一种硅片传递水车管理系统及方法与流程

本发明属于半导体硅片生产，尤其是涉及一种硅片传递水车管理系统及方法。

背景技术：

1、在单晶硅片制造过程中，抛光是硅片的最终加工工序，要求抛光表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性。借助于磨粒与抛光布的机械作用，破坏硅片表面的水合膜进行高效抛光。一次抛光使用漫透聚氨基甲酸乙酯的无纺布，以形成较薄的水合膜，一次抛光使用的抛光液是在sio2悬浮液中添加naoh,koh等碱性添加剂。二次抛光用的抛光布是用发泡聚氨基甲酸乙酯人造革，通过不断去除水合膜来进行无损伤抛光。。抛光液用弱碱性的胶态sio2水溶液。抛光布采用微细表层结构的软质发泡聚氨基甲酸人造革。在高速高压抛光条件下，抛光布和硅片之间形成封闭的抛光剂层。同时，在硅片表面形成软质水合膜，抛光盘通过不断去除水合膜进行硅片的抛光。

2、基于以上抛光工艺，为了避免抛光液灼伤及抛光颗粒沾污，加工后的硅片必须置于湿环境中到达清洗工序。因此抛光机台下载后将硅片放置于注满水的周转水车中进行传递。

3、抛光后的硅片残留有抛光液、贴片蜡等化学试剂，以及抛光过程中掉落的晶体粉末等，会在水车中累积形成污染，对后续的硅片清洗效果造成不良影响。因此要求硅片传递水车在规定时间内清洁保养一次，更换水车中的水。通过实际跟踪，水车的保养换水次数，直接影响后序清洗后颗粒的良率情况。因此有效管理水车保养换水的执行情况，对于提高硅片清洗后颗粒良率显的尤为重要。

4、而现有的水车处于离线管理状态，水车的保养换水是通过手写记录在纸质表格中，其真实性和时效性难以保证，查询和管理水车的保养换水执行情况难以进行。而水车的保养换水执行情况，对于加工过程分析、改善和提高硅片颗粒良率情况，是不可缺少的关键因素。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本发明提供一种硅片传递水车管理系统及方法，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。

2、为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种硅片传递水车管理系统，包括：

3、多个水车，每一个水车上设有编码标签，以识别每一个水车信息；

4、扫描装置，用于扫描水车上的编码标签以获取水车信息；

5、控制装置，用于存储每一个水车的信息；用于判断水车是否需要换水；接收扫描装置发送的水车信息，将抛光后的硅片信息与放置该硅片的水车信息绑定，以及在清洗前将硅片信息与水车信息解绑。

6、进一步的，控制装置被配置为：

7、设有水车信息数据库，存储所有水车信息；

8、记录水车当次换水时间，并根据前一次换水时间计算两次换水时间的时间间隔，将该时间间隔与预设时间进行对比，判断水车是否需要换水。

9、进一步的，编码标签为条形码或二维码。

10、进一步的，扫描装置为条码读取器。

11、进一步的，控制装置配置有mes系统。

12、一种硅片传递水车管理方法，包括：

13、在换水时，获取水车信息，记录水车当次换水时间；

14、判断水车是否需要换水，若是，水车进行换水；

15、装载抛光后的硅片，并将装载的硅片信息与水车信息绑定；

16、装载有抛光后的水车被移动至清洗工序，将装载的硅片信息与水车信息解绑。

17、进一步的，在抛光工序，获取水车信息，并将水车信息传送给控制装置，控制装置将水车信息与抛光后的硅片信息进行对应，进行硅片信息与水车信息绑定。

18、进一步的，在清洗工序，获取水车信息，并将水车信息传送给控制装置，控制装置将水车信息与抛光后的硅片信息进行对应，进行硅片信息与水车信息解绑。

19、进一步的，判断水车是否需要保养换水步骤中，计算水车当次换水时间与前一次换水时间的时间间隔，并将时间间隔与预设时间进行对比，若时间间隔大于预设时间，则进行换水。

20、进一步的，预设时间为5-12小时。

21、由于采用上述技术方案，对多个水车进行信息设置，并将水车的信息以编码标签的形式具体显示，各个水车的信息被存储在控制装置内，水车在换水时，扫描装置扫描水车上的编码标签，获取水车信息，并录入当次换水时间，控制装置查询该水车前一次换水时间，计算当次换水时间与前一次换水时间之间的时间间隔，将该时间间隔与控制装置内预设的水车的换水预设时间进行对比，判断水车是否需要换水，可查询、监控水车换水保养情况，提供分析、监控水车保养对良率的影响的数据依据；在抛光完成后，将水车的信息与抛光后的硅片的信息进行绑定，在硅片清洗之前，将水车的信息与硅片的信息进行解绑，以使得水车进行下次使用；使用扫描装置扫描水车的编码标签，获取水车信息，并将水车信息输入控制装置内，代替纸质手写记录，提高准确度和效率；将硅片信息与水车信息进行绑定，通过每档硅片的单晶编号查询到水车信息；水车信息与每一档硅片信息绑定，在一定程度可以防止混片不良。

技术特征：

1.一种硅片传递水车管理系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅片传递水车管理系统，其特征在于，所述控制装置被配置为：

3.根据权利要求1或2所述的硅片传递水车管理系统，其特征在于，所述编码标签为条形码或二维码。

4.根据权利要求3所述的硅片传递水车管理系统，其特征在于，所述扫描装置为条码读取器。

5.根据权利要求1或2或4所述的硅片传递水车管理系统，其特征在于，所述控制装置配置有mes系统。

6.一种硅片传递水车管理方法，其特征在于，包括：

7.根据权利要求6所述的硅片传递水车管理方法，其特征在于，在抛光工序，获取水车信息，并将水车信息传送给控制装置，控制装置将水车信息与抛光后的硅片信息进行对应，进行硅片信息与水车信息绑定。

8.根据权利要求7所述的硅片传递水车管理方法，其特征在于，在清洗工序，获取水车信息，并将水车信息传送给控制装置，控制装置将水车信息与抛光后的硅片信息进行对应，进行硅片信息与水车信息解绑。

9.根据权利要求1-8任一项所述的硅片传递水车管理方法，其特征在于，所述判断水车是否需要保养换水步骤中，计算水车当次换水时间与前一次换水时间的时间间隔，并将所述时间间隔与预设时间进行对比，若所述时间间隔大于所述预设时间，则进行换水。

10.根据权利要求9所述的硅片传递水车管理方法，其特征在于，所述预设时间为5-12小时。

技术总结
本发明提供一种硅片传递水车管理系统及方法，包括：多个水车，每一个水车上设有编码标签，以识别每一个水车信息；扫描装置，用于扫描水车上的编码标签以获取水车信息；控制装置，用于存储每一个水车的信息；用于判断水车是否需要换水；接收扫描装置发送的水车信息，将抛光后的硅片信息与放置该硅片的水车信息绑定，以及在清洗前将硅片信息与水车信息解绑。本发明的有益效果是可查询、监控水车换水保养情况，提供分析、监控水车保养对良率的影响的数据依据；代替纸质手写记录，提高准确度和效率；将硅片信息与水车信息进行绑定，通过每档硅片的单晶编号查询到水车信息，在一定程度可以防止混片不良。

技术研发人员：严政先,韩木迪,东士博,徐小占,石明,谭永麟,孙晨光,王彦君
受保护的技术使用者：天津中环领先材料技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12