在生产环境中用于客户特定测试系统分配的方法及系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及在生产环境中用于客户特定测试系统分配的方法及系统。在复杂的生产环境中，例如半导体生产设备，依据分配系统及技术决定用于外部控制的测试系统分配，可确保强化资料的完整性。为此，应避免直接存取设备内部通讯资源，而同时仍提供外部存取予该测试系统。
【专利说明】在生产环境中用于客户特定测试系统分配的方法及系统
【技术领域】
[0001]本发明是关于在复杂的生产环境中，例如半导体生产环境，用于测试产品的系统及技术。
【背景技术】
[0002]在复杂的生产环境中，产品的高良率以及卓越的可靠度与品质在今日高度竞争的全球化市场中极为重要。举例而言，在制造包含有相对复杂电路的半导体装置中，测试该装置可体现该制造程序的环节，其在达到与该装置合适的功能与可靠度有关的可靠资料所需要的成本与付出长期以来一直都被轻忽。为此，可了解的是，复杂半导体装置的制造包含基于描述该装置所想要的功能行为而设计。该装置的初步体现是由许多阶段所提供，其可以是软件模型或硬件原型的形式以及其于验证期间遭遇失败后的各个重新设计版本，而在最终完成该半导体材料设计后的实际执行情况也是一样。因此，无法达到该集成电路的性能规格的原因可能是在设计错误之中，其可被识别出并在该所考虑的集成电路大量生产之前借由基于软件仿真及/或原型测试的电路验证所克服。该集成电路更可能因为该复杂的制造程序本身由于在该装置运作期间所涉及到的一个或多个大量程序步骤，而使得所完成的电路并未对应至该所验证的电路设计时，导致不当的功能。尽管该制程中在许多点加上了量测以及测试程序，确保该最终半导体装置的功能正确仍然极度重要，由于依据共同法则，该瑕疵芯片所造成的成本随着各个组装阶段而以近似一阶的幅度增加。举例而言，包含错误芯片的瑕疵电路板所造成的成本一般会显着地大于在运送及组装该电路板之前识别出瑕疵芯片所需的成本。对于系统而言也是如此，当该系统的错误是由一个或多个瑕疵电路板所造成使得产业系统停摆导致的是平均每分钟将近数百美金的成本支出，相较之下，一个导致瑕疵的集成电路芯片价格只有几块美金。
[0003]由此可见，测设程序的发展至关重要，从而在已完成的集成电路中尽可能识别出所有缺陷却又不会过度地增加整体制造成本。尤其是，在电路更多特色以及更低成本的需求下，而有整合多个不同电路部份至单一个芯片中从而提供完整的系统芯片(SoC)的趋势。包括有各种功能区块的半导体装置除了一个或多个逻辑区块外，一般包含一个或多个嵌入式内存部分，如同用于CPU的芯片上快速缓存或是用于在不同时钟域(clock domain)之间转换的数据包的缓冲器，以及其它外围组件，例如复合I/O装置、为了有效率处理特定类型数据的专用功能区块等等，其中，这些外围区块可操作地经由适当的总线系统连结到该系统的CPU。
[0004]如上所述，由于经济考量迫使半导体制造商不只要将整体制造流程的瑕疵程度最小化，也必须提供具有较低瑕疵程度、高错误覆盖率的组合，从而在合理成本下借由适当的测试程序与技术减少瑕疵芯片的出货。基于这些理由，适当的测试资源必须在复杂的生产环境中实施，以精准控制制造流程。为此，开发出了自动化测试系统，其可提供在整体制造流程中获得各种阶段测量结果的可能性，从而得到优越的整体过程控制以及生产良率。尽管这些自动化测试系统可初步地用于监测以及控制在该生产环境中的生产流程，将该测量结果与基础电路设计相关联也是重要至极，因为以现有技术实际施行复杂的电路设计时，对于产能可具有显着地影响。
[0005]参考图1a至lc，在复杂产品例如半导体装置的生产测量结果中的典型实施以及流程对策将不在此赘述。
[0006]图1a示意性地绘示生产环境100，其可由为了生产半导体装置，例如微处理器、储存装置、ASIC(特定应用IC)等，而被适当装配的复杂半导体生产环境所体现。该生产环境100包括多个制程工具110，其可被使用于进行各种复杂制程阶段从而形成完整的半导体装置或半导体装置的任一中间阶段。举例而言，依据特定制程配方所提供并操作的作为光刻工具、蚀刻工具、植入工具等等形式的制程工具110A、…、110N，是为了在处理产品111(例如晶圆)时，提供想要的制程输出。在成熟的生产环境中，至少有一些制程工具100被适当地设置从而与彼此及/或与管理控制机制(未图标)通讯，其中该相对应的通讯能力典型地是由区域或内部网络120所提供，其应被了解作为达成该生产环境100中必备通讯能力所需要的软件及硬件资源整体。举例而言，该内部网络120可允许和一个或多个该制程工具110通讯从而得到制程相关数据，其可被实体133以任何适当方式储存及/或处理，该实体133可被以数据库或类似形式所提供，从而允许和该环境100中一种或多种产品111的处理相关的历史数据之储存及/或处理。
[0007]再者，该生产环境100可进一步包括实体131及/或132，其可被组构为接收并储存在该产品111处理期间或在该整体生产流程的最后阶段期间所进行的任何量测程序所得到的量测结果。举例而言，该实体131以任意适当形式包含量测结果的数据库所体现，该量测结果是依据该晶圆上所进行的量测流程以及由晶圆所提供的一些或所有半导体装置而实现的测试程序所得到。例如，电性测试可借由使用自动化测试系统(未图标)与该晶圆划线区域中所提供的特定测试结构结合或与实际半导体装置结合所进行，以得到电性参数或其它数据。在这些电性测试流程期间可决定晶体管特性，例如特定装置面积的介电强度、功能区块的电性响应等等。须了解的是，相对应的测量程序可在整体制造流程期间的任意适当阶段所进行，只要各个测 试结构或实际装置结构可被自动测试设备所连结即可。
[0008]同理，实体132可由用于储存测量结果的数据库所体现，该测量结果可在一个或多个最终测试程序中所得到，换言之，测试程序可实现于已封装之半导体装置，从而提供在完成整体生产程序后决定性能特性、制程品质、可靠度等等的可能性。并且在此情况中，自动测试设备是被使用在结合适当的测试算法，以在合理的时间以及设备资源需求下提供高度错误覆盖率。
[0009]可由一个或多个实体131、132及133中取得的数据可与数据储存以及操纵单元134通讯，其可因此提供指示出重要产品相关参数例如可靠度、性能、生产良率等量测的输出数据136。在其它情况中，额外或是做为替代的实体134可输出适当的数据135或可提供适当的数据至其它数据操纵单元(未图标)，以提供全域回馈信息而控制由该制程工具11所进行的整体处理流程。一般而言，在该生产环境100中的整体数据流量是由该内部网络120所管理，从而允许高度自动化以及先进制程控制对策的实施，因为一般而言在该制造流程以及测试程序期间会有庞大数量的数据产生。
[0010]图1b示意性地图标该生产环境100的部份140，其可由测试环境所体现以得到该整体生产流程的任意适当阶段中所得到的相关量测结果。如图所示，该测试环境140包括一个或多个测试系统，其中为了方便起见，只有单一个测试系统140A在图中描述。该测试系统140A包括自动化测试设备141，其可轮流包含任何所需要的资源以适当地接触各个测试结构或适当地接触由晶圆所提供或适当封装件所封装的实际半导体装置。另外，该系统140A包括基板处理器143，其可在测试下接收各个装置，例如该形式上为半导体晶圆或已封装装置的产品111，其接着被适当地转移至该单元141。再者，一般而言控制器142是由该系统140A所提供，该控制器142可被适当地组构从而控制该系统140A的各种硬件及软件资源，并从该单元141及/或从该一般而言在该单元141中所实施的相对应测试编程144接收量测结果，从而实现与相对应产品的需求相符的期望测试程序。该控制器142与该系统内部组件之间的通讯一般而言是以系统内部总线系统145为基础所达成。应了解的是，各个自动化测试系统，例如该系统140A，在本领域中已被普遍实现，因此该系统的详细说明将在此省略。
[0011]再者，同前所述，该测试系统140A可经由该网络120与该生产环境100的其它实体通讯。举例而言，测量结果可根据由该系统140A所实现的测试程序种类而被传送到该数据库131及/或该数据库132。另外，为了实现所期望的测试对策，该系统140A可经由该网络120被存取，该测试对策可经由适当地指示该控制器142所达成，从而重新组构该测试编程144。为此，借由管理控制机制(未图标)及/或借由该环境100内的操作数所指示，适当的控制机制137可被连结至该网络120。
[0012]因此，在该环境100的操作期间，产品111可持续由该制程工具110 (图1A)所处理，并可由该测试系统140A于任意适当的阶段操作，该测试系统可轮流提供能够估计产品性能、可靠度等的量测数据，同上所述。然而，如同先前所说明的，用于形成非常复杂产品(例如复杂半导体装置)的程序之高复杂度，会渐增地造成该整体制造流程各种阶段的分离。换言之，设计复杂半导体装置的程序常常包含基于该复杂半导体装置的软件表现之各种测试程序，其可由专精的群组所实现。而实际的流程技术则是由不同的群组所提供，其专精于操作复杂制程工具从而提供实施不同电路设计的复杂电路设计所需要的多个技术。在另一方面，同上所述，特定技术的实施一般而言都伴随着各个制程技术的相依变动，其也可能显着地影响复杂电路的基础设计，因此电路设计者与提供用于实施产品制程的硬件资源的制造商必需要有密切的沟通。举例而言，设计具有较小关键尺寸并基于特定的技术细节的尖端半导体装置，例如场效晶体管精密闸极电极结构的组态等，可能需要制造商在制程能力中的透彻知识，举例而言，装置性能可能与关键信号路径极度相关，该特性需要依靠用于特定关键程序所严密设定的公差范围。
[0013]图1c示意性地图标该生产环境100，其连结至多个远程群组，且该远程群组被标示为客户180。举例而言，如图所示客户180AU80B及180C可借由外部通讯网络170的方式与该环境100通讯，该外部通讯网络可由多个个别的客户网络所体现或由全球广域网络(WAN)例如网际网络等所体现。须了解的是，该网络170及该客户系统180中为了通讯所需要的任何各个软件以及硬件资源都未显示于图中。然而，该任何软件及硬件资源皆为本领域中的公知常识。举例而言，该客户180可由具有适当组件例如路由器及网络切换机等的适当计算机系统所体现，为了连结到该网络170，其可轮流提供各个通讯频道，例如众所皆知的有线或无线通讯频道。
[0014]同理，该环境100可借由提供适当的通讯组件160连结到该外部网络170，其因此可连结该网络170与该内部网络120，其中该组件160可视整体需求在硬件及软件中或只在软件中实现。举例而言，该组件160可由执行适当服务器软件的特定硬件组件所体现，该服务器软件可允许该客户180经由该网络170、通讯组件160及该内部网络120存取一个或多个测试系统140AU40B及140C。因此，当在该环境100中处理不同类型的产品时，其可借由该测试系统140A、…、140N的使用包含各个测试数据的产生，特定一个的测试系统可被指派到特定 一个的客户180，从而适当地将该测试程序改造使其适应为特定客户所生产的一个或多个产品类型。另一方面，与该各个客户相关的测试量测有关的该不同客户180中每一者的数据实体都应被保存，因为该量测结果以及应用于各种测试系统中相对应的测试程序可能含有关于制造于该环境100中各种产品的设计细节。然而，将该客户180中的每一者完整存取到专用的测试系统可能会造成在广泛的客户之间不需要的数据传输，尤其是，当该测试系统为了该生产环境100中的整体效益而必需动态地被重新指派时。另外，借由该客户180存取该内部网络120可能会造成该环境100中的数据损坏，为了限制该内部网络120未被授权的存取，即便是该通讯单元160也已实施于传统的硬件及软件资源，例如防火墙等之中。再者，如图1c中所示，为了在相对应的产品上进行有效率的测试操作，当该环境100的内部资源要求完整存取该测试系统140A、…、140N时，该通讯基础设施可能会造成该内部网络120的安全性降低。
[0015]基于上述情形，本揭露是关于生产环境及其操作方法，并避免或至少减低以上所指出的一个或多个问题的影响。
【发明内容】
[0016]—般而言，本揭露关于一种生产环境及其实施方法。在一个说明性实施例中，该生产环境是半导体生产环境，其中可达成在分配测试系统到客户时优越的数据完整性及适应性。为此，该生产环境的一个或多个测试系统可借由内部网络及一个或多个外部网络所存取，从而提供原位控制功能以及远程控制功能，而避免在相同时间中经由该一个或多个外部网络存取该内部网络。再者，在一些说明性实施例中，可基于优越的数据完整性，借由在允许不同客户远程控制该测试系统之前“清除”各个测试系统，提供测试系统的动态重新分配。因此，依据在此所揭露的原则，在该生产环境中一个或多个测试系统的安全测试操作可借由内部资源所达成，虽然该一个或多个测试系统可能被指派到远程客户计算机系统。另外，适当的测试系统环境可提供于一个或多个外部资源，从而能够以优越的效率得到并操纵测量数据。该一个或多个测试系统可被以动态方式指派到不同的客户，从而提供完整的外部存取给该一个或多个测试系统，然而不会牺牲该产品环境中的数据安全性。而且，可避免外部资源之间不需要的数据转移。
[0017]在一个实施例中，生产环境包括测试系统，其组构为自动从该生产环境中所制造出的产品获得测试数据。该生产环境还包括第一通讯网络，其组构为能够实现该生产环境中的实体通讯。该生产环境还包括可控制网络切换机系统，其有效地连结至该第一通讯网络以及该测试系统并可连结至组构为能够使远程客户计算机系统与该测试系统通讯的第二通讯网络，其中该可控制网络切换机系统是组构为能够使该第一及第二通讯网络从该测试系统中个别分离。再者，该生产环境包括分配单元，其有效地连结至该可控制网络切换机系统并组构为致使该可控制网络切换机系统防止该第一及第二网络与该测试系统同时通τΗ ο
[0018]依据其它实施例，操作生产环境的方法包括分配该生产环境的测试系统到远程客户。再者，该方法包括利用该生产环境的内部通讯网络将该测试系统重新组构成为所想要的状态。该方法还包括连结该测试系统至外部通讯网络，从而提供关于该测试系统的远程控制功能于该远程客户。
[0019]依据又一实施例，该方法包括提供多个实施于生产环境中的测试系统，其中该多个测试系统的每一者可连结至内部通讯网络路以及外部通讯网络。该外部通讯网络提供关于该多个测试系统的远程控制功能给多个远程客户，而该内部通讯网络提供与该多个测试系统有关的原位控制功能。该方法还包括将该多个测试系统的各一个分配到该多个远程客户的各一个。再者，该方法包括借由防止该被分配的测试系统同时连结到该内部及外部通讯网络，从而控制该远程控制功能以及该原位控制功能。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]本揭露的进一步实施例已在所附的权利要求书中定义，并在配合附图而参照以下的详细叙述会变得更加清楚明白，其中:
[0021]图1a及Ib示意性地说明一种生产环境，例如半导体生产环境，其中，根据习知对策，自动化测试设备被用在产生量测结果；
[0022]图1c示意性地说明一种生产环境，其根据习知概念利用内部网络的方式组构为允许测试系统的远程控制；
[0023]图2a示意性地说明一种生产环境，其包含一个或多个提供于安全环境的测试系统，从而根据说明性实施例提供该测试系统的内部及远程控制；
[0024]图2b依据说明性实施例示意性地说明一种中立区(demilitarized zone, DMZ),其包含一个或多个系统与相关的服务器基础设施结合；以及
[0025]图3至图5依据其它说明性实施例示意性地说明各种操作该生产环境的方法。【具体实施方式】
[0026]虽然本揭露是参照以下详细说明以及图式中的说明性实施例而叙述，需明白的是，以下详细说明以及图式并无将本揭露限制于所揭露特定实施例的意图，反之，所描述的实施例仅用于阐明在此所揭露标的之各种态样，其范围是由附加的权利要求书所定义。
[0027]本揭露一般是在复杂生产环境中提供关于测试系统的优越分配功能，其在一个说明性实施例中是半导体生产环境，其中可达成在相同时间增强该生产环境与远程客户之间以及该远程客户彼此间的数据安全性。为此，一种分配工具或单位，例如客户分配工具(CAT)，可提供在通讯基础设施的内容中，其可允许动态分配测试系统至远程客户计算机系统，而同时仍防止该远程计算机系统直接存取该生产环境的内部网络。为此，在一个说明性实施例中，该生产环境包括一个或多个测试系统，其可借由可控制网络切换机系统的方式与内部网络以及外部网络通讯。该可控制网络切换机系统是组构为防止该一个或多个测试系统与该内部网络以及该外部网络同时通讯，其中相对应的功能可借由该客户分配单元所控制或至少监测并纪录。为此，该可控制网络交换器系统可包括公知的硬件及软件组件，例如专用硬件平台、例如网络切换机等，为了允许与该内部及外部网络的连结，该硬件及软件组件可能与适当的防火墙软件结合。另外，该网络切换机系统可被适当地安装从而防止该一个或多个测试系统与该内部以及外部网络同时通讯，其可借由将软件及/或硬件组件实装入该切换机系统而达成，从而可控制地连结及中断该内部及外部网络。
[0028]在又一说明性实施例中，为了提供充份外部控制功能而把测试系统分配到远程客户计算机系统可能与所考虑的测试系统相对应之“清除”有关。为此，该所考虑的测试系统，其可能先前已被分配至不同的远程客户计算机系统或可能被公司内部资源所使用、可能被重新组构或被重新映相以完成该测试系统预先决定的状态，从而特定地移除与由该先前的远程客户计算机系统或公司内部资源所实现的该控制功能相关的任意数据与调整。在此情况中，该新分配的测试系统已经准备好由新的远程客户所控制而不需提供任何前次测试程序及前次所指派的远程客户控制中所进行并产生的测试数据的提示。
[0029]该生产环境的测试系统可包含或可能有关于各个进一步的组件，例如各种服务器应用使得增强的功能可被提供至远程客户。另一方面，该测试系统的重新组构一旦被新分配至新客户可能也包含该测试系统相关基础设施的重新组构，从而也可避免远程客户间不需要的数据转移。[0030]因此，可进行在生产环境中各种关于测试系统操作的工作，例如将测试系统重新分配或重新指派至其它远程客户、借由内部资源维护测试系统等，而同时避免在该测试系统中关键数据的外部存取。
[0031]关于图2a、图2b以及图3-5，进一步的说明性实施例将在此更加详细说明，其中若合适，也可参照图la-lc。
[0032]图2a示意性地说明一种生产环境200，其可体现为需要精密测试算法及程序的任意复杂生产环境，以控制整体处理流程并达成所需要的产品性能与品质并结合高生产良率。在一个说明性实施例中，该生产环境200是半导体生产环境，其中半导体装置可被制造到整体完成中的特定阶段。举例而言，在许多半导体设备中，半导体装置是借由加工半导体基板所制成，而将该基板上的各个半导体芯片分离则可在分隔遥远的地点进行。在其它情况中，半导体装置可在该环境200中由本质上未加工的基板制造成已封装的装置。
[0033]该环境200可包括多个制程工具210，例如制程工具210A、…、210N，其可进行任何所需要的制造程序、检查程序等。需了解的是，该制程工具210可与彼此互相通讯及/或与管理控制机制(未图标)通讯，以达到在该环境200中管理整体生产流程的目的。该环境200中的通讯能力可以由内部网络220所提供，其中该环境200中实体相对应的接口组件(未图标)可允许和该网络220的各个通讯频道通讯，其为该领域的公知常识。举例而言，为了在该环境200中经由该网络220交换数据，该制程工具210可包括提供给硬件及软件资源的适当接口组件。
[0034]该环境200可进一步包括安全区域265，其也可被称作中立区(DMZ)，其中可放置一个或多个测试系统240A、…、240K，其中可借由提供各个存取点231A、…、231K存取该测试系统以及与其相关的额外资源。一旦测试系统被分配到特定的客户且该特定的客户被允许经由该相对应的存取点存取该测试系统，该存取点因此可允许客户控制该各个测试系统并存取额外的数据，如同接下来将讨论的一样。需明白的是，该安全区域265并不一定是由该环境200中的连续空间所体现，但是若适当考虑关于该生产环境200中的整体工作流程，则该安全区域265实际上可能横跨该环境200而分布。该安全区域265可被了解作关于与该测试系统240A、…、240K来回传输数据时的“安全”区。换言之，该测试系统240A、…、240K并非经由该存取点231A、...、231K直接连结到该内部网络220，而是利用可控制网络切换机的方式经由该网络220与该环境200中的任意内部实体通讯，该可控制网络切换机可被了解为硬件及软件资源的结合，其能够使内部实体基于只在特别定义的限制下与测试系统240A、...、240K通讯。举例而言，为了利用实施在该系统260中预先决定的规则而限制该测试系统240Α、...、240Κ与该内部网络220之间的数据传输流量，该网络切换机系统260可包括一个或多个防火墙。需了解的是，依据预先决定的规则或脚本实现防火墙在用于限制两个通讯实体间的数据传输是业界常用的方法。然而，与许多传统防火墙应用相反，由于该数据传输限制的动态适应并非必要，可在该系统260中实现一种静态组的规则(a staticset of rules),从而加强该安全区域265的整体效益。
[0035]在一个说明性实施例中，在相对应的请求下，该请求可由分配单元290所提供，该可控制网络交换器系统260是组构为将该测试系统240A、…、240K中的每一者个别从该内部网络220中分离出。为此，该分配单元290可直接与该系统260通讯或可经由该内部网络220与该系统260通讯。该测试系统240A、…、240K中特定一个的分离可借由物理上中断该系统260中的通讯频道或借由提供相对应的软件组件，其可抑制所考虑的测试系统与该内部网络220之间的数据传输。该分配单元290可包括使用者接口 291，其能够让使用者在该单元290中输入请求或任何其它输入讯息。再者，该接口 291可对使用者显示或指示输出信息，举例而言，关于该系统260与该测试系统240A、…、240K的连结状态。在一个说明性实施例中，如图2a所示，该系统260可包括做为切换机形式的第一通讯单元260B，其能够有效地经由防火墙260C将该测试系统240A、…、240K中的每一者与该内部网络220连结。该第一通讯单元或切换机260B可包括关于网络切换等所需要的资源，并可额外包含任意软件或硬件资源从而同上述般，将该测试系统240Α、...、240Κ的每一个从该内部网络220中完整分离。另外，该系统260可包括该第一防火墙260C，其可将该内部网络220与该切换机260Β有效地连结，其中同上述般，该防火墙260C可基于一组静态规则用以调节该切换机260Β与该内部网络220之间的数据流量，从而避免该防火墙260C的动态适应，其通常与安全性降低有关。`
[0036]再者，多个远程客户计算机系统280Α、…、280Β可经由一个或多个外部网络270连结到该网络切换机系统。需了解的是，该网络270可体现为适当的广域网络，其可提供该环境200中多个客户280Α、…、2801数据传输所需要的频宽，其中在一些情况下，该远程客户中至少有一些已经实装了连结到该系统260的专用客户网络。同上所述，该系统260可被适当地组构从而提供可控制存取至该一个或多个测试系统240Α、…、240Κ，而，在一些特定关键情况的实施例中，可防止该测试系统240Α、…、240Κ与该内部网络220Α以及该一个或多个外部网络270之间的同时通讯。举例而言，如图2a所示，该系统260做为防火墙形式的第二通讯单元260A可连结于该一个或多个外部网络270与该多个测试系统240A、...、240K之间，也就是在该外部网络270与该有效地连结至该多个测试系统切换机之间。同上所述，该通讯单元或防火墙260A可包含一般而言在用于实现公知的防火墙能力所必须的任意硬件及软件组件，而网络切换及路由能力则可由该切换机260B所提供。因此，为了给予该通讯组件或防火墙260A所需要的功能，可将业界常用的组件与适当组构软件组件结合安装为脚本等形式。再者，该分配单元290可直接或经由该网络220连结至该系统260，从而至少控制该切换机260B。举例而言，借由激活物理切换机，其组构为确实将该测试系统240A、…、240K各个从该网络270分离出；及/或借由根据软件实施规则而允许或禁止该一个或多个测试系统240A、…、240K的存取。结果，该网络防火墙以及切换机系统260可被适当地组构以确实将该网络220从该测试系统240A、…、240K中分离出并将该测试系统从该网络270中分离出，其中在一些说明性实施例中，相对应的分离动作是受到控制的，举例而言，借由该分配单元290防止该网络220及270同时对该测试系统240A、...、240K存取。
[0037]图2b示意性地说明该安全区域265的一部份，其中为了方便起见，该测试系统只有一个示于图中。该测试系统240A作为范例而示于图中，并一般可具有任意适当的组构从而在整体制程的适当阶段中于该产品上进行专用的测试程序。举例而言，该测试系统240A基本上可具有与上述关于该测试系统140A(图1b)相同的组态。换言之，该测试系统240A可包括结合适当产品处理系统与测试系统的自动化测试设备，其中这些组件可借由相对应的基站控制器所控制，如同上述所参照的该系统140A —般，该基站控制器可借由相对应的总线系统的方法与该剩下的组件通讯。除了该各个客户存取点231A、…、231K，在一些说明性实施例中，额外的资源可由该测试系统240A、…、240K中至少一些的组合所提供，如同230A所示。然而，需明白的是，若考虑得当，该额外资源230A的一些或全部也可在该系统240A中实现。举例而言，该资源230A可经由该客户存取点231A被存取，其因此可被用于存取各个量测数据，例如在晶圆基础上所进行的电性测试之量测数据，其亦被称作晶圆分类测试，而在其它情况中，于已封装半导体装置等的基础上所得到的最终测试数据可提供给客户存取。再者，可提供数据处理组件234A以进行量测数据的预处理及/或后处理。另外，额外的资源例如档案服务器239A、网络服务器238A、运算服务器237A可被实施从而允许其经由该存取点231A与网络270以及该切换机系统而被存取。最后，外部客户可具有该测试系统240A及该相对应额外资源230A的完全存取权，从而提供优越性能与数据操纵能力，同时仍确保在该客户侧与生产环境侧(即该内部网络侧)数据的高度完整性。需明白的是，该额外资源230A可以硬件组件的形式所实现，例如一个或多个专用计算机系统结合各个进行相对应工作的软件应用。在其它情况中，可提供该测试系统240A、…、240K中的两个或更多测试系统常见硬件平台，而 各种资源则可借由个别的软件应用所实施因而能够使软件资源与该测试系统的特定一个具有独特关联，从而也能防止各个测试系统的特定资源间不需要的数据传输。
[0038]如图2a及2b中所示，该结合一个或多个远程客户系统280A、...、280I的生产环境200可被操作，使其在该测试系统的一个个别系统被指派到该远程客户计算机系统的一个个别系统后，允许该测试系统240A、…、240K暂时的完全存取权。在一些说明性实施例中，该分配测试系统到特定客户系统的程序及/或用于将在该测试系统中的一个或多个系统上进行特定工作的程序可借由该分配单元290所控制，举例而言基于经由该使用者接口291所输入的使用者请求或基于经由该内部网络220由任意管理控制机制(未图标)所递送的请求。再者，该测试系统中每一者的当前状态可借由该分配单元290所监控，其中相对应的讯息可借由接口 291呈现至使用者及/或任意的该种信息可借由该内部网络220的方法在该生产环境200中递送至任意其它实体。换言之，进行与该测试系统中的一个专用系统相关的个别工作，例如重新分配特定测试系统至不同的客户，其可能造成测试系统状态的特定改变，及/或该受控制的网络切换机系统260及/或执行该网络防火墙与切换器系统的各个应用及/或该测试系统及/或任意相关额外资源的改变，且这些改变可被该分配单元290所监测及纪录。[0039]该分配单元290可以软件应用的形式实施于任意的硬件平台，例如任何适当的计算机系统，其可提供执行指令所需要的运算资源，当该指令被硬件平台所执行时将产生用于个别控制存取该安全区域265中该测试系统240A、…、240K所必需的相对应控制功能，而避免经由该网络220及270的直接外部及内部存取。在该分配单元290中被执行的相对应指令组可被储存于该单元290内部或外部相对应的内存(未图标)中。若其储存于外部，该指令组可借由任意适当的数据传输信道例如内部网络，该数据传输信道可能包含有线及无线通讯信道并利用适当的储存媒体等被传输到该单元290。
[0040]在以下，由该分配单元290所进行的各种工作可持续参照图2a与2b以及参照图3至图5而描述。
[0041]图3示意性地说明一种方法390，其可在该分配单元290中被实现从而使一个或更多专用测试系统能够分配到各个外部客户，并在同时保存关于其它客户的资料完整性。
[0042]可选择该实现的方法390，例如借由该生产环境中的运算器或管理控制机制，其中在第一步骤391中测试系统被分配到个别的客户。为此，为了执行特定客户的特定产品种类所要求的测试程序，该生产环境中的运算器或内部管理控制机制可选择适当安装的测试系统。需明白的是，该所选择的测试系统可能已被用于其它测试程序且可能因此处于特定的操作状态，并且任意的相关额外资源，例如各个数据库单元等可反映该操作状态以及该所选择的测试系统之前次使用。举例而言，如同先前所述，多个测试程序可能在形成复杂半导体装置的广泛阶段中被需要，从而产生庞大的量测数据体，为了得到可用于优越过程控制、电路设计验证等的有价值讯息，该量测数据体必须被轮流处理及操纵。最后，一旦将该所选择的测试系统分配到特定客户，该测试系统以及任意的额外资源可能含有讯息或处于操作状态，其可能将公司内部讯息揭露至外部客户。
[0043]基于此理由，为了达成想要的操作状态，在步骤392中该所选择并分配的测试系统被重新组构或重新映相，其一方面可确保良好定义的开始状态以用于在特定客户外部控制下的后续测试程序，且另一方面在该外部客户存取该被分配的测试系统时不会揭露任何关键讯息。需明白的是，在步骤392中的程序也包含任何相关资源，例如参照图2所描述的资源。因此，其也可确保任意额外资源，例如数据库单元、数据操纵单元等将具有良好定义的初始状态，其适合用于进行所需要的测试操作而不会危害该生产环境中的数据完整性。
[0044]在步骤393中，为了提供外部客户相对应的远距控制功能，该被分配的测试系统是连结到该外部网络，其中该连结可基于该可控制网络切换机系统260或借由任何其它适当机制将该所考虑的测试系统物理连结到该外部网络所达成。需明白的是，提供该远程控制功能至该被分配的测试系统，以及若有提供任何相关的资源，可能额外地需要该分配单元的主动控制行为以实际允许或禁止该被分配的测试系统之外部存取。相对应的控制行为可基于被实施在该可控制网络切换器系统260中的规则所实现，该控制行为可被选择并因此借由该分配单元290的方法被激活。
[0045]结果，一旦将测试系统分配到外部客户计算机系统，适当的初始状态可在该测试系统以及任何相关资源中达成，从而“清除”该测试系统以避免传输不想要的数据至新客户。
[0046]图4示意性地说明可被实现于该分配单元260中的程序490，且为了进行客户用于专用测试系统的改变，先前参照图3所述的该程序390已被并入于该分配单元260中。该程序490由步骤491所开始，其中该测试系统的网络关系被决定为目前指派到第一客户且其将被第二客户所使用，例如由于该第一客户的测试段落可能已完成或该第一客户可能需要其它种类的测试系统等。该网络关系的决定可借由该分配单元290的方法所实现，该分配单元290可监视并记录该生产环境任何测试系统的连结状态。在其它情况中，任何其它可被用于决定该网络关系的组件及该相对应的讯息将被递送至该分配单元，例如前述参照图2a借由该内部网络220的方法。
[0047]在步骤492中，借由该第一客户存取该第一测试系统可能不被允许，其同上所述，可基于选择实施在该可控制网络切换机系统中相对应的规则而达成。
[0048]在步骤493中，所考虑的测试系统是连结到该内部网络220或任意的子网络，且另外该测试系统是由该外部网络270所分离出。同前所述，该连结与分离在一些说明性实施例中可利用该可控制网络切换机系统260所达成，其中该分配单元290可致使该网络切换机系统将该所考虑的测试系统从该外部网络中物理中断，而在其它情况中，该测试系统可依据总体工厂内部要求被物理中断并移到该生产环境中。结果，可防止该所考虑的测试系统与该内部网络及该外部网络同时直接通讯。
[0049]在步骤494中，该测试系统可被重新组构进入定义的状态，如同参照上述该程序390。换言之，该所考虑的测试系统在被连结到该工厂内部资源后，可被任意想要的方式所操纵而不需连结到任何外部计算机系统。举例而言，该所考虑测试系统的重新组构可包含储存在该第一客户所控制的前次阶段期间所收集的数据。结果，因为一般而言从测试系统所指派的客户中得到的讯息是关于特定客户所生产的特定产品，其可被视为存在于该生产环境中的分类讯息，且因此该讯息可被用在和具体实现于制造相对应客户特定产品的处理流程有关之先进制程控制对策。然而，需明白的是该从客户特定测试阶段所得到的讯息可被输入至该公司内部数据库，并可用任何其它适当方式所分类。
[0050]在该步骤495中，该所考虑重新组构后的测试系统之分离被初始化，并接着该所考虑的测试系统被连结到该外部网络或该第二客户的专用客户网络。并且在此情况中，该相对应的物理分离以及接着的连结同上所述可基于该被控制的网络切换机系统结合该分配单元所达成。
[0051]在步骤496中，该重新组构的测试系统之网络关系可被验证，换言之，可确保在步骤491中所决定的该网络关系可被重新安装，从而确保该重新组构的测试系统具有适当的连结状态。
[0052]结果，该所考虑的测试系统可在一种状态下与该生产环境的任意内部资源进行通讯，其中该测试系统由任意外部网络中所分离,从而确保敏感公司内部数据的数据完整性。同一时间，可借由在提供远程控制功能至新客户之前从该测试系统移除任何关键讯息而达成重新分配，并且该所考虑的测试系统前次客户的远程访问也被禁止，从而达到不同客户之间优越的数据完整性。
[0053]图5说明程序590，其也可被实现于该分配单元260，且当维护工作在所考虑的系统上进行时，该说明程序590可被激活。[0054]在步骤591中，该所考虑的测试系统被连结到该内部网络，例如维护网络，其可被了解作为子网络或在该生产环境中本质上分离的网络，且为了初始化以及进行必需的维护工作，该内部网络可提供做为所需的资源。另外，该测试系统是由该客户网络或任意外部网络所分离出，同上所述，其可借由该受控制的网络切换机系统的方式而被再次达成。
[0055]在步骤592中，该仍被指派至特定客户的测试系统可被操纵，从而经由该维护网络接受存取，其可借由将该登入程序改变成为该客户所指派的登入程序而达成。
[0056]在步骤593中，进行该维护工作时，依据该所考虑的维护工作的相关要求，可能需要技术员存取该测试系统以及相对应的动作。
[0057]在步骤594中，该测试系统被重新连结至该客户网络或外部网络，并且该系统是由该内部或维护网络中所分离出，从而也能防止经由任何内部网络及任何外部网络同时直接存取该测试系统。且在此情况中，该可控制网络切换机系统260可被用于达成特定的连结状态，而在其它情况中，假设进行该特定维护工作有所需要，该测试系统可在该生产环境中物理上被移除。
[0058]需明白的是，假设兼容于数据完整性等要求，可用不同顺序进行各种程序步骤。举例而言，可进行该所考虑的测试系统与内部或外部网络的连结以及该相对应测试系统的分离使得数据完整性能被保存，举例而言，借由先将该测试系统从一个网络中分离并接着将该测试系统连结到另一网络。在其它情况中，同上所述，该远程控制功能的实际安装可能额外需要该所考虑的测试系统允许外部存取的明确动作，使得该测试系统与相关网络的连结及分离所相对应的程序互不相关。
[0059]因此，本揭露提供一种系统以及相对应技术，其可用于分配一个或多个测试系统至特定客户及/或用在基于分配单元的各种工作，其中本质上防止外部客户直接存取公司内部资源。在此方法中，可达成非常高层级的安全性，举例而言关于在不同客户之间传输不需要的数据及讯息以及关于在各种客户与该生产环境之间传输不需要的数据及讯息。再者，假设外部存取是由各个客户基于专用客户网络所达成，客户可以留在他们自己的网络云端之中而不需要连结到其它客户网络云端。在一些说明性实施例中，该测试系统的重新分配可借由在该测试系统在允许新指派的客户存取前的一种“清除动作”(即重新映像或重新组构)所达成。因此，测试系统的动态指派可在高层级安全性下所达成。另外，可借由实施静态防火墙规则加强安全性，举例而言，在该可控制网络切换机系统中，因为有上述改变客户指派的安全性程序，故不需要任何实时的防火墙改变。一般而言，测试系统的任何外部存取是由安全区域(DMZ)的方法处理，从而避免直接存取该公司内部网络。
[0060]对于本领域中具有通常知识者而言，本揭露进一步的修改及变更在参照本说明书之下将变得清楚明白。因此，本说明书仅建供说明参考并用于教示该领域中具有通常知识者一般用于实现在此所揭露的工作原理的方法。需明白的是，在此所呈现及描述的形式是当前较佳的实施例。
【权利要求】
1.一种生产环境，包括: 测试系统，其组构为自动从该生产环境中所制造出的产品获得测试数据； 第一通讯网络，其组构为能使该生产环境中的实体通讯； 可控制网络切换机系统，其操作地连结至该第一通讯网络以及该测试系统并可连结至组构为能使远程客户计算机系统与该测试系统通讯的第二通讯网络，该可控制网络切换机系统是组构为能够使该第一及第二通讯网络从该测试系统中个别分离；以及 分配单元，其操作地连结至该可控制网络切换机系统并组构为致使该可控制网络切换机系统防止该第一及第二网络与该测试系统同时通讯。
2.如权利要求1所述的生产环境，还包括第二测试系统，其操作地经由该可控制网络切换机系统连结至该第一及第二通讯网络。
3.如权利要求2所述的生产环境，其中，该分配单元是进一步组构为控制该可控制网络交换机系统，从而各别使该测试系统与该第二测试系统中的每一者能够与该第一及第二网络通讯。
4.如权利要求2所述的生产环境，其中，该分配单元是进一步组构为分配该测试系统及该第二测试系统的其中一者，用以借由控制该可控制网络切换机系统以禁止该客户计算机系统与该测试系统及该第二测试系统的另一者之间的通讯，而与该客户计算机系统通τΗ ο
5.如权利要求1所述的生产环境，其中，该第二通讯网络以及该可控制网络切换机系统是组构为使得该测试系统能与包含该客户计算机系统的多个客户计算机系统通讯，且其中，该分配单元是组构为控制该可控制切换机系统，从而防止超过一个的该多个客户计算机系统与该测试系统同时通讯。`
6.如权利要求5所述的生产环境，其中，该分配单元是进一步组构为在经由该第一通讯网络接收请求后，分配该测试系统给该多个客户计算机系统的其中一个。
7.如权利要求6所述的生产环境，其中，该分配单元是进一步组构为在分配该测试系统给该一个客户计算机系统之前重新分配该测试系统。
8.如权利要求1所述的生产环境，其中，该分配单元是进一步组构为控制该可控制切换机系统以禁止任何剩余的客户计算机系统与该已分配的测试系统间的通讯。
9.如权利要求2所述的生产环境，其中，该第一通讯网络包括至少一个第一子网络，其用于连结该测试系统及该第二测试系统中的至少其中一者到维护环境。
10.如权利要求1所述的生产环境，其组构为至少测试半导体产品。
11.一种操作生产环境的方法，包括: 分配该生产环境的测试系统到远程客户； 借由利用该生产环境的内部通讯网络，重新组构该测试系统成为所想要的状态；以及 连结该测试系统至外部通讯网络，从而提供关于该测试系统的远程控制功能予该远程客户。
12.如权利要求11所述的方法，还包括在提供该远程控制功能之前，将该测试系统从该内部通讯网络中断。
13.如权利要求11所述的方法，还包括决定该测试系统与该外部通讯网络的关系，以及在重新组构该测试系统前将该测试系统从该外部通讯网络中断。
14.如权利要求13所述的方法，还包括于连结该已分配的测试系统至该外部通讯网络后，验证该测试系统与该外部通讯网络的关系。
15.如权利要求13所述的方法，还包括禁止借由任意其它远程客户经由该外部通讯网络存取该已分配的测试系统。
16.如权利要求11所述的方法，还包括借由使用实施于连结在该测试系统及该外部通讯网络之间的网络切换机系统内的规则，允许或禁止该客户存取该已分配的测试系统，来控制用于该远程客户的已分配的测试系统的远程控制功能。
17.如权利要求11所述的方法，还包括借由将该已分配的测试系统从该外部通讯网络中断并连结该已分配的测试系统到该内部通讯网络，以进行维护工作。
18.如权利要求11所述的方法，其中该生产环境至少用在测试半导体产品。
19.一种方法,包括: 提供多个实施于生产环境中的测试系统，该多个测试系统的每一者是连结至内部通讯网络以及外部通讯网络，该外部通讯网络提供关于该多个测试系统的远程控制功能给多个远程客户，而该内部通讯网络提供与该多个测试系统有关的原位控制功能； 将该多个测试系统的各一个分配到该多个远程客户的各一个；以及 借由防止该已分配的测试系统同时连结到该内部及外部通讯网络，从而控制该远程控制功能以及该原位控制功能。
20.如权利要求19所述的方法，还包括追踪至少该多个测试系统以及该内部与外部通讯网络的状态，从而决定该多个测试系`统的分配状态。
【文档编号】G06Q50/04GK103533020SQ201310270728
【公开日】2014年1月22日 申请日期:2013年7月1日 优先权日:2012年6月29日
【发明者】C·卢斯, H·里克特, R·扬奇克, K·扎宁恩 申请人:格罗方德半导体公司