用于对半导体制造装置用的控制程序的GUI画面本地化的方法及程序与流程

本发明涉及一种用于对半导体制造装置用的控制程序的gui(graphical userinterface：图形用户界面)画面本地化的方法及程序。

背景技术：

1、用于控制半导体制造装置的动作的控制程序，在多数情况下，通过向用户(即装置的操作人员)提供gui画面来提高用户的操作性。在外国使用半导体制造装置时，需要进行翻译该gui画面上的显示语言的作业(本地化)。作为与gui画面的翻译相关的文献，例如已知专利文献1。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2000-066790号公报

5、发明所要解决的技术问题

6、由于半导体制造装置由大量的各种构成要素(模块、器件)构成，与这些要素的名称、要素相关的事项显示于gui画面，因此gui画面的翻译作业需要大量的工夫和时间。因此，希望减轻伴随着本地化的作业负荷。

技术实现思路

1、用于解决技术问题的技术手段

2、[方式1]根据方式1，提供一种用于对控制程序的gui画面进行本地化的方法，所述控制程序构成为控制半导体制造装置，该半导体制造装置具备作为所述半导体制造装置的构成要素的多个模块，各所述模块具备作为该模块的构成要素的多个器件，所述方法包含：读入设定文件的步骤，该设定文件定义了用于在所述gui画面显示与所述模块及所述器件相关联的记述的数据，并且所述设定文件是结构化为与所述模块对应的上位层和与所述器件对应的下位层的文件；接受对于在所述设定文件中被记述的值的译文的输入的步骤；以及用所述译文置换所述值并作为翻译完成设定文件进行保存的步骤。

3、[方式2]根据方式2，在方式1的方法中，还包含以树形式显示读入的所述设定文件的步骤。

4、[方式3]根据方式3，在方式2的方法中，所述树形式是基于与所述模块对应的所述上位层和与所述器件对应的所述下位层的形式。

5、[方式4]根据方式4，在方式2或方式3的方法中，以所述树形式进行的所述设定文件的显示包含用于输入所述译文的输入栏。

6、[方式5]根据方式5，在方式4的方法中，所述输入栏由用于将对于一个所述值的译文分割为多个来进行输入的多个输入栏构成。

7、[方式6]根据方式6，在方式1至5中的任一个方法中，所述设定文件包含由使用了第一值和第二值的运算式定义的第三值。

8、[方式7]根据方式7，在方式6的方法中，所述运算式是表示所述第一值的字符串和表示所述第二值的字符串的结合。

9、[方式8]根据方式8，在方式6或方式7的方法中，基于对于所述第一值输入的译文，显示对于所述第三值的译文。

10、[方式9]根据方式9，在方式1至8中的任一个方法中，还包含基于所述翻译完成设定文件来显示被本地化的所述gui画面的步骤。

11、[方式10]根据方式10，在方式9的方法中，所述翻译完成设定文件包含被翻译为各不相同的语言的多个翻译完成设定文件，被本地化的所述gui画面的显示基于从所述多个翻译完成设定文件中选择的一个翻译完成设定文件进行。

12、[方式11]根据方式11，在方式1至10中的任一个方法中，所述设定文件包含与所述值相对应的识别符号，所述方法还包含基于所述值与所述识别符号的对应关系而向规定的文件追记对于所述值的译文的步骤。

13、[方式12]根据方式12，提供一种程序，用于对构成为控制半导体制造装置的控制程序的gui画面进行本地化，所述半导体制造装置具备作为所述半导体制造装置的构成要素的多个模块，各所述模块具备作为该模块的构成要素的多个器件，所述程序构成为使处理器进行以下步骤：读入设定文件的步骤，该设定文件定义了用于在所述gui画面显示与所述模块及所述器件相关联的记述的数据，并且所述设定文件是结构化为与所述模块对应的上位层和与所述器件对应的下位层的文件；接受对于在所述设定文件中被记述的值的译文的输入的步骤；以及用所述译文置换所述值并作为翻译完成设定文件进行保存的步骤。

技术特征：

1.一种用于对控制程序的gui画面进行本地化的方法，所述控制程序构成为控制半导体制造装置，该半导体制造装置具备作为所述半导体制造装置的构成要素的多个模块，各所述模块具备作为该模块的构成要素的多个器件，其特征在于，所述方法包含：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，

8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，

11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其特征在于，

12.一种程序，用于对控制程序的gui画面进行本地化，所述控制程序构成为控制半导体制造装置，该半导体制造装置具备作为所述半导体制造装置的构成要素的多个模块，各所述模块具备作为该模块的构成要素的多个器件，其特征在于，所述程序构成为使处理器进行以下步骤：

技术总结
在半导体制造装置中，减轻伴随着GUI画面的本地化的作业负荷。提供一种用于对控制程序的GUI画面进行本地化的方法，所述控制程序构成为控制半导体制造装置。所述半导体制造装置具备作为所述半导体制造装置的构成要素的多个模块，各所述模块具备作为该模块的构成要素的多个器件，所述方法包含：读入设定文件的步骤，该设定文件定义了用于在所述GUI画面显示与所述模块及所述器件相关联的记述的数据，并且所述设定文件是结构化为与所述模块对应的上位层和与所述器件对应的下位层的文件；接受对于在所述设定文件中被记述的值的译文的输入的步骤；以及用所述译文置换所述值并作为翻译完成设定文件进行保存的步骤。

技术研发人员：藤木雅之,清泽信人
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/2/29