布局设计的拓扑模拟的制作方法

本申请针对布局设计的拓扑模拟。

背景技术：

1、高数据可靠性、高速存储器存取、较低功率消耗和减小的芯片大小是半导体装置所需要的特征。为了实现减小的芯片大小和高数据可靠性，已开发了半导体装置的精确制造。在半导体装置的小型化和多层布线结构的情况下，已引入化学机械抛光(cmp)。在晶片上形成电路图案之后，晶片可具有在不同水平之间具有阶跃的表面。cmp为通过表面上的化学反应和机械反应(例如，实体接触作用)的相互作用使晶片上的表面平坦化以使表面基本上处于同一水平的技术。基本cmp特性基于工艺条件(例如，压板旋转速度和抛光压力)、晶片和抛光垫的材料特定的物理特性(例如，浆料、磨损性)等。在实际cmp工艺中，以上基本cmp特性还受晶片的每个布局设计的基本物理形状，例如图案密度、布线(例如线)的尺寸等影响。此外，每一图案的基本cmp特性还受邻近图案的基本cmp特性影响。

2、近年来，已引入可制造性设计(dfm)技术以通过抑制腐蚀和凹陷来提高cmp的平面化性能。利用dfm，可优化装置图案形状或图案密度以具有用于每一cmp过程的适合的基本cmp特性。已引入布局设计的模拟器以通过在每一cmp过程之后预测晶片的每一布局设计的物理参数来辅助检查和优化每一cmp过程。举例来说，此类物理参数可包含图案d的密度、线宽度lw、线间距ls、线长度lg、图案的周长p、周长的密度pd等。在每一模拟过程中，可在模拟器上定义针对每一工艺水平优化的窗口大小，且模拟器提取这些物理参数。在常规技术中，窗口大小定义限于两个维度(例如，x/y轴)的分辨率，且每一方向的步长也限于两个维度的分辨率。为了提高模拟器的准确性，需要与窗口大小无关的更灵活的窗口分辨率和步长。

技术实现思路

1、一方面，本申请涉及一种用于模拟布局设计的拓扑特征的计算机实施方法，所述方法包括：接收关于验证区域中的布局设计的信息，所述关于布局设计的信息包含一或多个拓扑参数；定义验证区域中的一或多个窗口在第一方向上的宽度以及在第二方向上的长度；独立于一或多个窗口在第一方向上的宽度定义第一步长，所述第一步长为一或多个窗口在第一方向上的邻近中心点之间的距离；独立于一或多个窗口在第二方向上的长度定义第二步长，所述第二步长为一或多个窗口在第二方向上的邻近中心点之间的距离；提取关于整个验证区域的多个窗口位置中的每一者处的一或多个窗口中的布局设计的信息；以及将关于多个窗口位置中的每一者处的一或多个窗口的布局设计的信息存储在数据库中。

2、另一方面，本申请涉及一种用于模拟布局设计的拓扑特征的设备，所述设备包括：输入装置，其配置成接收关于验证区域中的布局设计的信息；一或多个处理器，其配置成：定义验证区域中的一或多个窗口在第一方向上的宽度以及在第二方向上的长度；独立于一或多个窗口在第一方向上的宽度定义第一步长，所述第一步长为一或多个窗口在第一方向上的邻近中心点之间的距离；独立于一或多个窗口在第二方向上的长度定义第二步长，所述第二步长为一或多个窗口在第二方向上的邻近中心点之间的距离；以及提取关于整个验证区域的多个窗口位置中的每一者处的一或多个窗口中的布局设计的信息；以及存储装置，其包括数据库，所述数据库配置成存储关于多个窗口位置中的每一者处的一或多个窗口的布局设计的信息。

3、另一方面，本申请涉及一种非暂时性计算机可读媒体，其包括存储在其上的用于模拟验证区域中的布局设计的拓扑特征的指令，所述指令在由一或多个处理器执行时使一或多个处理器执行以下操作：定义验证区域中的一或多个窗口在第一方向上的宽度以及在第二方向上的长度；独立于一或多个窗口在第一方向上的宽度定义第一步长，所述第一步长为一或多个窗口在第一方向上的邻近中心点之间的距离；独立于一或多个窗口在第二方向上的长度定义第二步长，所述第二步长为一或多个窗口在第二方向上的邻近中心点之间的距离；提取关于整个验证区域的多个窗口位置中的每一者处的一或多个窗口中的布局设计的信息；以及将关于多个窗口位置中的每一者处的一或多个窗口的布局设计的信息存储在数据库中。

技术特征：

1.一种用于模拟布局设计的拓扑特征的计算机实施方法，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中所提取的关于所述多个窗口位置中的每一者处的所述一或多个窗口的所述布局设计的所述信息包括以下各者中的至少一者：

3.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其进一步包括：

4.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中所提取的关于所述多个窗口位置中的每一者处的所述一或多个窗口的所述布局设计的所述信息结合所述多个窗口位置中的每一者处的每一窗口的中心点的坐标存储在所述数据库中。

5.根据权利要求4所述的计算机实施方法，其进一步包括基于存储在所述数据库中的所述验证区域中的多个窗口的所述所提取信息，将所述验证区域中的表面的最高位置与最低位置之间的至少一个高度模拟为拓扑特征。

6.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中独立于所述宽度定义所述第一步长包括定义不同于所述宽度的所述第一步长，并且

7.根据权利要求6所述的计算机实施方法，其中所述第一步长小于所述宽度。

8.根据权利要求6所述的计算机实施方法，其中所述第二步长小于所述长度。

9.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中所述一或多个窗口被配置成覆盖所述验证区域。

10.根据权利要求2所述的计算机实施方法，其中所述第一方向上的所述一或多个窗口的数目大于所述验证区域的宽度除以每一窗口的所述宽度得到的数目，并且

11.根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中响应于所述布局设计定义所述宽度和所述长度。

12.根据权利要求11所述的计算机实施方法，其中所述宽度大于所述窗口中的至少一条线的最大线宽度与所述窗口中的邻近两条线之间的至少一个线间距的最大线间距的总和。

13.一种用于模拟布局设计的拓扑特征的设备，所述设备包括：

14.根据权利要求13所述的设备，其中所提取的关于所述多个窗口位置中的每一者处的所述一或多个窗口的所述布局设计的所述信息包括以下各者中的至少一者：

15.根据权利要求13所述的设备，其中所述一或多个处理器进一步配置成将所述一或多个窗口移动所述第一和第二步长中的至少一者到达所述验证区域中的多个窗口位置。

16.根据权利要求13所述的设备，其中所述数据库配置成结合所述多个窗口位置中的每一者处的每一窗口的中心点的坐标存储所提取的关于所述多个窗口位置中的每一者处的所述一或多个窗口的所述布局设计的所述信息。

17.根据权利要求16所述的设备，其中所述一或多个处理器配置成基于存储在所述数据库中的所述验证区域中的多个窗口的所述所提取信息，将所述验证区域中的表面的最高位置与最低位置之间的至少一个高度模拟为拓扑特征。

18.根据权利要求13所述的设备，其中所述第一步长不同于所述宽度，且所述第二步长不同于所述长度。

19.根据权利要求18所述的设备，其中所述第一步长小于所述宽度且所述第二步长小于所述长度。

20.根据权利要求13所述的设备，其中所述一或多个窗口被配置成覆盖所述验证区域。

21.根据权利要求20所述的设备，其中所述第一方向上的所述一或多个窗口的数目大于所述验证区域的宽度除以每一窗口的所述宽度得到的数目，并且

22.根据权利要求13所述的设备，其中所述一或多个处理器配置成响应于所述布局设计定义所述宽度和所述长度。

23.根据权利要求22所述的设备，其中所述宽度大于所述窗口中的至少一条线的最大线宽度与所述窗口中的邻近两条线之间的至少一个线间距的最大线间距的总和。

24.一种非暂时性计算机可读媒体，其包括存储在其上的用于模拟验证区域中的布局设计的拓扑特征的指令，所述指令在由一或多个处理器执行时使所述一或多个处理器执行以下操作：

25.根据权利要求24所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所提取的关于所述多个窗口位置中的每一者处的所述一或多个窗口的所述布局设计的所述信息包括以下各者中的至少一者：

26.根据权利要求24所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所提取的关于多个窗口中的每一窗口的所述布局设计的所述信息结合所述多个窗口位置中的每一者处的每一窗口的中心点的坐标存储在所述数据库中。

27.根据权利要求26所述的非暂时性计算机可读媒体，其进一步包括基于存储在所述数据库中的所述验证区域中的所述多个窗口的所述所提取信息，将所述验证区域中的表面的最高位置与最低位置之间的至少一个高度模拟为拓扑特征。

28.根据权利要求24所述的非暂时性计算机可读媒体，其中独立于所述宽度定义所述第一步长包括定义不同于所述宽度的所述第一步长，并且

29.根据权利要求28所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述第一步长小于所述宽度。

30.根据权利要求28所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述第二步长小于所述长度。

31.根据权利要求24所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述一或多个窗口被配置成覆盖所述验证区域。

32.根据权利要求31所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述第一方向上的所述一或多个窗口的数目大于所述验证区域的宽度除以每一窗口的所述宽度得到的数目，并且

33.根据权利要求24所述的非暂时性计算机可读媒体，其中响应于所述布局设计定义所述宽度和所述长度。

34.根据权利要求33所述的非暂时性计算机可读媒体，其中所述宽度大于所述窗口中的至少一条线的最大线宽度与所述窗口中的邻近两条线之间的至少一个线间距的最大线间距的总和。

技术总结
本申请针对布局设计的拓扑模拟。公开了用以模拟布局设计的拓扑特征的设备、计算机实施方法和存储指令的非暂时性计算机可读媒体。实例方法包含：接收关于验证区域中的所述布局设计的信息，所述信息包含拓扑参数；定义一或多个窗口在第一方向上的宽度和第二方向上的长度；对于所述一或多个窗口，独立于所述第一方向上的所述宽度定义第一步长，独立于所述第二方向上的所述长度定义第二步长，所述第一步长为所述一或多个窗口在所述第一方向上的邻近中心点之间的距离，且所述第二步长为所述一或多个窗口在所述第二方向上的邻近中心点之间的距离；提取关于多个窗口位置中的每一者处的所述一或多个窗口中的所述布局设计的信息；以及将所述信息存储在数据库中。

技术研发人员：高田寄夫
受保护的技术使用者：美光科技公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13