一种设备的全局设备效率报表的生成方法
【专利摘要】本发明公开了一种设备的全局设备效率报表的生成方法，涉及半导体制造领域。该方法为：根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯片的设备状态划分为多个单元；将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态；计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。本发明通过细化和量化设备状态，生成细化精准的设备OEE报表,以便生产管理者能够精准掌握生产设备状态，合理安排生产计划或实时调整生产计划，或即时发现设备生产问题及即时纠正。提高设备利用效率。
【专利说明】_种设备的全局设备效率报表的生成方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种全局设备效率报表的生成方法。
【背景技术】
[0002] 由于半导体设备极其昂贵，所以芯片生产厂商需要通过精细掌握设备的利用状况 来实现设备利用率的最大化，目前国际半导体设备材料产业协会（SEMI)对于设备的状态 有一个ElO划分标准，但是这个划分标准是一个国际通用标准，具体到每个芯片生产工厂， 特别芯片代工厂可能还是不够细化精准。
[0003] 中国专利（CN101196732A)公开了一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产 线中各个半导体设备的状态信息；建立所述各个半导体设备的状态信息和其相应的信息标 识的链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息。
[0004] 该专利可监测整个生产线的各个设备的状态信息的问题。但并没有解决具体到每 个芯片生产工厂，特别芯片代工厂可能还是不够细化精准的问题。
[0005] 中国专利（CN1492474A)公开了半导体生产设备管理系统，该系统包括采集设备、 故障、备品备件、采购信息外，该系统还有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析 模块、快速实时获指定的设备管理参数。
[0006] 该专利能在具有完备的设备相关数据条件下，运用通用软件工具，设计实现快速 多层次的分析、计算、汇总、查询功能，从而使用用户获得所要求的各类统计结果，并输出用 户最终要求文件格式的报表。该系统通用性强，操作方便，投入使用后大大提高了设备的管 理水平。但并没有解决具体到每个芯片生产工厂，特别芯片代工厂可能还是不够细化精准 的问题。
【发明内容】
[0007] 本发明为解决设备状态划分不够精准的问题，从而提供一种设备的全局设备效率 (Overall Equipment Effectiveness，OEE)报表的生成方法的技术方案。
[0008] 本发明所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，包括下述步骤：
[0009] 步骤1.根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯 片的设备状态划分为多个单元；
[0010] 步骤2.将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先 权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状 态；
[0011] 步骤3.计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。
[0012] 优选的，所述总时间包括：操作时间和停机时间，所述总时间根据优先权依次分 为：所述操作时间和所述设备停机时间。
[0013] 优选的，所述设备停机时间对应的设备状态为：关机。
[0014] 优选的，所述操作时间包括：运行时间和停机时间，所述操作时间根据优先权依次 分为：所述运行时间和所述停机时间。
[0015] 优选的，所述运行时间包括：制造时间和管理时间，所述运行时间根据优先权依次 分为：所述制造时间和所述管理时间。
[0016] 优选的，所述制造时间包括：生产时间和待机时间，所述制造时间根据优先权依次 分为：所述生产时间和所述待机时间；
[0017] 所述生产时间包括五种设备状态，根据优先权依次分为：生产产品片、其它制造生 产、制备非产品片、生产工程批和研发部人员借机；
[0018] 所述待机时间对应的设备状态为：设备空闲。
[0019] 优选的，所述管理时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：设备部人员借 机、设备工艺转换以及转换后的检验和工艺部人员借机。
[0020] 优选的，所述停机时间包括：预设停机时间和计划外的停机时间，所述停机时间根 据优先权依次分为：所述预设停机时间和所述计划外的停机时间。
[0021] 优选的，所述预设停机时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：预防性保 养、预防性保养后的检测和日常点检。
[0022] 优选的，所述计划外的停机时间包括八种设备状态，根据优先权依次分为：设备宕 机维修后的检测、等待设备部人员响应、等待制造部人员响应、等待工艺部人员响应、由于 缺少日产生产方式停机、设备宕机、由于动力系统故障导致的宕机和计算机控制与监控制 造工艺有关。
[0023] 本发明的有益效果：
[0024] 本发明通过细化和量化设备状态，生成细化精准的设备OEE报表，以便生产管理 者能够精准掌握生产设备状态，合理安排生产计划或实时调整生产计划，或即时发现设备 生产问题及即时纠正。提高设备利用效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0025] 图1为本发明所述设备的全局设备效率报表的生成方法流程图；
[0026] 图2为总时间划分框图。
【具体实施方式】
[0027] 下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
[0028] 如图1和图2所示，本发明提供一种设备的全局设备效率报表的生成方法，包括下 述步骤：
[0029] 步骤1.根据每个芯片生产过程中的状态，将芯片生产的总时间（Total Time)根 据生产芯片的设备状态划分为多个单元；
[0030] 总时间包括：操作时间（Operations Time)和设备停机时间（Non-Scheduled Time)；
[0031] 操作时间包括：运行时间（Uptime)和停机时间（Downtime);
[0032] 运行时间包括：制造时间（Manufacturing Time)和管理时间（Engineering Time)；
[0033] 制造时间包括：生产时间（Productive Time)和待机时间（Standby Time);
[0034] 停机时间包括：预设停机时间（Scheduled Downtime)和计划外的停机时间 (Unscheduled Downtime)；
[0035] 步骤2.将设备状态采用优先权的方式进行划分，每个单元与一个优先权代码相 对应，优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态，通过引入 数字类型优先权来量化设备状态的优先级别，确定在多批次加工工时的设备状态计算方 法；
[0036] 总时间根据优先权依次分为：操作时间和停机时间；
[0037] 操作时间根据优先权依次分为：运行时间、预设停机时间和计划外的停机时间；
[0038] 运行时间根据优先权依次分为：制造时间和管理时间；
[0039] 制造时间根据优先权依次分为：生产时间和待机时间，生产时间包括五种设备状 态，根据优先权依次分为：生产产品片、其它制造生产、制备非产品片、生产工程批和研发部 人员借机；待机时间对应的设备状态为：设备空闲；
[0040] 管理时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：设备部人员借机（改进、改进 后的调试，影响正常生产）、设备工艺转换以及转换后的检验和工艺部人员借机（影响正常 生产）；
[0041] 停机时间根据优先权依次分为：预设停机时间和计划外的停机时间；
[0042] 预设停机时间包括三种设备状态，根据优先权依次分为：预防性保养、预防性保养 后的检测和日常点检；
[0043] 计划外的停机时间包括八种设备状态，根据优先权依次分为：设备宕机维修后的 检测、等待设备部人员响应、等待制造部人员响应、等待工艺部人员响应、由于缺少日产生 产方式（NPW)停机（hold)、设备宕机、由于动力系统故障导致的宕机和计算机控制与监控 制造工艺（CM)有关；
[0044] 设备停机时间对应的设备状态为：关机；
[0045] 步骤3.计算机将设备状态按照优先权的顺序生成全局设备效率报表如表1所示， 表1表不全局设备效率报表。
[0046] 表 1
【权利要求】
1. 一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，包括下述步骤： 步骤1.根据每个巧片生产过程中的状态，将所述巧片生产的总时间根据生产巧片的 设备状态划分为多个单元； 步骤2.将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代 码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态； 步骤3.计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。
2. 如权利要求1所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述总 时间包括；操作时间和设备停机时间，所述总时间根据优先权依次分为：所述操作时间和 所述停机时间。
3. 如权利要求2所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述设 备停机时间对应的设备状态为；关机。
4. 如权利要求2所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述操 作时间包括；运行时间和停机时间，所述操作时间根据优先权依次分为：所述运行时间和 所述停机时间。
5. 如权利要求4所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述运 行时间包括；制造时间和管理时间，所述运行时间根据优先权依次分为：所述制造时间和 所述管理时间。
6. 如权利要求5所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述制 造时间包括；生产时间和待机时间，所述制造时间根据优先权依次分为：所述生产时间和 所述待机时间； 所述生产时间包括五种设备状态，根据优先权依次分为；生产产品片、其它制造生产、 制备非产品片、生产工程批和研发部人员借机； 所述待机时间对应的设备状态为；设备空闲。
7. 如权利要求5所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述管 理时间包括=种设备状态，根据优先权依次分为；设备部人员借机、设备工艺转换W及转换 后的检验和工艺部人员借机。
8. 如权利要求4所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述停 机时间包括；预设停机时间和计划外的停机时间，所述停机时间根据优先权依次分为：所 述预设停机时间和所述计划外的停机时间。
9. 如权利要求8所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述预 设停机时间包括=种设备状态，根据优先权依次分为；预防性保养、预防性保养后的检测和 日常点检。
10. 如权利要求8所述一种设备的全局设备效率报表的生成方法，其特征在于，所述计 划外的停机时间包括八种设备状态，根据优先权依次分为；设备岩机维修后的检测、等待设 备部人员响应、等待制造部人员响应、等待工艺部人员响应、由于缺少日产生产方式停机、 设备岩机、由于动力系统故障导致的岩机和计算机控制与监控制造工艺有关。
【文档编号】G06Q10/06GK104463403SQ201410164060
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】杨习刚 申请人:上海华力微电子有限公司