态地更新之。而且，定案交付要求系统202可以接收及整合由工程人员或客户端所输入的数据。
在步骤S314中，定案交付要求系统202依据步骤S310中接收的技术数据，选取并加载与该技术对应的罩幕制具(masktooling)样版及特殊技术数据(special technology information，STI)样版。例如，定案交付要求系统202可以选取或产生与该技术对应的罩幕制具样版及特殊技术数据样版。依据本发明实施例，该罩幕制具样版可以为数据超集合，而该客户可以从该样版中选取特定数据或另外输入相关数据。依据本发明另一实施例，加载该罩幕制具样版的罩幕数据可以为满足特定客户的需要而量身订做。因此，就某一特定技术而言，该罩幕制具样版中的某些项目可以具有默认值或是有多种选项。当有选项可供选择时，该客户可以从中选取信息； 当某一项目没有符合客户需求的默认值时，或者该客户也可以在特定项目自行输入符合其需求的数据。同样地，特殊技术数据样版包含依据该接收数据而定的问题数据，而该问题数据需由对应的客户端来提供回复数据。该问题数据可以依据该客户提供的该初始数据而产生或加载。如同罩幕制具样版一般，该特殊技术数据样版也可以是问题数据的超集合，而该客户仅需回复相关的问题，或者，该特殊技术数据也可以为特定客户的需求而量身订做。
罩幕制具样版可以包含内建的技术特异性确认规则，其是依据由数据库302至308中所取得数据而定。罩幕制具样版可以提供客户一个界面，使得其可以输入或选取和罩幕制具相关的数据例如罩幕层次码(layer code)、罩幕名称叙述、及/或逻辑操作。而且，罩幕制具样版中所加载的罩幕制具相关的数据可以为符合客户要求的数据集合。例如罩幕制具样版可以提供默认值、预定选项的选单、以及确认规则。其中该确认规则是用以确定数据是否有抵触(例如，输入数据和特殊计数之间是否兼容)、输入数据和系统需求是否有不兼容(例如，确认没有默认值的手动输入数据之间的兼容性)、以及当提供的默认值数据不能符合客户端需要时，输入数据之间的相同性。
特殊技术数据样版则包含依据制造数据及接收的数据而设计的问题数据，而该问题数据需由对应的客户端来提供回复数据。每一问题数据可以和至少一罩幕层相关联，其是借由技术主数据库302和罩幕层及偏差文件数据库304为之。举例而言，该特殊技术数据的问题数据可以包括是否需要金属-绝缘体-金属(metal-insulator-metal，MIM)电容、是否需要静电放电防护布植(ESD Implantation)、及是否允许纯1.8V装置等。
在步骤S316中，该客户在该罩幕制具样版中加载金属层数据。该金属层数据可用以将该罩幕制具表格中的罩幕数据加以客制化，其定义该设计的至少一金属层。例如，该金属层数据可以设定该客户端需要的金属层以及不需要的金属层。
在步骤S318中，定案交付要求系统202依据在步骤S316中该客户在该罩幕制具样版中加载的金属层数据，将罩幕制具样版中不需使用的金属层标示为无作用(inactive)部分。如此一来，可以避免客户在不需要的罩幕层栏位或选项中，输入不必要的数据而徒增困扰，因此而简化了和客户之间的互动以及数据整合的作业。可以将无作用的罩幕层移除，或者将该部分借由反白等方式标示无作用部分，使得客户无法编辑该被标示为无作用的部分。定案交付要求系统202可以借由上述确认规则，来确定从客户端接收的关于需要使用的罩幕层数据为正确，且没有任何不兼容或不符合的状况发生。而且，该确认规则也可以用以依据客户选取的项目，自动选取特定罩幕层或禁止某些罩幕层被选取。上述确认作业是可以于客户输入数据时执行，或者在定案交付要求的每一步骤或全部步骤完成后执行。该确认规则可以包含于罩幕制具样版中，或是由不同来源自动产生，并于该罩幕制具样版中执行。依据本发明实施例，每当客户端输入一笔数据，就将该罩幕制具样版更新，以实时反映定案交付要求中不同罩幕层的最新状态。
在步骤S320中，客户提供对应于该特殊技术数据样版中问题数据的回复数据。该回复数据是用以使得定案交付要求系统202可以依据该回复数据，决定在可选取的罩幕层中有哪些是需要的，有哪些是不需要的，进而产生客制化的罩幕制具表格。在该问题数据中，有些问题是客户必须要提供答案的，有些则是客户选答，还有一些是依据客户先前提供的某个回复数据，来决定其是必答或是选答的问题数据。
在步骤S322中，定案交付要求系统202依据客户提供的对应于该特殊技术数据样版中问题数据的回复数据，将该罩幕制具样版及/或特殊技术数据样版的至少一部分标示为无作用部分，以避免客户输入不必要的数据而徒增困扰，因此而简化了和客户之间的互动以及数据整合的作业。可以将无作用的罩幕层移除，或者将该部分借由反白等方式标示无作用部分，使得客户无法编辑该被标示为无作用的部分。定案交付要求系统202可以借由上述确认规则，来确定从客户端接收的关于需要使用的罩幕层数据为正确，且没有任何不兼容或不符合的状况发生。而且，该确认规则也可以用以依据客户选取的项目，自动选取特定罩幕层或禁止某些罩幕层被选取。上述确认作业是可以于客户输入数据时执行，或者在定案交付要求的每一步骤或全部步骤完成后执行。该确认规则可以包含于特殊技术数据样版中，或是由不同来源自动产生，并于该特殊技术数据样版中执行。依据本发明实施例，每当客户端输入一笔数据，就将该特殊技术数据样版更新，以实时反映定案交付要求中不同罩幕层的最新状态。
在步骤S324中，定案交付要求系统202依据步骤S310中接收的技术数据，产生与该技术对应的客制化罩幕制具样版及特殊技术数据样版。在该客制化的罩幕制具样版中，可以包含客户需要的或选取的罩幕层数据，以及其它可以选取的罩幕层数据。就每一罩幕层而言，该客制化的罩幕制具样版可以包含其对应的罩幕层识别数据和其名称数据。
在步骤S326中，客户端可以针对每一罩幕层输入相关的必要数据，例如电路图案层号码、制程关键层号码、以及罩幕明暗状态数据(例如以C表示透明，以D表示暗色)。客户也可以输入逻辑操作数据。
在步骤S328中，当客户选取厂商标准或其它预定或动态产生的逻辑操作设定时，定案交付要求系统202针对每一罩幕层自动产生逻辑操作数据。依据本发明实施例，客户可以对该产生的逻辑操作数据进行修改。
客户输入或修改的偏差及逻辑操作数据则可以借由确认规则确认之。该确认规则可以包含于罩幕制具样版中，或是由不同来源自动产生，并于该罩幕制具样版中执行。依据本发明实施例，每当客户端输入一笔数据，就将该罩幕制具样版更新，以实时反映定案交付要求中不同罩幕层的最新状态。
当必须的数据都加载之后，定案交付要求系统202使用罩幕制具表格中的数据，自动将每一罩幕层的该逻辑操作数据转换为对应的逻辑操作，以供罩幕制造时使用。在上述转换过程中，定案交付要求系统202自动将逻辑操作中的制程罩幕层识别码置换为对应的电路图案图号码。继之，将完成的罩幕制具表格传送至客户端工程人员。
上述样版及表格是为举例，其并非用以限制本发明，上述数据可以任何形式呈现给客户端。而且，客户端也不限于将数据输入上述的表格中，其可以加载定案交付要求系统202能够处理并用以产生逻辑操作的各种数据。
参见图4，其显示依据本发明实施例的罩幕制具样版的实施画面。界面400包含罩幕制具样版，其是提供客户端与定案交付要求系统(例如图3中所示的定案交付要求系统202)互动的界面。在此需了解可以有多种界面呈现给客户端，例如用来确认身份的登入界面以及提供操作说明的说明界面等。当客户端登入定案交付要求系统202之后，界面400可以提供客户端多个选项。依据本发明实施例，界面400包含加载罩幕选钮402、储存特殊技术数据样版选钮404。界面400亦包含样版406，其提供一表格给客户，使得当该客户提出定案交付要求时，能够加载罩幕相关数据。样版406可以包含下列至少一罩幕识别码、罩幕代码、制程层次、DGTA明暗状态数据(例如以C表示透明，以D表示暗色)、及/或逻辑操作数据等。如前所述，定案交付要求系统202可以借由上述确认规则，来确定从客户端接收的关于需要使用的罩幕层数据为正确，且没有任何不兼容或不符合的状况发生。界面400的呈现方式以及所包含的内容是可以依据实际需要而设计，使得在客户提出定案交付要求时，能够提供辅助及支持的工具。
参见图5，其显示依据本发明实施例的特殊技术数据样版的实施画面。界面500包含特殊技术数据样版，其是提供客户端与定案交付要求系统(例如图3中所示的定案交付要求系统202)互动的界面。在此需了解可以有多种界面呈现给客户端，例如用来确认身份的登入界面、以及提供操作说明的说明界面等。当客户端登入定案交付要求系统202之后，界面500可以提供客户端多个选项。依据本发明实施例，界面500包含删除选钮502、提升选钮504以及下降选钮506。界面500亦包含样版508，其提供表格给客户，使得当该客户提出定案交付要求时，能够提供依据该接收数据而定的问题数据。该问题数据可以依据该客户提供的该初始数据而产生或加载。如同罩幕制具样版一般，该特殊技术数据样版也可以是问题数据的超集合，而该客户仅需回复相关的问题，或者，该特殊技术数据也可以为特定客户的需求而量身订做。样版508可以包含下列至少一特殊要求、问题名称、问题叙述、勾选栏位、及影响的罩幕代码等。如前所述，定案交付要求系统202可以借由从数据库中撷取的确认规则，来确定样版508为正确，且没有任何不兼容或不符合的状况发生。界面500的呈现方式以及所包含的内容是可以依据实际需要而设计，使得在客户提出定案交付要求时，能够提供辅助及支持的工具。
参见图6，其显示依据本发明实施例的罩幕制具表格的实施画面。界面600包含罩幕制具表格，其是提供客户端与定案交付要求系统(例如图3中所示的定案交付要求系统202)互动的界面。当客户端登入定案交付要求系统202之后，界面600可以提供客户端多个选项。依据本发明实施例，界面600包含公司栏位602。产品栏位604、联络窗口栏位606、电话栏位608、电子邮件栏位610、草稿储存选钮612、确认选钮614、储存选钮616以及倒退选钮618。界面600亦包含样版620，其提供用以加载客制化罩幕制具数据的表格给客户，样版620可以包含下列至少一罩幕层识别码、制程层次、CAD层号码、制程关键CAD层号码、DGTA明暗状态、逻辑操作、及逻辑操作转换等。如前所述，定案交付要求系统202可以借由从数据库中撷取的确认规则，来确定样版620为正确，且没有任何不兼容或不符合的状况发生。界面600的呈现方式以及所包含的内容是可以依据实际需要而设计，使得在客户提出定案交付要求时，能够提供辅助及支持的工具。
参见图7，其显示依据本发明实施例的方法的流程图。图7所示的方法是可以于图3所示的定案交付要求系统202中实现之。
方法700首先执行步骤S702，接收来自客户端的数据。该数据可以包含商业数据(例如公司数据、联络窗口数据、以及订单号码数据等)以及技术数据(例如有关于产品、技术等数据)。例如，上述数据可以确定一技术或技术细节，以协助确认罩幕制具样版。
在步骤S704中，定案交付要求系统202可以依据步骤S702中接收的技术数据，加载并呈现与该技术对应的罩幕制具样版及特殊技术数据样版。如前所述，罩幕制具样版可以提供默认值、包含多个预定选项的选单以及确认规则。上述确认规则可用以确定从客户端接收的关于需要使用的罩幕层数据为正确，且没有任何不兼容或不符合的状况发生。
在步骤S706中，接收客户在该罩幕制具样版中加载的金属层数据。客户所加载或选取的数据可以包含金属种类及厚度等。
在步骤S708中，依据该客户在该罩幕制具样版中加载的金属层数据，选取或产生客制化的罩幕制具表格。为了消除或减少不必要的客户互动，可以将不需要的层间金属罩幕除去或将其设定为无作用(inactive)。而且，当目前罩幕型态允许最多8层金属层，而该客户选取了6层金属层，则可将2层金属层和对应的通孔一起移除或将的标示为无作用，以避免客户输入不必要的数据而徒增困扰，因此而简化了和客户之间的互动以及数据整合的作业。
在步骤S710中，接收特殊技术数据。该特殊技术数据包含客户提供的对应于该特殊技术数据样版中问题数据的回复数据。该特殊技术数据样版的问题数据中，至少有一部分可以由制造端的工程师事先定义，以确定制造过程中需要的技术数据。每一个特殊技术数据的问题数据可以和至少一罩幕层相关，其是用以取得和该特定罩幕层相关的技术数据。
在步骤S712中，将该特殊技术数据整合于罩幕制具样版中，例如，可以借由反白等方式，将该罩幕制具样版的至少一部分标示为无作用(inactive)部分。客户可以同时加载该金属层数据和该特殊技术数据，使得能够将罩幕制具样版中不需要的选项移除或将之设定为无作用，以避免客户误选了不适当的选项。
在步骤S714中，依据客户提供的金属层数据和该特殊技术数据，产生客制化的罩幕制具表格。就每一罩幕层而言，客制化的罩幕制具样版必须包含用以加载电路图案层号码及名称等数据的栏位。
在步骤S716中，透过客制化的罩幕制具表格，接收客户加载的罩幕数据。例如，客户端可以针对每一罩幕层输入相关的必要数据，例如电路图案层号码、制程关键层号码、以及罩幕明暗状态数据(例如以C表示透明，以D表示暗色)。客户也可以输入逻辑操作数据。
在步骤S718中，当客户选取厂商标准或其它预定或动态产生的逻辑操作设定时，定案交付要求系统202针对每一罩幕层自动产生逻辑操作数据。依据本发明实施例，客户可以对该产生的逻辑操作数据进行修改。客户输入或修改的偏差及逻辑操作数据则可以借由确认规则确认之。当确认程序完成之后，定案交付要求系统202使用罩幕制具表格中的数据，自动将每一罩幕层的该逻辑操作数据转换为对应的逻辑操作。在上述转换过程中，定案交付要求系统202自动将逻辑操作中的制程罩幕层识别码置换为对应的电路图案图号码。
在步骤S720中，将完成的罩幕制具表格传送至客户端工程人员，使得客户端能够确认该罩幕制具表格及其中的数据为正确。
上述处理方法是可以借由将储存于一计算机可读取储存媒体的计算机程序加载计算机装置中而实现。
以上所述仅为本发明较佳实施例，然其并非用以限定本发明的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本发明的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。
附图中符号的简单说明如下200虚拟IC制造系统202、204实体206网络接口208中央处理单元210存储器单元212输出输入装置214外部界面216总线系统218有线或无线连接220中介网络222服务器300定案交付要求环境302技术主数据库304罩幕层及偏差文件数据库306罩幕制具样版数据库308特殊技术数据问题库400界面
402载入罩幕选钮404储存特殊技术数据样版选钮406样版500界面502删除选钮504提升选钮506下降选钮508样版600界面602公司栏位604产品栏位606联络窗口栏位608电话栏位610电子邮件栏位612草稿储存选钮614确认选钮616储存选钮618倒退选钮620样版
权利要求
1.一种计算机执行方法，其特征在于所述计算机执行方法是用以接收集成电路设计定案交付要求，并依据该要求产生定案交付数据，该方法包括接收技术数据，其界定该定案交付要求所对应的技术；加载与该技术对应的罩幕制具样版及特殊技术数据样版，其包含依据该接收数据而定的问题数据；接收金属层数据，其定义该设计的至少一金属层，并接收对应于该问题数据的回复数据；依据该金属层数据及该回复数据，产生客制化的罩幕制具表格；透过该客制化的罩幕制具表格，接收罩幕数据；以及依据接收的该罩幕数据，产生至少一逻辑操作。
2.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步依据该金属层数据及该回复数据，将该罩幕制具样版的至少一部分标示为无作用部分。
3.根据权利要求2所述的计算机执行方法，其特征在于该标示步骤将该无作用部分反白，使得使用者无法更动该部分的无作用标示。
4.根据权利要求2所述的计算机执行方法，其特征在于依据接收的该金属层数据，将该罩幕制具样版中显示的未使用的金属层标示为无作用，并依据该回复数据，将特殊技术数据样版中未使用的随选层标示为无作用。
5.根据权利要求2所述的计算机执行方法，其特征在于进一步接收客户端要求，并依据该要求将该客制化的罩幕制具表格中的作用层改设为无作用层。
6.根据权利要求2所述的计算机执行方法，其特征在于进一步接收客户端要求，并依据该要求将该最后客制化的罩幕制具表格中的某些作用层改设为无作用层，或将该最后客制化的罩幕制具表格中的某些无作用层手动改设为作用层。
7.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步从多个罩幕制具样版中选取该罩幕制具样版，其中该多个罩幕制具样版是对应于不同技术。
8.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步依据该技术，在加载该罩幕制具样版之前产生该罩幕制具样版。
9.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步依据该接收数据选取该特殊技术数据样版。
10.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步依据该接收数据产生该特殊技术数据样版，其是借由将该技术特有的问题数据整合于该特殊技术数据样版中。
11.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步依据预定的规则，确认接收的该技术数据、该金属层数据、该回复数据及该罩幕数据的至少一部分，以决定上述数据是否一致。
12.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步建立多个罩幕层和该特殊技术数据样版中包含问题数据的关联数据。
13.根据权利要求1所述的计算机执行方法，其特征在于进一步将该逻辑操作转换为对应的电路图案号码的逻辑操作。
14.一种计算机执行方法，其特征在于所述计算机执行方法是用以依据定案交付要求产生定案交付数据，该方法包括接收来自客户端的初始数据；依据该初始数据，加载对应的罩幕制具样版；依据该客户端提供的金属层数据以及提供给该客户端的问题数据对应的回复数据，产生客制化的罩幕制具表格；以及透过该客制化的罩幕制具表格从该客户端接收数据，并据以产生逻辑操作。
全文摘要
本发明是一种计算机执行方法，其是用以接收集成电路设计定案交付要求，并依据该要求产生定案交付数据。上述方法首先接收技术数据，其界定该定案交付要求所对应的技术。并加载与该技术对应的罩幕制具样版及特殊技术数据样版，其包含依据该接收数据而定的问题数据。该方法并接收金属层数据，其定义该设计的至少一金属层，并接收对应于该问题数据的回复数据。再依据该金属层数据及该回复数据，产生客制化的罩幕制具表格，并透过该客制化的罩幕制具表格，接收罩幕数据。继之，依据接收的该罩幕数据，产生至少一逻辑操作。
文档编号G06F19/00GK1696942SQ200510067900
公开日2005年11月16日 申请日期2005年4月29日 优先权日2004年5月11日
发明者曹标灼, 冯淑玲, 曾乙弘 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司