酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法、信息处理装置以及非暂态计算机可读记录介质与流程

本公开涉及酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法、信息处理装置以及非暂态计算机可读记录介质。本申请基于在2021年12月17日向日本申请的特愿2021-205590要求优先权，并将其内容纳入于此。

背景技术：

1、以往，精细重布线利用了使用聚酰亚胺等绝缘性和耐热性高的树脂的抗蚀材料。作为响应市场的精细化要求的技术，存在以甲酚酚醛清漆等酚醛清漆型酚醛树脂为添加剂的技术，该用途的酚醛清漆型酚醛树脂要求耐热性(tg)、显影性(adr)等。但是，酚醛清漆型酚醛树脂的这些特性是相反的特性。因此，难以搜索平衡性良好地具有所需的特性的酚醛清漆型酚醛树脂。

2、另一方面，已知如下一种技术(例如专利文献1)：在对物质模型进行建模并通过机器学习进行了该物质模型的学习之后，使用学习后的物质模型来从目标物性信息中搜索新物质的结构。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利第6832678号

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、专利文献1所记载的物质的搜索技术是以一般的物质模型为对象的搜索技术，而在现有技术中没有特别考虑到搜索用于半导体制造的甲酚酚醛清漆等酚醛清漆型酚醛树脂。

3、鉴于这样的情况而完成的本公开的目的在于改善酚醛清漆型酚醛树脂的搜索技术。

4、用于解决问题的方案

5、本公开的一个实施方式所涉及的物质搜索方法是由信息处理装置执行的酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，所述搜索方法包括以下步骤：

6、使用酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的实绩数据，来生成与多个目标变量分别对应的多个预测模型；以及

7、通过使用所述多个预测模型的逆解析，来搜索具有期望的物性平衡的酚醛清漆型酚醛树脂，

8、其中，所述实绩数据包含酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的聚合物组成、结构式、反应溶剂以及反应参数，

9、所述目标变量包含显影性、耐热性以及分子量。

10、另外，在本公开的一个实施方式所涉及的物质搜索方法中，

11、在生成所述多个预测模型的步骤中，基于所述实绩数据来计算特征量，将该特征量用作所述多个预测模型的解释变量。

12、另外，在本公开的一个实施方式所涉及的物质搜索方法中，

13、所述特征量包含分子指纹和描述符中的至少一方。

14、另外，在本公开的一个实施方式所涉及的物质搜索方法中，

15、所述特征量还包含溶剂的溶解度参数(sp值)所涉及的信息。

16、另外，在本公开的一个实施方式所涉及的物质搜索方法中，

17、所述实绩数据包含在规定用途中使用的酚醛清漆型酚醛树脂的实绩数据、以及在所述规定用途以外的用途中使用的酚醛清漆型酚醛树脂的实绩数据，

18、在生成所述多个预测模型的步骤中，在使用在所述规定用途以外的用途中使用的酚醛清漆型酚醛树脂的实绩数据来生成所述多个预测模型之后，使用在所述规定用途中使用的酚醛清漆型酚醛树脂的实绩数据来再次学习所述多个预测模型。

19、另外，在本公开的一个实施方式所涉及的物质搜索方法中，

20、所述规定用途为半导体制造用。

21、另外，本公开的一个实施方式所涉及的信息处理装置是具备控制部的、用于对酚醛清漆型酚醛树脂进行搜索的信息处理装置，

22、所述控制部使用酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的实绩数据，来生成与多个目标变量分别对应的多个预测模型，

23、所述控制部通过使用所述多个预测模型的逆解析，来搜索具有期望的物性平衡的酚醛清漆型酚醛树脂，

24、其中，所述实绩数据包含所述酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的聚合物组成、反应溶剂以及反应参数，

25、所述目标变量包含显影性、耐热性以及分子量。

26、另外，本公开的一个实施方式所涉及的非暂态计算机可读记录介质是存储有指令的非暂态计算机可读记录介质，所述指令在被处理器执行时使处理器执行以下步骤：

27、使用酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的实绩数据，来生成与多个目标变量分别对应的多个预测模型；以及

28、通过使用所述多个预测模型的逆解析，来搜索具有期望的物性平衡的酚醛清漆型酚醛树脂，

29、其中，所述实绩数据包含酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的聚合物组成、反应溶剂以及反应参数，

30、所述目标变量包含显影性、耐热性以及分子量。

31、发明的效果

32、根据本公开的一个实施方式所涉及的酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法、信息处理装置以及非暂态计算机可读记录介质，能够改善酚醛清漆型酚醛树脂的搜索技术。

技术特征：

1.一种酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，由信息处理装置执行，所述搜索方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，其中，

3.根据权利要求2所述的酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，其中，

4.根据权利要求3所述的酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，其中，

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，其中，

6.根据权利要求5所述的酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，其中，

7.一种信息处理装置，具备控制部，用于对酚醛清漆型酚醛树脂进行搜索，

8.一种非暂态计算机可读记录介质，存储有指令，所述指令在被处理器执行时使处理器执行以下步骤：

技术总结
本发明改善酚化合物的搜索技术。一种酚醛清漆型酚醛树脂的搜索方法，由信息处理装置执行，所述搜索方法包括以下步骤：使用酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的实绩数据，来生成与多个目标变量分别对应的多个预测模型；以及通过使用所述多个预测模型的逆解析，来搜索具有期望的物性平衡的酚醛清漆型酚醛树脂，其中，所述实绩数据包含酚醛清漆型酚醛树脂所涉及的聚合物组成、结构式、反应溶剂以及反应参数，所述目标变量包含显影性、耐热性以及分子量。

技术研发人员：今田知之
受保护的技术使用者：DIC株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15